专利名称：玻璃涂层工艺的制作方法
技术领域：
本发明涉及玻璃涂层的方法，具体地说，涉及到由至少两种气体试剂共同反应，在运动的热玻璃带上形成涂层的一种为玻璃涂层的方法。
周知可用在热玻璃表面上分解的气体试剂，生产出具有供建筑用所需性质的涂层。例如适用作日光控制涂层的那种硅涂层，便是通过在热玻璃表面上高温分解含硅烷的气体制成，同时已提出过许多建议，从其它合适的气体试剂来生产其它类型的日光控制与低热辐射率(高红外反射率)的涂层。可惜的是，已然证明难以在大规模生产实践中获得具有所需厚度的足够均匀的涂层。
英国专利说明书1454377号描述了一种工艺，其中将包括有至少一种涂层试剂的气体混合物，通过一喷嘴出口雷诺数至是为2500的喷嘴，导向一待涂层的基片。这种涂层试剂是在载体气体中，通过一横延到待涂层基片带宽的长喷嘴，按与此基片表面成90°的角度导向基片，而用过的涂层气体便通过喷嘴两侧上的真空罩抽出。涂层气体并不是平行地通过玻璃表面，而对于应用这种在达到热玻璃表面前易于共同反应的试剂混合物，并未提供专门的装置。
根据英国专利说明书1507996，使气体在层流条件下平行地流过玻璃表面，来从一种试剂气体去涂敷均匀的涂层。这里在应用到达热玻璃表面前易于共同反应的试剂混合物，仍未提供专门的装置。
英国专利说明书1516032号叙述了用一种流体介质为玻璃涂层的方法，此种介质含有一或多种可取液体或气体形式的涂层试剂，它或它们可作为一或多股气流导向热玻璃上，且其中的至少一股在玻璃带运动方向上有分速度，并以不大于60°的角度(或平均角度)倾斜向玻璃带的表面。据说，采用该项发明能使涂层具备如下特征与玻璃接触的均匀结构层中之晶体作规则排列。当需要有两种或更多种的组分来同时起反应时，它们可以通过一批相邻的喷嘴作为独立的流体流来供料，各个喷嘴配置成依一锐角朝玻璃表面上供给一股试剂流，使这些试剂在邻近玻璃处相互接触，或可只用一个喷嘴来供应第一种试剂流，而通过此第一种试剂流的动量与倾角，感生出用作第二种试剂的空气流。在涂层区的下游可设置一排气管以从涂层区中抽出气体，并可为玻璃表面设置一罩，以在玻璃上方界定出一条避开试剂流撞击玻璃的流道。
英国专利说明书1524326号描述了一种方法，其中使气体介质成为一种基本上无紊流的层，顺着部分地为玻璃表面界定的流道，沿待涂层的玻璃基片流过，此流道通向一使残留气体可从玻璃上抽走的排气导管。气体试剂是通过引入上述流道上游端中的入口槽而进入流道的，此入口槽所处位置，可使这些气体试剂一齐以锐角方向引向玻璃。
英国专利说明书GB202645B特别适及到一种在热玻璃表面上形成氧化锡涂层的工艺，所用的一种气体介质中，含有浓度相应于至少2.5×10-3大气压偏压的四氯化锡和浓度相应于至少10×10-3大气压偏压的水蒸汽。在一经特别优选出的实施例中，使含有四氯化锡蒸气的氮载体气体流沿涂层中的玻璃表面通过，同时使含水蒸汽的一股空气流在上一股气流沿着玻璃表面流动的位置，输入到这股气流中去。可以将氟化氢之类的掺杂剂独立地或与上述潮湿空气混合送至玻璃表面。这股气流最好按小于45°的锐角送至玻璃表面，使之沿着玻璃作为一种基本上无紊流的层，顺着部分地为玻璃表面界定的流道流过，此流道则通向一所使残留气体从玻璃上抽走的排气导管。
英国专利说明书GB2044137A描述了一种用来将气体试剂流引向待涂层之热玻璃表向上的喷嘴。为了避免所用的涂层气体，例如四氯化锡与水蒸汽，过早起反应，这种喷嘴包括有二个相邻的喷管，各喷管都有一个由直线式狭缝构成的排出孔。这些喷管边靠边的配置，它们的直线式狭缝相平行，而界定出这些喷管的侧壁则朝着这三根喷管的一条公用虚构的线会聚。使用中，将此喷嘴安装成使上述狭缝横越过待涂层之热玻璃带，所说虚构线基本上落在玻璃的平面中。分离的试剂层流从喷管嘴排出，并沿此虚构的线撞击玻璃。实际操作时，喷嘴与玻璃界的这种距离可略为缩小，以在气流冲击玻璃的部位产生较强的局部紊流来促进混合。残余的气体经在喷嘴上游与下游的排气导管从涂层区中抽出。
