一种新型的晶片吸附垫的制作方法

1.本实用新型涉及晶片吸附垫技术领域，具体为一种新型的晶片吸附垫。


背景技术：

2.随着半导体技术的发展，人类对衬底表面质量要求会越来越高。对衬底抛光来说，人员操作与自动化操作均会涉及到2个动作，即衬底片的取和放。
3.常见的晶片吸附垫内部一般不具有夹紧和减振结构，导致吸附晶片后稳定性差，且振动的情况下晶片互相碰撞，不能满足晶片吸附垫的工作要求，为此提出一种新型的晶片吸附垫。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种新型的晶片吸附垫，具备夹紧和减振结构稳定等优点，解决了现有的晶片吸附垫内部一般不具有夹紧和减振结构，导致吸附晶片后稳定性差，且振动的情况下晶片互相碰撞，不能满足晶片吸附垫的工作要求的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述夹紧和减振的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型的晶片吸附垫包括吸附垫本体，所述吸附垫本体的顶端开设有取放槽口，所述取放槽口的加设有盖板，所述取放槽口与盖板的连接处开设有限位孔，所述限位孔的内部插接有限位杆，所述吸附垫本体的表面开设有第一凹槽，所述第一凹槽的内部加设有第二凹槽，所述吸附垫本体的内腔顶部两侧均开设有取放槽，所述相邻的取放槽之间横向加设有减振连接杆，所述吸附垫本体的两侧内壁上部均固定加设有夹紧装置
8.优选的，所述吸附垫本体为双层结构，外层为吸附垫本体，且内层为吸附发泡层，内层与外层之间贴设紧密连接。
9.优选的，所述取放槽竖直安装于吸附垫本体的内部，底部为椭圆状结构，且取放槽为3
‑
9组，相邻的取放槽间距一致。
10.优选的，所述减振连接杆为2
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8组，且减振连接杆的内部加设有减振弹簧。
11.优选的，所述夹紧装置的外侧安装有固定槽，所述固定槽的内腔加设有弹簧，且弹簧的一端连接有固定槽的内壁，所述固定槽的右侧内壁上部和下部均加设有限位块，所述弹簧的另一端连接有压板，所述压板的一端固定连接有活动杆，所述活动杆的一侧固定加设有挤压凹头。
12.(三)有益效果
13.与现有技术相比，本实用新型提供了一种新型的晶片吸附垫，具备以下有益效果：
14.1、该新型的晶片吸附垫，安装的盖板能够将晶片限制在取放槽内部，防止晶片在运动过程中掉落出取放槽，盖板盖住取放槽口后能够有效的防止灰尘异物的进入，且取放槽为竖直安装的，方便晶片的放置，易存易取，大大的节约了时间，提高了工作效率，保证了
晶片的安全性和洁净程度，为后续的工作提高了工作效率；
15.2、该新型的晶片吸附垫，安装的夹紧装置能够将取放槽内部的晶片夹紧，防止晶片因运动过程发生碰撞和振动，大大的提高了晶片存放的安全性和稳定性，使得不会出现晶片因碰撞出现损坏事故的发生，安装的减振连接杆，能有效的防止取放槽和内部晶片的振动，减振连接杆内部加设的有减振弹簧，能够将振动降至最低。
附图说明
16.图1为本实用新型结构示意图；
17.图2为本实用新型吸附垫顶端结构示意图；
18.图3为本实用新型吸附垫内部结构示意图；
19.图4为本实用新型a处放大结构示意图。
20.图中：1、吸附垫本体；2、取放槽口；3、盖板；4、限位孔；5、限位杆； 6、第一凹槽；7、第二凹槽；8、取放槽；9、减振连接杆；10、夹紧装置； 11、吸附发泡层；12、减振弹簧；13、固定槽；14、弹簧；15、限位块；16、压板；17、活动杆；18、挤压凹头。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1
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4，本实用新型提供一种技术方案，一种新型的晶片吸附垫，包括吸附垫本体1、取放槽口2、盖板3、限位孔4、限位杆5、第一凹槽6、第二凹槽7、取放槽8、减振连接杆9、夹紧装置10、吸附发泡层11、减振弹簧12、固定槽13、弹簧14、限位块15、压板16、活动杆17和挤压凹头18，吸附垫本体1为双层结构，外层为吸附垫本体1，且内层为吸附发泡层11，内层与外层之间贴设紧密连接，吸附发泡层11具有缓冲弹性效果，吸附垫本体1的顶端开设有取放槽口2，取放槽口2的加设有盖板3，取放槽口2与盖板3的连接处开设有限位孔4，限位孔4的内部插接有限位杆5，能够有效的防护灰尘和异物的进入保持晶片的洁净度，吸附垫本体1的表面开设有第一凹槽6，第一凹槽6的内部加设有第二凹槽7，第一凹槽6和第二凹槽7能够降低晶片的抛光弯曲度，吸附垫本体1的内腔顶部两侧均开设有取放槽8，取放槽8竖直安装于吸附垫本体1的内部，底部为椭圆状结构，方便晶片的存放，且取放槽8为3
