一种具有绝缘防呆装置的pvd机台铝室的hthu加热器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器，具体地，涉及用于溅射机台的升降环的绝缘防呆设计。
【背景技术】
[0002]AMAT (美国应用材料公司)PVD (物理气相沉积)机台的铝室(A1 Chamber)当前使用高温高均匀度加热器(HTHU heater)，在使用过程中，需要保证HTHU heater的升降杆与腔体壁保持绝缘。
[0003]然而，如图2和3所示，现有技术的绝缘设计中没有防呆装置，因此在安装过程中很容易造成加热器接地，从而导致晶圆温度升高，铝熔融后会粘在金属压环上，因此，在传送过程中，因晶圆的掉落时机不同而使其在机器手臂上的位置不固定，进而导致晶圆位置偏移。
[0004]因此，需要在绝缘设计中增加防呆装置，以降低因加热器接地造成的铝粘连，进而降低由此引起的晶圆位置偏移导致的报废问题。
【发明内容】
[0005]针对现有技术中存在的缺陷和不足，本发明的目的是提供一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器。本发明的这一目的通过以下技术方案实现:
[0006]一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器，在PVD机台铝室中，金属升降模块通过金属升降环及金属升降杆升降金属HTHU加热器，金属压环将晶圆固定在金属HTHU加热器上，机台中通过以下部件保证HTHU加热器绝缘:铁氟龙隔热盘、陶瓷隔热环、陶瓷隔热片以及陶瓷隔热块，其中，铁氟龙隔热盘和陶瓷隔热环位于金属腔体壁和金属HTHU加热器之间，保证加热器和金属腔体壁之间绝缘；陶瓷隔热块位于金属升降环与金属升降模块之间，保证金属升降环与金属升降模块之间绝缘；陶瓷隔热片位于金属升降环与金属螺丝之间，保证金属升降环与金属螺丝之间绝缘，具体地，陶瓷隔热片的螺丝孔处具有一圈圆柱形凸起，该凸起为中空结构，其中空部分与陶瓷隔热片上部的孔形成内径一致的贯通孔。
[0007]进一步地，陶瓷隔热片的外部轮廓可以是圆形或方形，其外部尺寸大于金属螺丝的螺帽。
[0008]进一步地，所述圆柱形凸起的高度与金属升降环的厚度一致。
[0009]进一步地，所述贯通孔内径取决于金属螺丝的直径。
[0010]本发明的绝缘防呆设计可以有效防止加热器接地，即使在安装或使用过程中金属螺丝位置稍微偏移，也不会导致加热器接地，从而有效防止铝熔融后粘连晶圆，有效降低晶圆位置偏移，减少因晶圆位置偏移弓I起的报废问题。
[0011]下面结合附图，对本发明的【具体实施方式】作进一步的详细说明。对于所属技术领域的技术人员而言，从对本发明的详细说明中，本发明的上述和其他目的、特征和优点将显而易见。
【附图说明】
[0012]图1是PVD机台HTHU铝室结构图；
[0013]图2是现有技术中绝缘设计的安装使用图；
[0014]图3是现有技术中绝缘设计的放大图；
[0015]图4是本发明的绝缘防呆设计的安装使用图；
[0016]图5是本发明的绝缘防呆设计的放大图。
【具体实施方式】
[0017]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0018]图1为PVD机台铝室的HTHU加热器的结构示意图。其中金属压环1将晶圆2固定在金属HTHU加热器3上，机台中保证HTHU加热器3绝缘的部件有铁氟龙隔热盘8、陶瓷隔热环7、陶瓷隔热片12以及陶瓷隔热块13，铁氟龙隔热盘8和陶瓷隔热环7位于金属腔体壁6和金属HTHU加热器3之间，保证加热器3和金属腔体壁6之间绝缘。金属升降模块14通过金属升降环4及金属升降杆10升降金属HTHU加热器3，而在使用过程中同样需保证金属升降杆10与金属腔体壁6绝缘。