英国专利说明书GB2113120B描述了GB2044137A中所述喷嘴的一种改进型式，其中邻近玻璃的喷嘴面加工成可使来自喷嘴的气体流绝大部分集中在下游方向。这种气流在其离开喷管时为层流，被偏转到玻璃的运动方向并大体上与玻璃平行。这种，此种气流就会比GB2084137A工艺中的情形能更徐缓地触合玻璃，使紊流的程度减少，据认为这会有助于减少先有这类装置偶有发生的覆盖不足的现象。
根据上述英国专利说明书GB2044137A相同的发明人在欧洲专利说明书EP0060221中所述的另一种方法，是使涂层气体中的各股气流在接触到基本之前相互渗合，这或者是使它们以不同的速度运动，或者是使它们以大于35°的角互相引向到一起，或者综合用以上两种方法，借助于这种冲击的搅拌效应，使之几乎立刻就成为一种混合物。在其中所述的实施例中，试剂气体是通过终端非常接近玻璃的一组平行喷嘴输出，各个喷嘴中设有用于第一种试剂气体的中央导管和用于第二种试剂气体的第二共轴导管。这些导管中有挡板将相对的转动传给此第一与第二试剂气体，使得这些气体流在喷嘴口部分会合，并在这两股气体流中任何一股接触到玻璃之前即刻基本上混合。此外，各喷嘴还包括一与前两喷管共轴的第三导管，用来从反应区中排出废气。
在英国专利申请书GB2184748A号所述的另一方法中，是在涂层室的上游端将一种涂层基料与一种氧化气体引入到玻璃上方的混合区的井中。给此混合区供热，使涂层基料与氧化气体在此混合区中彻底混合同时暴露向基片，但是要处在可使基本上均匀化的蒸汽混合物开始形成涂层的一个高度。然后使这种混合物连续地流过涂层上与玻璃的上表面接触。据认为，优点是室的顶部结构在下游方向的高度降低了，节制了沿涂层室的蒸汽流量。在一些个最佳实施例中，此顶部结构呈弧形降低到玻璃上方的下游顶部部分。看来这会促进载基料的蒸汽在涂层内有平均的全面的下游流，而据认为这会有利于使形成的涂层均匀。有利的是，此处的涂层室至少有5米长，利用这样长的涂层室，据说当于快速运动的基片上，例如在新形成的浮法玻璃带上来形成较厚的涂层时，特别有利于提高涂层的产率。
尽管有了上面论及的各种先有申请，但这些申请人并没有涉及到以工业规模在运动的玻璃带上生产厚度超过200毫微米之涂层中，利用各种气体的工艺。因此需要有一种简便的工艺，它不必用那种易于堵塞的复式喷嘴;而且是在不需上述那种涂层室的前提下，就能从气体试剂的混合物于热的浮法玻璃带上生产出超过200毫微米厚的基本上均匀的涂层。
申请人等业已发现，通过使试剂气体的混合物依大致平行于玻璃运动的方向，作为一种紊流来流过热玻璃表面的一种工艺，能够很方便地在一较短的涂层室中生产出较厚的(超过200毫微米的)涂层。
依据本发明，提供了从至少两种气体试剂同时起反应在运动的热玻璃带上沉积涂层的一种工艺，此工艺包括(a)在大致平行于玻璃运动方向的第一总方向上，沿着热玻璃表面形成第一种试剂的第一种气体流;
(b)在与上述第一总方向且相对于玻璃表面成一定角度的第二总方向中，建立起作为紊流的第二种试剂气体的第二种气体流;
(c)依上述角度将此第二种气体流引至第一种气流中，同时基本上避免此第二种气体流的上游流进入此第一种气体流之中。
(d)然后将这种结合起的涂层气流在上述第一总方向上作为一种紊流通过涂层区，流经热玻璃表面。
在涂层区中用过的涂层气体最后自热玻璃上抽走。
