一种分体式高纯金属浇铸模具的底座的制作方法

本实用新型属于集成电路用高纯金属熔炼与铸造技术领域，特别涉及一种分体式高纯金属浇铸模具的底座。

背景技术：

高纯金属溅射靶材广泛应用于信息存储、集成电路、平面显示、太阳能电池等产业，主要通过磁控溅射技术获得各种薄膜功能材料。目前，按照化学成分可将溅射靶材分为：纯金属靶材，如铝、铜、钛、钽、钴等；合金靶材，如铝铜、铝硅、铜磷、铜铝、铜锰、钨钛、镍铂、镍钴、镍钒等。其中，镍钒合金靶材是在纯镍和纯钒靶材基础上发展而来的新型半导体关联材料，主要用于太阳能和电子信息行业。镍钒溅射靶材是在镍熔体中加入钒，使制备出的合金无磁性而更有利于磁控溅射，结合了镍溅射靶材和钒溅射靶材的优点，可一次性完成溅射粘结层和阻挡层。

高纯金属或合金铸锭的制备是高纯金属溅射靶材制造的基础。高纯金属或合金通常是在真空感应炉中熔炼，采用锭模铸造制备高纯铸锭，其特征在于纯度高、周期短、成本低。镍钒合金铸锭所使用的铸造模具为两瓣式圆柱形石墨模具，底部开口，浇铸前需将模具合模并置于石墨底座上。石墨底座既可以封闭浇铸模具防止熔体流出，又可以调节熔炼坩埚到浇铸模具的距离。但由于镍钒合金对石墨底座具有腐蚀作用，且经历多次的高温熔体冲击后，石墨底座表面会出现腐蚀剥落而留下腐蚀坑，导致底座表面不平整而出现漏液现象。为避免石墨底座表面被腐蚀，常采用表面刷耐腐蚀涂料的方法，通常使用的涂料为水基悬浮液，需要进烘箱烘干，因此对于尺寸大、质量重的单体式底座操作比较困难。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于，针对现有技术的不足，提供一种分体式高纯金属浇铸模具的底座，具体技术方案如下：

一种分体式高纯金属浇铸模具的底座包括固定式底座、可拆卸式底座，所述可拆卸式底座置于所述固定式底座上，可拆卸式底座上表面中央位置设置盲孔。

优选地，所述可拆卸式底座位于所述固定式底座上表面中央位置上。目的是增加高纯金属浇铸模具的稳定性，同时防止熔体渗漏。

所述高纯金属浇铸模具置于盲孔中，所述盲孔的直径＞高纯金属浇铸模具外径，盲孔的深度≤所述可拆卸式底座厚度的一半，且盲孔的深度≤高纯金属浇铸模具高度；

优选地，所述盲孔的直径匹配高纯金属浇铸模具外径。

所述可拆卸式底座上表面设置防腐涂层。

优选地，所述固定式底座形状为长方体或正方体，可拆卸式底座和高纯金属浇铸模具形状为圆柱体，固定式底座上表面短边长度或边长＞可拆卸式底座外径＞高纯金属浇铸模具外径。

优选地，所述固定式底座的材料为紫铜、石墨或耐火砖，固定式底座的上、下表面水平度均≤0.06mm/m。

优选地，所述可拆卸式底座的材料为紫铜、石墨或耐火砖，可拆卸式底座的上、下表面水平度均≤0.06mm/m。

本实用新型中所述固定式底座在使用前对其表面清扫，具体操作为用白棉布蘸酒精擦拭；固定式底座部分不需要频繁更换，只需要定期清洁即可，节约操作时间和生产成本。

本实用新型中所述可拆卸式底座在使用前对其上表面涂刷防腐涂料并进烘箱烘干，烘干工艺为：温度150～200℃、时间12～24h。所述可拆卸式底座部分可以重复使用，并根据使用情况更换相同材质、规格的新底座。

本实用新型的有益效果为：

(1)本实用新型提供的分体式高纯金属浇铸模具的底座，具有以下优点：一、在真空熔炼浇铸前，可拆卸部分底座可以方便地进行表层刷涂料并进烘箱烘干操作；二、在真空熔炼浇铸时，可以阻止熔体从模具底部渗漏；三、可拆卸部分底座可以重复使用，并根据使用情况更换新底座；四、固定式底座不需要频繁更换，只需定期清理维护，节约时间和成本。