而在现有技术中，机台的使用过程中金属升降环4极易发生接地。如图2所示，陶瓷隔热块13位于金属升降环4与金属升降模块14之间，保证金属升降环4与金属升降模块14之间绝缘，陶瓷隔热片12位于金属升降环4与金属螺丝11之间，保证金属升降环4与金属螺丝11之间绝缘，如图3所示，陶瓷隔热片12是环形结构，其仅仅能够保证金属螺丝11的上部与金属升降环4绝缘，而在使用过程中，只要金属升降环4稍微偏移，就会与金属螺丝11接触，从而造成金属升降环4接地，金属升降环4接地后，通过金属升降杆10及金属升降杆帽9导致金属HTHU加热器3接地，加热器3接地后导致晶圆2温度升高，铝熔融后就会粘在金属压环1上，在传送过程中，晶圆2掉落的时机不能确定，因此导致晶圆2位置偏移，从而引起晶圆报废问题。
[0019]而本发明中，如图5所示，在陶瓷隔热片螺丝孔处增加一圈凸起形成本发明的防呆设计，安装时，将金属螺丝11穿过该具有凸起的陶瓷隔热片12'，然后再穿过金属升降环4和陶瓷隔热块13安装到金属升降模块中，这样金属螺丝与金属升降环4由陶瓷隔热片12'完全隔离，即使金属升降环4的位置稍微偏移，由于凸起的设置，金属螺丝11也不会接触到金属升降环4，进而不会导致加热器3接地，从而避免晶圆2粘连，避免报废问题。
[0020]以上详细说明了本发明的优选实施例，但本发明并不限于这些实施例，在本发明的申请范围内可以进行各种改变。尽管上文只是详细阐述了本发明的优选实施例，但是，所属技术领域的技术人员很清楚在实质上不脱离本发明的新颖性和优点的范围内，可以对示例性实施例进行各种修改。
【主权项】
1.一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器，在PVD机台铝室中，金属升降模块通过金属升降环及金属升降杆升降金属HTHU加热器，金属压环将晶圆固定在金属HTHU加热器上，机台中通过以下部件保证HTHU加热器绝缘:铁氟龙隔热盘、陶瓷隔热环、陶瓷隔热片以及陶瓷隔热块，其中，铁氟龙隔热盘和陶瓷隔热环位于金属腔体壁和金属HTHU加热器之间，保证加热器和金属腔体壁之间绝缘；陶瓷隔热块位于金属升降环与金属升降模块之间，保证金属升降环与金属升降模块之间绝缘；陶瓷隔热片位于金属升降环与金属螺丝之间，保证金属升降环与金属螺丝之间绝缘，其特征在于， 所述陶瓷隔热片的螺丝孔处具有一圈圆柱形凸起，该凸起为中空结构，其中空部分与陶瓷隔热片上部的螺丝孔形成内径一致的贯通孔。2.根据权利要求1所述的HTHU加热器，其特征在于，陶瓷隔热片的外部轮廓可以是圆形或方形，其外部尺寸大于金属螺丝的螺帽。3.根据权利要求1所述的HTHU加热器，其特征在于，所述圆柱形凸起的高度与金属升降环的厚度一致。4.根据权利要求1所述的HTHU加热器，其特征在于，所述贯通孔内径取决于金属螺丝的直径。
【专利摘要】本发明提供了一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器，具体地，在保证金属升降环与金属螺丝之间绝缘的陶瓷隔热片的螺丝孔处增加一圈圆柱形凸起，该带有凸起的陶瓷隔热片安装在金属升降环和金属螺丝之间，使金属升降环和金属螺丝完全隔离，这样在机台的使用过程中，即使金属升降环的位置稍微偏移，由于凸起的设置，金属螺丝也不会接触到金属升降环，进而不会导致加热器接地，从而避免晶圆粘连，避免报废问题。
【IPC分类】H01L21/67, C23C14/00
【公开号】CN105483612
【申请号】CN201410471268
【发明人】王浩
【申请人】和舰科技(苏州)有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2014年9月16日