此第一与第二种气体流中都包含有一或多种涂层试剂和一种载体气体，例如是氮气或空气，而且显然要求以上这两种气体流在相互混合前，其中任何一种不会混合着将与之一齐反应而在玻璃或涂层设备上形成有害的固体沉积物之气体。
第二种气体流是以紊流形式提供的，正如我们已然发现的，这是为了使之与业已同玻璃接触的第一种气流混合到满意程度所必须的。第二种气体流的这种紊流使得以上两种气体快速混合，并能如下述在短的涂层区上沉积出非常均匀的涂层。
这里所用“紊流”一词指的是这样一种流，其中在时间与空间上都属无规则的各种波动，于平均流的条件下，速度上和方向上都是叠加的。可以这样地来获得所需的紊流，即在充分高的雷诺数(一般至少为2500下工作，或在略低的雷诺数下工作，但给此种气流以足够的上游扰动来确保产生紊流。虽然当气流在其上游有充分扰动的条件下可采用低于2500的雷诺数，但通常至少需要1700的雷诺数才能获得所需的紊流，不过要是施加充分大的切力时，还可在甚至更低的雷诺数下进行生产。
上述结合成的这种气流，通常是在至少2500雷诺数下，而最好是在至少6000雷诺数下工作。
雷诺数R为无量纲的量。对于流过导管的气体来说，它可据以下公式计算雷诺数＝W·δ· (L)/(η)其中W＝导管中气体的密度δ＝在导管中流动之气体的动力粘度η＝导管中气体流动的动粘度L＝导管的流体力直径＝ (4×导管的横截面积)/(导管的湿润周长)
第一种流可以是紊流或层流。它最好是与玻璃运动方向同向的并流，而当它在总的方向上基本上与玻璃的运动方向相平行时，它可以稍稍地朝玻璃会聚或稍稍离玻璃发散。此外，要让这种已结合起的气流严格地平行于玻璃并非绝对必须的，例如，当这种平均流相对于玻璃运动方向基本上属并流或逆流且在涂层中与玻璃接触时，它就允许朝或离向玻璃有稍许会聚或发散。
要基本上避免在第一种试剂气体的第一气流中有第二种试剂气体的上游流。这种上游流易于在第二种试剂气体流引入第一种试剂气体流的部位的上游，造成涂层材料的不均匀的局部沉积。因此，为了要避免会导致最终涂层有显著不均匀性的涂层材料发生局部沉积，就要从基本上避免这种上游流。
而为了从基本上避免第二种试剂气体有任何上游流进入第一种气流中，则最好使此第二种气流在相对于第一种气流不超过约90°的角度的条件下形成并引入第一种气流中。实际上最好采用约90°的角，因为已发现这样的角度在载运第二种气流之导管的出口处，使涂层材料的沉积减到最低限度，同时避免了第二种试剂气体上游流流入第一种气流中。
已知这种气流中那种转动的组织或涡流之类的大尺度结构现象，是易于导向涂层的不均匀性，因而应该避免。应用紊流看来实际上能减少这类现象。通过提高将第二种气体试剂流引入第一种气体试剂流中的流率，和/或使相结合之气流的速度低于第二种气流的速度，就能进一步减少这类现象，而此第二种气流在沿着玻璃表面导向时减慢。另一方面，那种小尺度的结构特点，例如其最大尺寸与涂层区中已沉积上多半厚度的那部分长度相比较小(例如小20%，而最好小10%)的那种小尺度结构，却是可以允许的而不会使均匀性偏离到不可接受的程度。于是，在紊流中必有的小尺度结构是可允许的。
本发明特别适用于，例如以二氧化锡作第一种气体试剂而以水蒸汽为第二种气体试剂，来产生红外反射的氧化锡涂层。为了提高红外反射率，可采用锑源或氟源之类的掺杂剂加入到上述的反应气体中。借助本发明的工艺，也可应用二氧化钛或一氧化钛之类的其它涂层。在涂敷二氧化钛涂层时，可用四氯化钛作第一种气体试剂而以水蒸汽为第二种气体试剂。要获得一氮化钛涂层时，则可用四氯化钛为第一种气体试剂而以氨为第二种气体试剂。
本发明由下面对照附图进行的描述来阐明，但不为其限制，附图中
图1为依据本发明之方法来沉积涂层之设备的横剖面侧视图;
图2是图1所示设备沿图1箭头2方向截取之端视图;
