真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统的制作方法
【专利摘要】本发明公开了真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，包括真空腔室、挡板阀A、冷却装置、挡板阀B、气体降温管道、罗茨泵、冷气充入管道及机械泵,所述真空腔室右侧连接挡板阀A，所述真空腔室通过挡板阀B连接冷却装置，所述冷却装置一端通过气体降温管道与罗茨泵相连，所述罗茨泵一端连接冷气冲入管道，所述冷气冲入管道通过挡板阀连接真空腔室，所述冷气冲入管道下方还安装有机械泵。本发明能实现自动控制快速冷却的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本低廉的显著有益效果 。
【专利说明】真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空设备【技术领域】，尤其是真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统。
【背景技术】
[0002]真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀:蒸发镀膜，通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面；溅射镀膜用高能粒子轰击固体表面时能使固体表面的粒子获得能量并逸出表面，沉积在基片上；离子镀蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面。这三种形式的真空镀膜技术都需要一种快速冷却装置来辅助真空镀膜工程。
[0003]真空设备由于在镀膜过程中工件处于密闭的真空环境中，并通过加热器加热到200 — 600°C不等，同时靠近炉壁安装有屏蔽保温板，但产品工艺及性能却丧失了很多，现有的真空镀膜设备，也有冷却装置，但其冷却效果不是很理想。
【发明内容】
[0004]本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷，本发明旨在提供真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，能保证镀膜产品工艺及性能质量的要求而设置的快速冷却系统，实现自动控制快速冷却的目的。
[0005]为实现上述目的，本发明采用以下技术方案:真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，包括真空腔室、挡板阀A、冷却装置、挡板阀B、气体降温管道、罗茨泵、冷气充入管道及机械泵，所述真空腔室右侧连接挡板阀A，所述真空腔室通过挡板阀B连接冷却装置，所述冷却装置一端通过气体降温管道与罗茨泵相连，所述罗茨泵一端连接冷气冲入管道，所述冷气冲入管道通过挡板阀连接真空腔室，所述冷气冲入管道下方还安装有机械泵。
[0006]进一步，所述O型密封圈通过平垫与六角螺栓螺接在冷却腔室底部，所述冷却腔室外部设有密封板，所述高效内螺纹交叉齿铜盘管两端分别通过密封垫接有过渡接头，所述密封垫内部设有一圈密封套，所述密封垫上部设有卡合密封连接的密封帽，所述过度接头一端安装在密封板一侧外部，另一端接有水嘴。
[0007]进一步，所述O型密封圈的直径为210mm，六角螺栓为直径为8mm的六角螺栓，所述水嘴为四分之一牙水嘴。
[0008]本发明的有益效果是:真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，该系统中的冷却装置以优质高效的内螺纹交叉齿铜盘管按阿基米德螺旋线绕制而成，并通入冷却水，达到对高温气体的降温冷却作用，该真空镀膜设备整体结构简单、外观简洁、便于自动控制，通用性好，使用安全、便于维护、成本较低的显著有益效。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明冷却装置结构剖面图； 图3为本发明中图2的A向结构示意图；
其中:1、真空腔室，2、挡板阀A，3、冷却装置，4、挡板阀B，5、气体降温管道，6、罗茨泵，7、冷气充入管道，8、机械泵，9、O型密封圈，10、六角螺栓，11、平垫，12、密封板A，13、高效内螺纹交叉齿铜盘管，14、密封垫，15、过渡接头，16、水嘴，17、密封套，18、密封帽，19、密封板B，20、冷却腔室。
【具体实施方式】
[0010]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
[0011]请参阅图1，本发明案例中，真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，包括真空腔室1、挡板阀A2、冷却装置3、挡板阀B4、气体降温管道5、罗茨泵6、冷气充入管道7及机械泵8，所述真空腔室I右侧连接挡板阀A2，所述真空腔室通过挡板阀B4连接冷却装置3，所述冷却装置3 —端通过气体降温管道5与罗茨泵6相连，所述罗茨泵6 —端连接冷气冲入管道7，所述冷气冲入管道7通过挡板阀A2连接真空腔室I，所述冷气冲入管道7下方还安装有机械泵8。
[0012]需要说明的是，运行时，只开罗茨泵6，机械泵8保持关闭状态。真空腔室I右侧挡板阀B4，连接冷却装置3，通过气体降温管道5与罗茨泵6相连，以此将真空腔室I内的高温气体抽出并降温。已降温冷却的气体由冷气充入管道7通过真空腔室上的挡板阀A2充入真空腔室I，实现自动控制快速冷却的目的。
[0013]请查阅图2-3，本发明案例中，真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，冷却装置3中:所述O型密封圈9通过平垫11与六角螺栓10螺接在冷却腔室20底部，所述冷却腔室20外部设有密封板A12，所述高效内螺纹交叉齿铜盘管13两端分别通过密封垫14接有过渡接头15，所述密封垫14内部设有一圈密封套17，所述密封垫14上部设有卡合密封连接的密封帽18，所述过度接头15 —端安装在密封板19 一侧外部，另一端接有水嘴16。
[0014]需要说明的是，该冷却装置中用到的O型密封圈9有5个，六角螺栓10有25个，平垫11有8个。由制冷机输出的冷却水，由一端进入按阿基米德螺旋线绕制而成的优质高效的内螺纹交叉齿铜盘管13内。高温气体由铜管中穿过，实现自动控制快速冷却的目的。
[0015]对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其它的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0016]以上所述，仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进，均应包含在本发明技术方案的保护范围之内。
【权利要求】
1.真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，包括真空腔室、挡板阀A、冷却装置、挡板阀B、气体降温管道、罗茨泵、冷气充入管道及机械泵，其特征在于:所述真空腔室右侧连接挡板阀A，所述真空腔室通过挡板阀B连接冷却装置，所述冷却装置一端通过气体降温管道与罗茨泵相连，所述罗茨泵一端连接冷气冲入管道，所述冷气冲入管道通过挡板阀连接真空腔室，所述冷气冲入管道下方还安装有机械泵。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，其特征在于:所述O型密封圈通过平垫与六角螺栓螺接在冷却腔室底部，所述冷却腔室外部设有密封板，所述高效内螺纹交叉齿铜盘管两端分别通过密封垫接有过渡接头，所述密封垫内部设有一圈密封套，所述密封垫上部设有卡合密封连接的密封帽，所述过度接头一端安装在密封板一侧外部，另一端接有水嘴。
3.根根据权利要求1所述的真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，其特征在于:所述O型密封圈的直径为210mm，六角螺栓为直径为8mm的六角螺栓，所述水嘴为四分之一牙水嘴。
【文档编号】C23C14/22GK104404449SQ201410730511
【公开日】2015年3月11日 申请日期:2014年12月5日 优先权日:2014年12月5日
【发明者】王洪权, 刘晓华, 张朝奎 申请人:大连维钛克科技股份有限公司