一种真空内电加热喷淋头结构的制作方法

本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体提供了一种真空内电加热喷淋头结构。

背景技术：

真空镀膜设备中，真空腔体内需要满足相关镀膜沉积的温度工艺要求，现有技术中，该真空腔体内的温度通过从外部热传导方式达到内部的温度工艺，即大气端热源通过顶板间接传热给喷淋板，温度不建议超高250℃，否则顶板与容器的密封圈会很快老化而无法使用无法实现密封作用，对真空腔体内的真空度有影响。但是温度低又无法满足真空腔体内温度工艺，进而影响镀膜沉积效果。另外喷淋顶板温度过高的话不利于安全生产，容易产生事故。

技术实现要素：

鉴于上述问题，本发明提供了一种真空内电加热喷淋头结构，设置在具有真空腔体的镀膜设备上，包括，

喷淋顶板，位于大气侧内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；

喷淋板，所述的喷淋板位于真空侧，连接于所述的喷淋顶板且具有凹进部，所述凹进部上设有多个喷淋通孔，该凹进部罩住喷淋气体入口形成一喷淋腔室；

加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内或者置于喷淋板的上端面上；

阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，连接于所述喷淋顶板。

进一步地：在所述的喷淋板上设有环形的凹槽，加热环嵌入到凹槽内上端面与隔热环接触连接。

进一步地：还包括一热辐射隔板，设置在加热环与阻热环之间。

进一步地：在阻热环与喷淋板接触处、喷淋顶板与喷淋板接触处均设有一密封圈。

进一步地：加热环通过在喷淋顶板外接一供电装置对其加热。

进一步地：所述的加热环与阻热环采用镍基合金材料。

进一步地：喷淋腔室内还设有一阻流板，该阻流板上设有多个阻流通孔，喷淋气体进入方向为顺次经过气体入口、阻流板及喷淋板。

进一步地：所述的阻流板上的阻热气孔直径小于喷淋板的通气孔。

本发明的优势在于：可实现真空腔体内对喷淋板的高温加热，通过结构优化调整热阻后喷淋板温度可达到300℃，同时减少通过喷淋顶板对外部的热损失，保障了其温度波动≤±5℃。同时保障外部大气侧空间温度符合生产规范。

附图说明

图1为本发明的一种实施例结构示意图；

图2为本发明的另一种实施例结构示意图：

其中，喷淋顶板-1、喷淋气体入口-2、密封条-3、喷淋板-4、喷淋腔室-5、加热环-6、阻热环-7、热辐射隔板-8、密封圈-9、阻流板-10、阻热环螺钉-11.

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

参考图1，本发明提供了一种真空内电加热喷淋头结构的具体实施方式：该喷淋头结构设置在具有真空腔体的镀膜设备上，包括，

喷淋顶板1，位于大气侧，所述的喷淋顶板1内设有可供介质循环的通道，该通道内设有冷却介质，介质温度30-75℃，与循环制冷机组连接；所述的喷淋顶板1上设有喷淋气体入口2；喷淋顶板1与腔体外壳连接处设有一圈密封条3；

喷淋板4，所述的喷淋板4位于真空侧，与喷淋顶板1连接且具有凹进部，上设有多个喷淋通孔，该凹进部罩住所述喷淋气体入口2形成一喷淋腔室5；

加热环6，设置在喷淋板4与喷淋顶板1连接处，设置方式为嵌入设置在喷淋板4内。在所述的喷淋板4上端面与喷淋顶板1接触处设有环形凹槽，所述加热环6嵌入到所述凹槽，上端面与隔热环接触连接。

