柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及柔性卷绕镀膜领域，特别是涉及一种柔性卷绕镀膜设备中的薄膜平整度在线控制装置。
【背景技术】
[0002]目前柔性透明导电薄膜沉积技术已经在触摸屏行业广泛推广，柔性透明导电膜通过卷绕镀膜设备镀制，柔性透明导电薄膜基材都是PET (Polyethylene terephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇酯)等柔性材料。
[0003]现代电子产品都在向轻重量、薄厚度、大尺寸发展，因此对于其各个零件都要在此方向发展，其中柔性透明导电薄膜厚度也由125um在向23um迈进，但是基材越薄对于其在溅射镀膜时的平整度要求越高也越难控制，往往造成产品良率大大降低，从而使生产成本也大大提尚。
[0004]因此，亟需提供一种可提高柔性卷绕镀膜中薄膜平整度的装置来解决上述问题。
【发明内容】
[0005]本发明所要解决的技术问题是提供一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置，能够在卷绕镀膜设备溅射镀膜过程中提高薄膜的平整度。
[0006]为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是:提供一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置，柔性卷绕镀膜设备包括放卷室、工艺室、收卷室，工艺室包括镀膜鼓、环绕镀膜鼓的磁控溅射阴极系统、若干个传动辊，薄膜平整度在线控制装置包括平整度调节辊、液压调节按钮、连接平整度调节辊与液压调节按钮的液压油管道，平整度调节辊呈香蕉状，分布在工艺室内相邻两个传动辊之间。
[0007]在本发明一个较佳实施例中，所述液压调节按钮包括液压增加按钮、液压减少按钮。通过不同的液压调节按钮来调节平整度调节辊的转动角度。
[0008]在本发明一个较佳实施例中，所述薄膜平整度在线控制装置为封闭的循环液压装置，以此来实现对薄膜平整度的调节。
[0009]在本发明一个较佳实施例中，所述薄膜平整度在线控制装置适用于为厚度在50 μm以下的薄膜镀膜的柔性卷绕镀膜设备中。
[0010]本发明的有益效果是:本发明结构简单，通过设置在柔性卷绕镀膜设备中实现在线控制薄膜平整度，提高了溅射镀膜的产品良率，尤其是厚度不大于50μπι的薄膜镀膜产品良率，进而减少了生产成本，显著增加经济效益。
【附图说明】
[0011]图1是本发明一较佳实施例在柔性卷绕镀膜设备中的安装位置示意图；
[0012]图2是所述柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置的工作状态示意图；
[0013]图3是所述柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置的原理示意图。
[0014]附图中各部件的标记如下:1、放卷室，11、放卷装置，2、传动辊，3、工艺室，31、镀膜鼓，32、磁控溅射阴极系统，4、收卷室，41、收卷装置，5、平整度调节辊，6、液压调节旋钮，61、液压增加按钮，62、液压减少按钮，7、液压油管道，8、原膜。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0016]请参阅图1，本发明实施例包括:
[0017]一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置，适用于为厚度在50 μπι以下的薄膜镀膜的柔性卷绕镀膜设备中，柔性卷绕镀膜设备包括放卷室1、工艺室3、收卷室4，放卷室I包括放卷装置11、若干个传动辊2，工艺室3包括镀膜鼓31、环绕镀膜鼓31的磁控溅射阴极系统32、若干个传动辊2，收卷室4包括若干个传动辊2、收卷装置41。薄膜平整度在线控制装置包括平整度调节辊5、液压调节按钮6、连接平整度调节辊5与液压调节按钮6的液压油管道7，平整度调节辊5呈香蕉状，分布在工艺室3内相邻两个传动辊2之间。