(2)本实用新型提供的分体式高纯金属浇铸模具的底座适用于所有采用倾转式顶部浇铸的圆柱形模具设备，解决了传统单体式模具底座体积大、质量重、不易更换的难题。

附图说明

附图1为本实用新型分体式高纯金属浇铸模具的底座示意图；

附图2为高纯金属浇铸模具放置到本实用新型分体式底座上的示意图；

标号说明：1-分体式底座；2-高纯金属浇铸模具；11-固定式底座；12-可拆卸式底座；121-盲孔。

具体实施方式

本实用新型提供了一种分体式高纯金属浇铸模具的底座，下面结合实施例和附图对本实用新型做进一步的说明。

实施例1

如图1所示的一种分体式高纯金属浇铸模具的底座1，包括固定式底座11和可拆卸式底座12两部分，具体为：

固定式底座11：采用耐火砖材质，形状为长方体，尺寸为长×宽×高＝500×500×200mm³；所述固定式底座的上、下表面打磨平整，水平度均为0.05mm/m。

可拆卸式底座12：采用石墨材质，形状为圆柱，尺寸为直径×高度＝φ400×100mm³；所述可拆卸式底座的上、下表面打磨平整，水平度均为0.05mm/m。

在可拆卸式底座12上表面中央位置开盲孔121，尺寸为直径×深度＝φ145×30mm³；

对固定式底座11表面清扫，具体操作为用白棉布蘸酒精擦拭。可拆卸式底座12上表面涂刷防腐涂料并进烘箱烘干，烘干工艺为180℃/24h。

高纯金属浇铸模具2采用石墨材质，为两瓣式圆柱形，底部开口，尺寸为内径×高度＝φ100×500mm³，模具壁厚为20mm。如图2所示，将高纯金属浇铸模具2置于所述可拆卸式底座12上表面中央位置盲孔121中，可拆卸式底座12放置于所述固定式底座11上表面中央位置上。

实施例1提供的分体式高纯金属浇铸模具的底座。其中，可拆卸部分底座可以重复使用，并根据使用情况更换新底座；固定式底座不需要频繁更换，只需定期清理维护，节约时间和成本。

技术特征：

1.一种分体式高纯金属浇铸模具的底座，其特征在于，包括固定式底座、可拆卸式底座，所述可拆卸式底座置于所述固定式底座上，可拆卸式底座上表面中央位置设置盲孔；

所述高纯金属浇铸模具置于盲孔中，所述盲孔的直径＞高纯金属浇铸模具外径，盲孔的深度≤所述可拆卸式底座厚度的一半，且盲孔的深度≤高纯金属浇铸模具高度；

所述可拆卸式底座上表面设置防腐涂层。

2.根据权利要求1所述的分体式高纯金属浇铸模具的底座，其特征在于，所述可拆卸式底座位于所述固定式底座上表面中央位置上。

3.根据权利要求1所述的分体式高纯金属浇铸模具的底座，其特征在于，所述盲孔的直径匹配高纯金属浇铸模具外径。

4.根据权利要求1所述的分体式高纯金属浇铸模具的底座，其特征在于，所述固定式底座形状为长方体或正方体，可拆卸式底座和高纯金属浇铸模具形状为圆柱体，固定式底座上表面短边长度或边长＞可拆卸式底座外径＞高纯金属浇铸模具外径。

5.根据权利要求1所述的分体式高纯金属浇铸模具的底座，其特征在于，所述固定式底座的材料为紫铜、石墨或耐火砖，固定式底座的上、下表面水平度均≤0.06mm/m。

6.根据权利要求1所述的分体式高纯金属浇铸模具的底座，其特征在于，所述可拆卸式底座的材料为紫铜、石墨或耐火砖，可拆卸式底座的上、下表面水平度均≤0.06mm/m。

7.一种分体式高纯金属浇铸模具的底座，其特征在于，包括固定式底座、可拆卸式底座，所述可拆卸式底座置于所述固定式底座上，

所述固定式底座采用耐火砖材质，形状为长方体，尺寸为长×宽×高＝500×500×200mm³；所述固定式底座的上、下表面水平度均为0.05mm/m；

所述可拆卸式底座采用石墨材质，形状为圆柱，尺寸为直径×高度＝φ400×100mm³；所述可拆卸式底座的上、下表面水平度均为0.05mm/m；

在所述可拆卸式底座上表面中央位置设置盲孔，盲孔尺寸为直径×深度＝φ145×30mm³；

所述高纯金属浇铸模具采用石墨材质，为两瓣式圆柱形，底部开口，尺寸为内径×高度＝φ100×500mm³，模具壁厚为20mm；

所述高纯金属浇铸模具置于所述可拆卸式底座上表面中央位置盲孔中，可拆卸式底座置于所述固定式底座上表面中央位置上。

技术总结
本实用新型公开了集成电路用高纯金属熔炼与铸造技术领域的一种分体式高纯金属浇铸模具的底座。具体包括固定式底座、可拆卸式底座，所述可拆卸式底座置于所述固定式底座上，可拆卸式底座上表面中央位置设置盲孔；所述高纯金属浇铸模具置于盲孔中，所述盲孔的直径＞高纯金属浇铸模具外径，盲孔的深度≤所述可拆卸式底座厚度的一半，且盲孔的深度≤高纯金属浇铸模具高度；所述可拆卸式底座上表面设置防腐涂层。本实用新型提供的分体式高纯金属浇铸模具的底座适用于所有采用倾转式顶部浇铸的圆柱形模具设备，解决了传统单体式模具底座体积大、质量重、不易更换的难题。

技术研发人员：王宇;曾浩;李勇军;滕海涛;郭姗姗;蒋媛媛;王焕焕
受保护的技术使用者：有研亿金新材料有限公司
技术研发日：2019.12.31
技术公布日：2020.10.16