图3是更细致地示明加入图1设备中的一种气流限制管的横剖面侧视图。
附图中以相同数号指相同部件。
在下面的叙述以及在后的权利要求书中，“上游”与“下游”等词是相对于试剂气体通过涂层区中之流向而言。最好象将以举例方式所述之具体实施例中的情形那样，上述试剂气体相对于玻璃的运动方向是并流的，但这不是必需的，当试剂气体的流向相对于玻璃的运动方向为逆流时，本发明也同样是有利的。
具体地参看图1与2，一般由1指明的涂层设备，悬架在一于滚筒(未示明)上从左至右行进的热玻璃带12的上方。
上述涂层设备挂在一滑架2上，后者包括一水平板3，此板的上表面上焊接有许多例如在4处所示的前向装配架和在5处所示的后向装配架。一般，横跨此设备的宽度设有三个前向与三个后向装配架，在各种情形下，一个架装在设备的中央，另两个架则靠近设备的边部安装。各装配架4、5分别挂在相应的水冷樑(未示明)上，后者横延过待涂层之玻璃板带的宽度。
此设备的下部包括许多异型的碳砖32、34、36、38、40与42，它们横延的长度相当于待涂层之玻璃表面的宽度。这些碳砖和玻璃表面界定出一具有阶梯状构型之顶板9a、9b的涂层室10，涂层室10在第二进口通道15上游侧的顶板9a高于此涂层室在第二进口通道15下游侧的顶板9b。这些碳砖还界定出用来将第一种试剂气体引入涂层室的一种垂直的第一进口通道14;用来将第二种试剂气体引入此涂层室的垂直的第二进口通道15;涂层室中在第一进口通道14与第二进口通道15之间的流路16;用来从涂层室中除去废气的排气通道18;以及由涂层室中在第二进口通道15与排气通道18之间的流道构成的涂层区17。
每块碳砖都是挂在一水平板件44之下。这些砖中有供传热流体例如冷水用的管道(未示明)，应用本设备时，碳砖的温度可以让冷水通过这些管道来控制。
涂层室10有一个延伸贯穿待涂层之玻璃带12宽度的敞开的面。在此室的上游端，碳砖32与34界定出前述垂直的第一进口通道14，第一种气体试剂即通过它引至涂层室内。在此第一进口通道的下游，碳砖34与36之间界定出一第二垂直进口通道15，用来将第二种气体试剂引入涂层室内。
在涂层室的下游端，碳砖40与42界定出一用来从此室内除去废气的排气通道18。
第一种试剂气体是从一供气导管(未示明)，通过一扇尾状的分配器19与一气流限制器22送入第一进口通道14的。此扇尾状分配器是界定在倒扇形的前壁20与后壁21之间，此前壁与后壁朝下相对地相互会聚，而在此扇尾件的底部形成一延伸贯穿待涂层玻璃带宽度的窄槽口48。
从扇尾状分配器19底部槽口48出来的第一种试剂气体，通过安装在此分配器19下方的气流限制器22。
气流限制器22更详细地示明在图3中，包括有成对设置的相向的长壁120、122与121、123，它们界定出一细长室124。长壁120、122与121、123在横向延伸贯穿待涂层之玻璃带，壁120与121为上游壁而壁122与123为下游壁。在此细长室124的各端设有相对的端壁126，各端壁126按照与玻璃带运动方向相平行的设置。
在气流限制器22的进口端设有一进口节流件127，后者包括一跨越室124宽度的细长进口板件128。此进口板件128密封地装定在相向的水平板对130、132之间，各对板130、132例如是用焊接方式接附到相应的长壁120、122与扇尾状分配器19之上。各对板130、132是由螺纹连接件134牢牢地连在一起的。在各对板130、132与进口板件128之间设有垫圈(未示明)。
沿进口板件128的长向开有一排孔136，孔136使气流限制器的进口端与室124的其余部分通连。孔136呈圆形，直径最好是2mm至10mm。在一个特别优选出的实施例中，孔136的直径都是4mm，相邻两孔的中心距为20mm。这排孔136是开设在细长室124的上游侧，也就是说，这排孔136至室120上游壁120的距离小于至下游壁122的距离。