对于加热环还有另外一种设置方式，加热环设置在喷淋板上端面上，参考图2所示，

阻热环7，设置在加热环6与喷淋顶板1之间，所述的加热环6通过阻热螺丝固定在所述的喷淋顶板1上，阻挡加热环6对喷淋顶板1的热量传递。

作为方案的改进，还包括一热辐射隔板8，所述的加热环6至少1面外围有至少设有1层金属热辐射隔板8，减少加热环6与低温面辐射热损失，用于阻挡热量传递给喷淋顶板1。

作为方案的改进，在所述阻热环7与喷淋板4接触处、喷淋顶板1与喷淋板4接触处均设有一密封圈9。

作为方案的改进，所述的加热环6通过在喷淋顶板1外接一供电装置加热。供电端有(+)/(-)两个接线端子接ac或dc。

作为方案的改进，所述的加热环6与阻热环7采用镍基合金材料，采用镍基合金材料(inconel718、hastelloyc276等)，高温热变形小、强度高。

作为方案的改进，喷淋腔室5内还设有一阻流板10，通过螺钉固定在喷淋顶板1上，该阻流板10本体上设有多个阻流通孔，所述的阻流板10上的阻热气孔小于喷淋板4的通气孔。喷淋气体顺次经过气体入口、阻流板10及喷淋板4。作用是让进入喷淋头小孔气体分布均匀。

该采用真空内加热，若无工艺限制结构设计合理温度可达到600℃，此时顶板有恒温循环冷却介质作用，一方面保护了密封圈9温度不会超过100℃，大大延长密封圈9寿命；另一方面顶板大气侧环境温度也不会过高而造成意外事故。

通过上述的两个具体实施方式发现，加热环6均设置在喷淋板4与喷淋顶板1连接处，但位置设置方式不同。如图1所示，一种方式为嵌入设置在喷淋板4上端面凹槽内；另一种实施例方式为设置在喷淋板4上端面上部，二者均可达到减少通过喷淋顶板对外部的热损失。但是通过实验表明，具体实施方式如图1所示的加热环6的位置结构设计，实验表明热阻会更大，热效率优于将该加热环6设置在喷淋板4上端面上的结构设计。该设计不仅仅从阻热的角度设计，更加考虑通过不同结构设计，会有不同的热阻效果。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：

1.一种真空内电加热喷淋头结构，设置在具有真空腔体的镀膜设备上，其特征在于：包括，

喷淋顶板，位于大气侧内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；

喷淋板，所述的喷淋板位于真空侧，连接于所述的喷淋顶板且具有凹进部，所述凹进部上设有多个喷淋通孔，该凹进部罩住喷淋气体入口形成一喷淋腔室；

加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内或者置于喷淋板的上端面上；

阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，连接于所述喷淋顶板。

2.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：在喷淋板上设有环形的凹槽，加热环嵌入到凹槽内上端面与隔热环接触连接。

3.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：还包括一热辐射隔板，设置在加热环与阻热环之间。

4.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：在阻热环与喷淋板接触处、喷淋顶板与喷淋板接触处均设有一密封圈。

5.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：加热环通过在喷淋顶板外接一供电装置对其加热。

6.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：所述的加热环与阻热环采用镍基合金材料。

7.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：喷淋腔室内还设有一阻流板，该阻流板上设有多个阻流通孔，喷淋气体进入方向为顺次经过气体入口、阻流板及喷淋板。

8.如权利要求7所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：阻流板上的阻热气孔直径小于喷淋板的通气孔。

技术总结
本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体提供了一种真空内电加热喷淋头结构，包括喷淋顶板，所述的喷淋顶板内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；喷淋顶板与腔体外壳连接处设有一圈密封条；喷淋板，与喷淋顶板连接且具有凹进部，上设有多个喷淋通孔。加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内；阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，与喷淋顶板连接。可实现真空腔体内对喷淋板的高温加热，通过结构优化调整热阻后喷淋板温度可达到300℃，同时减少通过喷淋顶板对外部的热损失，保障了其温度波动≤±5℃。同时保障外部大气侧空间温度符合生产规范。

技术研发人员：刘春;谈太德
受保护的技术使用者：拓荆科技股份有限公司
技术研发日：2021.04.14
技术公布日：2021.08.13