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9组，相邻的取放槽8间距一致，相邻的取放槽8之间横向加设有减振连接杆9，能够有效的降低取放槽8的振动，减振连接杆9为2
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8组，且减振连接杆9的内部加设有减振弹簧12，能够降低内部晶片的晃动，使其不会因晃动而破碎，吸附垫本体1的两侧内壁上部均固定加设有夹紧装置10，夹紧装置10的外侧安装有固定槽13，固定槽13的内腔加设有弹簧14，且弹簧14的一端连接有固定槽13的内壁，固定槽13的右侧内壁上部和下部均加设有限位块15，弹簧14的另一端连接有压板16，压板16的一端固定连接有活动杆17，活动杆17的一侧固定加设有挤压凹头18。
23.本装置的工作原理：从限位孔4内部拔出限位杆5，打开盖板3将晶片放入取放槽8的内部，关闭盖板3再插入限位杆5，取放槽8之间安装的减振连接杆9将取放槽8之间固定，
减振连接杆9内部加设的减振弹簧12能够将吸附垫本体1的振动降至最低，夹紧装置10内部的弹簧14向压板16挤压后，压板16运动后带动活动杆17，活动杆17带动挤压凹头向前运动，将取放槽 8固定，防止晶片因运动过程发生碰撞和振动，大大的提高了晶片存放的安全性和稳定性，使得不会出现晶片因碰撞出现损坏事故的发生。
24.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种新型的晶片吸附垫，包括吸附垫本体(1)，其特征在于：所述吸附垫本体(1)的顶端开设有取放槽口(2)，所述取放槽口(2)的加设有盖板(3)，所述取放槽口(2)与盖板(3)的连接处开设有限位孔(4)，所述限位孔(4)的内部插接有限位杆(5)，所述吸附垫本体(1)的表面开设有第一凹槽(6)，所述第一凹槽(6)的内部加设有第二凹槽(7)，所述吸附垫本体(1)的内腔顶部两侧均开设有取放槽(8)，所述相邻的取放槽(8)之间横向加设有减振连接杆(9)，所述吸附垫本体(1)的两侧内壁上部均固定加设有夹紧装置(10)。2.根据权利要求1所述的一种新型的晶片吸附垫，其特征在于：所述吸附垫本体(1)为双层结构，外层为吸附垫本体(1)，且内层为吸附发泡层(11)，内层与外层之间贴设紧密连接。3.根据权利要求1所述的一种新型的晶片吸附垫，其特征在于：所述取放槽(8)竖直安装于吸附垫本体(1)的内部，底部为椭圆状结构，且取放槽(8)为3
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9组，相邻的取放槽(8)间距一致。4.根据权利要求1所述的一种新型的晶片吸附垫，其特征在于：所述减振连接杆(9)为2
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8组，且减振连接杆(9)的内部加设有减振弹簧(12)。5.根据权利要求1所述的一种新型的晶片吸附垫，其特征在于：所述夹紧装置(10)的外侧安装有固定槽(13)，所述固定槽(13)的内腔加设有弹簧(14)，且弹簧(14)的一端连接有固定槽(13)的内壁，所述固定槽(13)的右侧内壁上部和下部均加设有限位块(15)，所述弹簧(14)的另一端连接有压板(16)，所述压板(16)的一端固定连接有活动杆(17)，所述活动杆(17)的一端固定加设有挤压凹头(18)。

技术总结
本实用新型涉及晶片吸附垫技术领域，且公开了一种新型的晶片吸附垫，所述吸附垫本体为双层结构，外层为吸附垫本体，且内层为吸附发泡层，内层与外层之间贴设紧密连接，所述吸附垫本体的顶端开设有取放槽口，所述取放槽口的加设有盖板，所述取放槽口与盖板的连接处开设有限位孔，所述限位孔的内部插接有限位杆，所述吸附垫本体的表面开设有第一凹槽，所述第一凹槽的内部加设有第二凹槽，所述吸附垫本体的内腔顶部两侧均开设有取放槽，所述取放槽竖直安装于吸附垫本体的内部，底部为椭圆状结构，且取放槽为3


技术研发人员：王璇
受保护的技术使用者：天津微科光电科技有限公司
技术研发日：2021.07.05
技术公布日：2021/12/28