在气流限制器22的出口110的近旁设有一出口节流件138。此出口节流件的结构基本上与进口节流件127相同，它包括一细长出口板件140，后者密封地装配在两相向成对的板142、144之间，各对这样的板142、144中上方的板则用例如焊合的方法连接到相应的长壁121、123之上。板142、144由垫圈(未示明)与出口板件140隔开。板142、144由螺纹连接件146紧紧地连在一起，这些连接件也使板142、144，从而还使气流限制器22牢牢地接附到从上面挂下有碳砖32、34的板44之上。出口板件140上开有一排孔152，孔的直径最好从2mm至10mm，而在一特别优选出的实施例中，各孔的直径为4mm，相邻两孔的中心距为10mm。这排孔152是开设在细长室124的上游侧。
在出口板件140下方，于气流限制器22的出口处110安装一气流偏转器154。此气流偏转器包括一与上述这对板142中之一成整体的长L形部件156，后者设在与孔152相邻处。L形部件156的自由臂向上朝出口板件140延伸，中间限定出一间隙160，来自孔152的试剂气体在为L形部件156的水平臂162偏转后就必须通过此间隙。
气流偏转器154是用来消除可能发生的气流的某种局部性增大。例如存在有这样的倾向在板件140的下方，此板件中各个孔152紧邻处的气流常会较强。气流偏转器154的存在使得这些局部增强的气流均匀化了。在某些情形下，可从本发明之气流限制器中省除此气流偏转器154。
在进口节流器127与出口节流器128之间有一中间节流器164。此中间节流器164的结构与进口节流器127相同，且包括一上面有一排孔168的细长的中间板件166。此中间板件166密封地固定在相向成对的水平板170、172之间，它们例如通过焊合分别接附到长壁120、121与122、123之上。在板170、172与中间板件166之间设有垫圈(未示明)，而板170、172则是由螺纹连接件174紧固地连在一起。中间板件166上的这排孔168，与进、出口板件128、140的情形相反，设在细长室124的下游侧，也就是说，这排孔168同室124下游壁122、123的距离要小于其同上游壁120、121的距离。这样的安排方式使得相邻细长板件中成排的孔相互不成一直线。
第二种试剂气体是通过另一个扇尾状分配器24，从第二供气导管(未示明)送入第二进口通道15的，此种分配器的结构与扇尾状分配器19相同，然后此气流再通过一结构与气流限制22相同的气流限制器25。
从排气通道18排出的气体通过一分隔器装置52中的通道50，进入一包括有倒扇形前壁27与后壁28的一排气扇尾件26中，后者将废气、未反应的试剂气体与载体气体一齐输向一排气导管(未示明)。
界定出第一与第二进口通道14与1的碳砖32、34与36，它们各自的高度选择成，能使涂层室10的顶板9a、9b在第二进口通道15与此涂层室会合处呈阶梯状构型，此涂层室在进口通道15上游侧的顶板9a，高于涂层室在进口通道15下游侧的顶板9b，正如图1所示，通过此种顶板所截取的纵向剖面描出的线是不连续的，且有一阶梯状构型。例如，砖36的底部可以选择成较砖34之底部低10mm。结果使得此第二进口通道上游壁54之底部可较此第二进口通道下游壁56之底部高10mm，由此而形成一具有阶梯状构型的进口槽口58。已发现这种阶梯状的进口槽口58可在其邻区，使沉积到第二进口通道15之侧壁上的固体涂层料数量减至最少。
碳砖36的上游下部角隅形成为一种凸曲面(未示明)，例如对于10mm高的阶梯状进口槽口58来说，该凸曲面的曲率半径为10mm。