[0018]结合图2和图3，所述薄膜平整度在线控制装置由一个封闭的循环液压装置组成，所述液压调节按钮6包括液压增加按钮61、液压减少按钮62，工作时通过选择不同的液压调节按钮6来对平整度调节辊5的弯曲角度大小进行调节，薄膜厚度不同，其张力也就不同，因此需要平整度调节辊5的弯曲角度就不同。对于薄膜厚度为10?30 μ m，平整度调节辊5的弯曲角度宜在5?10°之间，薄膜厚度为30?50 μπι，平整度调节辊5的弯曲角度宜在10?20°之间。当按动液压增加按钮61时，液压油按照图中所示左边箭头方向经过液压管道7运行，平整度调节辊5的弯曲角度变大；当按动液压减少按钮62时，液压油按照图中所示右边箭头方向经过液压管道7运行，平整度调节辊5的弯曲角度变小，当平整度调节辊5转动至需要调节的角度时即停止按动液压调节按钮6。
[0019]下面对柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置的工作原理进行具体描述，请参阅图2(a)，当平整度调节辊5的传动角度为0°时，其弯曲部分处于原膜8 (尚未磁控溅射的薄膜基材)的下方，对原膜8没有调节作用；请参阅图2(b)，当平整度调节辊5处于90°位置时，其弯曲部分与原膜8接触，对原膜8有向两边扩张的作用，因此可以对原膜8的平整度进行调节和控制。
[0020]柔性卷绕镀膜设备的镀膜流程步骤为:先对设备进行破真空处理，然后打开放卷室1、工艺室3、收卷室4的门，把成卷的原膜8放到放卷装置11上，原膜8经过传动辊2、平整度调节辊5、镀膜鼓31、传动辊2、平整度调节辊5、传动辊2、收卷装置41穿引完成。因此原膜8经过平整度调节辊5后再经过镀膜鼓31和磁控溅射阴极系统32，这样就保证镀膜前原膜8是经过平整度调节辊5调整后再进行镀膜的，从而保证了镀膜时的良品率；原膜8在离开镀膜鼓31时是经过平整度调节辊5后再到收卷装置41，这样就保证了收卷整齐、平整。
[0021]本发明结构简单，通过设置在柔性卷绕镀膜设备中可直接在线对薄膜张力进行控制，实现在线控制薄膜平整度，保证镀膜前膜面平整，收卷时膜面平整，提高了溅射镀膜的产品良率，尤其是厚度不大于50 μπι的薄膜镀膜产品良率，进而减少了生产成本，显著增加经济效益。
[0022]以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置，柔性卷绕镀膜设备包括放卷室、工艺室、收卷室，工艺室包括镀膜鼓、环绕镀膜鼓的磁控溅射阴极系统、若干个传动辊，其特征在于，薄膜平整度在线控制装置包括平整度调节辊、液压调节按钮、连接平整度调节辊与液压调节按钮的液压油管道，平整度调节辊呈香蕉状，分布在工艺室内相邻两个传动辊之间。
2.根据权利要求1所述的柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置，其特征在于，所述液压调节按钮包括液压增加按钮、液压减少按钮。
3.根据权利要求1所述的柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置，其特征在于，所述薄膜平整度在线控制装置为封闭的循环液压装置。
4.根据权利要求1至3任一项所述的柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置，其特征在于，所述薄膜平整度在线控制装置适用于为厚度不大于50 μ m的薄膜镀膜的柔性卷绕镀膜设备中。
【专利摘要】本发明公开了一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置，适用于为厚度不大于50μm的薄膜镀膜的柔性卷绕镀膜设备中，柔性卷绕镀膜设备包括放卷室、工艺室、收卷室，工艺室包括镀膜鼓、环绕镀膜鼓的磁控溅射阴极系统、若干个传动辊，薄膜平整度在线控制装置包括平整度调节辊、液压调节按钮、连接平整度调节辊与液压调节按钮的液压油管道，平整度调节辊呈香蕉状，分布在工艺室内相邻两个传动辊之间。本发明结构简单，通过设置在柔性卷绕镀膜设备中实现在线控制薄膜平整度，提高了溅射镀膜的产品良率，尤其是厚度在50μm以下的薄膜镀膜产品良率，进而减少了生产成本，显著增加经济效益。
【IPC分类】C23C14-35, C23C14-54
【公开号】CN104611678
【申请号】CN201510073882
【发明人】任丹, 张少波, 刘月豹, 王银泉, 孔德辉
【申请人】安徽方兴光电新材料科技有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2015年2月12日