一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置的制作方法

本发明属于镀膜机辅助设备技术领域，尤其涉及一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置。

背景技术：

目前，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要分成蒸发和溅射两种。镀膜机的使用能够有效的增加镀膜效率，使得工业生产的效率可以得到有效的增加，然而真空镀膜机在使用时由于高频率的运作会产生较多的热量，这样对设备的安全性会产生较大的影响。

现有技术中用于真空镀膜机的冷却装置在使用时能够起到基本的降温冷却作用，然而在实际使用中仍然存在着一些方面的技术不足和缺陷，因此，现有技术还需要改进。

技术实现要素：

本发明提供一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，旨在解决现有技术中真空镀膜机腔体散热效果不好的问题。

本发明是这样实现的，一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机腔体，套接在所述镀膜机腔体外缘表面上的导热套筒以及呈螺旋形贴附设置于导热套筒上的散热水管，所述散热水管下端设置有集水圆槽，所述集水槽右端连接有水泵和制冷机，所述散热水管上端设置有入水圆槽，所述入水圆槽右端通过回水管连接所述水泵，所述入水圆槽左端设置有进水口，右端与所述水泵连接处设置有排水口，所述水泵和制冷器连接外置控制器及电源。

更进一步地，所述集水圆槽的截面呈凹字型，底面朝下靠近水泵一端向下倾斜。

更进一步地，所述散热水管沿导热套筒轴线均匀分布有三根。

更进一步地，所述散热水管顶端连接所述入水圆槽的底部，三根所述散热水管与所述入水圆槽连接处均设置有第一电磁阀，三个第一电磁阀分别电连连接外置控制器。

更进一步地，所述散热水管呈方形。

更进一步地，所述散热水管与所述导热套筒通过导热胶固定连接。

更进一步地，所述散热水管远离导热套管一端设置有防护套筒，所述防护套筒底部固定连接所述集水圆槽外缘表面。

更进一步地，所述防护套筒位于所述进水口和排水口处均设置有开口。

更进一步地，所述进水口和排水口设置有阀门。

更进一步地，所述制冷机设置于所述导热套筒底部的左侧，所述制冷机的输入端通过水管连接所述集水圆槽的右端，集水圆槽与水管连接处设置有第二电磁阀，所述第二电磁阀电连接外置控制器，输出端连接所述水泵至入水圆槽。

本发明所达到的有益效果：通过制冷机将水进行制冷，大大加强了吸热效果，使得降温更迅速；所述散热水管呈螺旋形设置使得冷却水在导热套筒上的流动时间增长；通过设置三根散热水管增加热交换的接触吸热面积，加大降温效果；设置防护板，保护散热水管和镀膜机腔体。

附图说明

图1是本发明提供的一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置的机构示意图。

图2是本发明提供的一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置散热水管结构示意图。

图3是本发明提供的一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置的主视图。

图4是本发明提供的一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置集水圆槽的机构示意图。

图中：1-镀膜机腔体；2-导热套筒；3-散热水管；4-集水圆槽；5-水泵；6-制冷机；7-入水圆槽；8-回水管；9-进水口；10-排水口；11-防护套筒。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图1-图4所示，一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机腔体1，套接在镀膜机腔体1外缘表面上的导热套筒2以及呈螺旋形贴附设置于导热套筒2上的散热水管3，散热水管3下端设置有集水圆槽4，集水槽4右端连接有水泵5和制冷机6，散热水管3上端设置有入水圆槽7，入水圆槽4右端通过回水管8连接水泵5，入水圆槽4左端设置有进水口9，右端与水泵5连接处设置有排水口10，水泵5和制冷器6连接外置控制器及电源。

集水圆槽4的截面呈凹字型，底面朝下靠近水泵5一端向下倾斜，使集水圆槽4内的水通过引力流向右端；散热水管3沿导热套筒2轴线均匀分布有三根；散热水管3顶端连接入水圆槽7的底部，三根散热水管3与入水圆槽7连接处均设置有第一电磁阀，三个第一电磁阀分别电连连接外置控制器；散热水管3呈方形，增加与导热套筒2的接触面积，增加散热量；散热水管3与导热套筒通过导热胶固定连接；散热水管3远离导热套管2一端设置有防护套筒11，防护套筒11底部固定连接集水圆槽4外缘表面；防护套筒11位于进水口9和排水口10处均设置有开口；进水口9和排水口10设置有阀门；制冷机6设置于导热套筒2底部的左侧，制冷机6的输入端通过水管连接集水圆槽4的右端，集水圆槽4与水管连接处设置有第二电磁阀，第二电磁阀电连接外置控制器，输出端连接水泵5至入水圆槽7。

本发明的具体工作原理：使用时，通过进水口给集水圆槽4供水，通过外置控制器控制第二电磁阀开启，水流进制冷器进行制冷，同时通过水泵5将冷水进过回水管8流至入水圆槽7，外置控制器根据用户需要开合第一电磁阀个数，冷水沿散热水管3呈螺旋形流过导热套筒2给导套导套2进行散热，冷水吸热后流至集水圆槽4，再次制冷，依次循环使用，三根散热水管极大的加强了散热效果。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明适用于镀膜机辅助设备技术领域，提供了一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机腔体，套接在镀膜机腔体外缘表面上的导热套筒以及呈螺旋形贴附设置于导热套筒上的散热水管，散热水管下端设置有集水圆槽，集水槽右端连接有水泵和制冷机，散热水管上端设置有入水圆槽，入水圆槽右端通过回水管连接水泵，入水圆槽左端设置有进水口，右端与水泵连接处设置有排水口，水泵和制冷器连接外置控制器及电源，通过制冷机将水进行制冷，冷水通过散热水管，大大加强了对于导热套筒的吸热效果，使得降温更迅速；所述散热水管呈螺旋形设置使得冷却水在导热套筒上的流动时间增长，设置防护板，保护散热水管和镀膜机腔体。

技术研发人员：王孟良;梅艳红;王孟仁;高春玲;陈卓;梅洪蕾;陈春奇;许进;周强;孟健
受保护的技术使用者：深圳天成真空技术有限公司
技术研发日：2018.10.12
技术公布日：2019.02.12