使用时，本发明的涂层设备悬架在处于滚筒(未示明)上面从左朝右行进之玻璃带12的上方。此涂层设备悬架在玻璃带上方的高度，要使碳砖42在此设备下游端处保持到待涂层之玻璃带表面上方一约10mm的高度处。第一种试剂气体一般是在一种载体气体中稀释，送至扇尾状分配器19与气流限制器22，后者能在待涂层之玻璃的整个宽度上均匀地分布此种气体。从气流限制器22中出来的气体通过第一进口通道14，进入涂层室10，沿着室10中的流道16，依照一大致与玻璃平行的方向朝第二进口通道15的底部行进。第二种试剂气体一般是在一种载体气体中稀释，被送向扇尾形分配器24与气流限制器25，以保证此第二种气体试剂在整个玻璃宽度上均匀分布。
第二种试剂气体，包括任何载体气体，是在保证第二进口通道15中的试剂气体的紊流能以足够的速率进入涂层室的第一种试剂气体流中的前提下，送入扇尾状分配器24的，而此第一与第二种气流的相对速率要选择成避免第二种试剂的上游流进入第一种气流中。结合成的气流作为紊流在玻璃表面之上通过涂层区17，在这里，两种试剂气体反应，在热玻璃表面上沉积出涂层。通过由向上扩展之倒扇形前壁27与后壁28构成的排气扇尾件26进行减压，例如经排风扇(未示明)抽气，使载体气体、未反应的试剂气体与废气，经排气导管18自热玻璃上从涂层区中抽出。上述负压不仅仅从涂层区中抽出了气体，但还能在涂层设备上、下游终端(29、30)之下感生出外部的大气流。
从第一进口通道14引进的第一种试剂气体的第一气流可以是紊流或层流。
采用顶板部分在第二通道入口处呈阶梯状构型的涂层室，不会因涂层材料沉积在此进口通道内而发生不希望有的堵塞，就能使此设备工作的时间加长。采用上述的方法与设备将掺氟的氧化锡涂层沉积到热玻璃带上的工艺，将以举例方式描述于下例14毫米厚的浮法玻璃带以540米/时的带速于图1至3所示涂层设备之下行进。涂层设备位于退火炉的进口前，涂层设备下的玻璃之温度为580℃。第一种包括四氯化锡的试剂气体是在作为载体气体的于354℃预热的干燥空气中，送入扇尾状分配器19的。四氯化锡是按84公斤/小时的速率供应，而干燥空气是按每小时105立方米(常温常压下测定)供应。第一种试剂气体通过扇尾状分配器19与气流限制器22，将气体在涂层室10的整个宽度上分配，以在涂层室的整个宽度上把基本上均匀的第一种试剂气体流供给进口通道14。从进口通道14出来的气体与上游端29下感生出的空气流结合，依大致平行于玻璃的第一方向沿流道16朝向第二进口通道15与涂层区17流动。从进口通道14出来的气体之雷诺数经计算为1300。
在温度402℃预热的空气中含有20%氢氟酸的第二种试剂气体供应给扇尾状分配器24的入口。氢氟酸按34公斤/小时的速率供应，而空气是按620立方米/小时(常温常压下测定)供应。第二种试剂气体通过扇尾状分配器24与气流限制器25，使在涂层设备的整个宽度上分配气体，使基本上均匀的第二种试剂气体流于涂层设备的整个宽度上分配给进口通道15。从第二进口通道作为一种紊流出来的气体与在玻璃表面上方建立起的第一种试剂的第一种气流相结合。从进口通道15出来之气体的雷诺数经计算为4750。
当沿着流道16，从进口通道15将第二种气体流引入由第二进口通道14所确立的气流中时，这两种试剂气体迅速混合，形成一种通过涂层室10的结合起的气流。此通过涂层室10的结合的气流之雷诺数计算出为7600，得以在上游端29下方感生出空气流。通过限制第二种气流通过进口通道15的速率并保持有足够高的通过排气通道18的抽气速率，就能避免有第二种试剂气体的上游气流进至第一种试剂气体的第一种气流中。
在排气扇尾件26的前头加负压(大气压下7.5毫巴)，就能够将废气经排气通道18与排气扇尾件26从热玻璃上方抽走。
据上述工艺，用在进口通道15与排气通道18之间约75厘米长的较短的涂层区17，已然获得了厚度范围为250至275毫微米(边缘部分例外)，平均厚度为270毫微米的掺氟的氧化锡均匀涂层。经涂层的玻璃显示出彩虹式反射色，这种效应，由于涂层厚度的波动范围很窄(±5%)，是可以通过英国专利申请GB2199848A号所述之在膜层下隐色的方法，很方便地加以消除的。
例2重复例1中的步骤，但有如下变动。在第一种试剂气体中，四氯化锡的供给速率为74公斤/小时，而预热空气是在300℃下以每小时180立方米(常温常压下测定)的速率供给的。从进口通道14出来的气体之雷诺数经计算为1900。第二种试剂气体包括有蒸汽及20%的氢氟酸与温度为250℃的预热空气。蒸汽的供应速率为120公斤/小时，氢氟酸的供应速率为35公斤/小时，而空气的供应速率为每小时576立方米(常温常压下测定)。从进口通道15出来的气体之雷诺数计算为6100，而通过涂层室的已结合之气流的雷诺数算出为8400。用来从玻璃表面抽走用过的涂层气体之负压为大气压下5毫巴。
业已发现，上述工艺可以制备出厚度为303至320毫微米的相当均匀的掺氟的氧化锡涂层。此种已涂层的玻璃显示出的绿的彩虹式反射色，由于涂层厚度的波动范围很窄，可以采用英国专利申请GB2199848A号所述的在膜层下隐色的方法，很方便地予以消除。
从上所知，本发明可在不足2米长的涂层区，甚至更好可在不足1米长的涂层中，以满意的均匀度沉积出较厚(200毫微米强)的涂层。
权利要求
1.由至少两种气体试剂同时起反应，在运动的热玻璃带上沉积涂层的一种工艺，特征在于它包括以下步骤(a)在大致平行于玻璃运动方向的第一总方向上，沿着热玻璃表面形成第一种试剂的第一种气体流，(b)在与上述第一总方向且相对于玻璃表面成一定角度的第二总方向中，建立起作为紊流的第二种试剂气体的第二种气体流；(c)依上述角度将此第二种气体流引至第一种气流中，同时基本上避免此第二种气体流的上游流进入此第一种气体流之中；(d)然后将这种结合起的涂层气流在上述第一总方向上，作为一种紊流通过涂层区流经热玻璃表面。
2.如权利要求1所述的工艺，特征在于它包括有从涂层区中从热玻璃上抽出用过的涂层气体之步骤。
3.如权利要求1或2所述的工艺，特征在于此第二总方向是相对于所述第一总方向与玻璃表面约成90°的角度。
4.如上述任一项权利要求中所述的工艺，特征在于此结合起的气流之雷诺数至少是6000。
5.如上述任一项权利要求中所述的工艺，特征在于此第一种试剂气体包括四氯化锡。
6.如上述任一项权利要求中所述的工艺，特征在于此第二种试剂气体包括水蒸汽。
7.如权利要求6所述的工艺，特征在于在第二种试剂气体中用氢氟酸为掺杂剂。
8.如上述任一项权利要求中所述的工艺，特征在于此结合起的气流是在涂层区下游端减压的影响下，引导到通过涂层区的。
9.以上述任一项权利要求中之工艺进行涂层为其特征的玻璃。
全文摘要
由化学汽相沉积法为运动之热玻璃带涂层的工艺，它包括在平行于玻璃运动方向上形成第一种试剂气体的第一种气流，作为紊流与玻璃表面成一定角度形成第二种试剂气体的第二种气流，依此角度将第二种气流引入第一种气流并避免前者的上游流至后者中，将此结合起的气流作为紊流流过热玻璃表面，然后抽出废气。此工艺可以短涂层区上沉积出超过200nm厚的均匀涂层，适用对热玻璃进行金属氧化物涂层，例如氟掺杂的氧化锡涂层。
文档编号C23C16/44GK1041747SQ8910793
公开日1990年5月2日 申请日期1989年10月14日 优先权日1988年10月14日
发明者伯瑞·瑟玛斯·哥雷德, 艾德华·哈哥云斯 申请人:彼尔金顿公共有限公司