一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法

文档序号:10529295阅读:309来源:国知局
一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,主要用于高速成像扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁处理。其主要技术方案是:包含工艺流程,装入栅网片→表面预处理→一表面超声清洁→纯水漂洗→脱水→烘干→检测。本发明试用证明:从根本上克服了原清洁方法对栅网片不能彻底去除表面污物和不能满足技术要求的缺陷,达到被清洁后的栅网片既彻底去除表面污物,又确保栅网片无小破损、变形、皱折,完全满足扫描条纹管的使用需求。
【专利说明】
一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法
技术领域
[0001]本发明涉及一种金属表面的清洁处理方法,具体是一种用于高速成像扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,也可用于其它光电器件类似零件的清洁处理。
【背景技术】
[0002]条纹分幅相机是一种纳秒或皮秒级的超高速光电成像装置,其核心部件一扫描条纹管,能同时给出一维连续的时间信息和一维连续的空间信息,具备超快读出时间信息的能力,从而对研究快速、不重复的瞬时现象提供空间和时间信息,在激光超短脉冲、激光核聚变、磁约束核聚变、光化学、光生物学中有着重要的应用。
[0003]扫描条纹管(见图1)由光电阴极1、单层多电极电子光学系统2、荧光屏3等组成。其中位于光电阴极附近的栅网片Ia(见图2),作用是可提高光电阴极附近的电场强度,极大的减少电子渡越时间产生的弥散,是实现扫描条纹管高时间分辨率的关键零件。它的形态是超薄网状金属片,材料为表面镀镍的铜,厚度仅有5?8μπι,直径一般为Φ 40mm,在扫描条纹管制备过程中,对栅网片的平整度、表面清洁度有极高的要求。
[0004]扫描条纹管所使用的栅网片,一般采用通过光刻等方法制作的大面积金属栅网,根据实际需要由激光切割成圆形或矩形等,使用前必须进行表面净化处理,去除加工和流转过程中产生和沾染的各种金属粉末、灰尘、游离的油脂分子,氧化物(层)等,保持栅网片的清洁,同时不允许存在微小破损、变形、皱折等缺陷,否则,扫描条纹管的分辨力会急剧下降甚至丧失。
[0005]由于栅网片的超薄尺寸和网状结构,采用通常的光电器件金属零件的清洁工艺及方法,如:机械刷洗—滚抛—喷砂—碱洗—酸洗—常规超声波清洗—纯水漂洗—烘烤—高温净化等,都无法有效地彻底去除其表面的污物和确保栅网片不发生微小破损、变形、皱折,很难达到使用要求。因此,对此类零件的表面洁净处理必须寻求新的清洁方法,才能达到使用要求。

【发明内容】

[0006]本发明要解决的主要技术问题和目的是:根据现有的光电器件金属零件清洁方法无法用于对栅网片进行清洁的缺陷,设计一种新的清洁方法,从根本上克服对栅网片不能彻底去除表面污物和不能满足技术要求的现象,达到被清洁后的栅网片既彻底去除表面污物,又确保栅网片无小破损、变形、皱折等,完全满足扫描条纹管的使用要求。
[0007]本发明的主要技术方案:本发明包含清洗筐、第一种清洗液、第二种清洗液、玻璃容器及工艺流程,所述的清洗筐,是采用直径为Φ 0.3mm不锈钢丝编制的网板焊接而成,上盖是活动的,连接一个提手;所述的第一种清洗液,由中性洗涤剂:纯水(5?8:95?92)配制,其浓度为5%?8%;所述的第二种清洗液,由碱性洗涤剂:纯水(3?5: 97?95)配制,其浓度为3%?5%;所述的工艺流程的具体操作:A、装入栅网片,将栅网片轻轻放置在清洗筐中,并盖上盖子;B、表面预处理,把装有栅网片的清洗筐,浸入玻璃容器中,玻璃容器内盛有第一种清洗液,浓度为6%,第一种清洗液液面应高于清洗筐的三分之一,再把玻璃容器放入超声波清洗机内,在30°C进行3分钟的超声波清洗,完毕后,用提手取出;C、表面超声清洁,把经过表面预处理的带栅网片的清洗筐浸入盛有纯水的水槽中,上下移动漂洗3?5次,而后浸入玻璃容器中,玻璃容器内盛有第二种清洗液,浓度为4%,第二种清洗液液面应高于清洗筐的三分之一,把玻璃容器放入超声波清洗机内,在30°C进行10分钟的超声波清洗,完毕后,用提手取出,将栅网片翻面,再进行10分钟的超声波清洗;D、纯水漂洗,将经过B、C步骤的带栅网片的清洗筐浸入盛有纯水的水槽中,上下移动漂洗3?5次,放入缓慢流动的纯水槽中冲洗10分钟,取出;E、脱水,把带栅网片的清洗筐放置在脱水器中,喷洒乙醇,脱水2?5秒;F、烘干,将经过脱水步骤的带栅网片的清洗筐,置于烘箱中,在90°C下烘烤15分钟,从清洗筐中取出栅网片;G.检测,在40倍体视显微镜下,观察清洗后的栅网片,无残留污物和无破损、变形、皱折的为合格,反之为不合格。
[0008]本发明通过实际应用证明:完全达到研制目的,采用该清洁方法,能够较好地完成对超薄金属栅网片的清洁,表面洁净度合格率达到99.7%以上;在保持栅网片完好无损的前提下,达到了彻底清洁栅网片表面的目的,满足了扫描条纹管对栅网片的洁净度要求;使扫描条纹管的成像分辨力由81p/mm提高至181p/mm,工作性能稳定,有效地提高了扫描条纹管的制造水平;该清洁方法可操作性强、生产成本低,易推广应用。
【附图说明】
[0009]下面结合附图,对本发明的【具体实施方式】作进一步详细地描述。
[0010]图1,是扫描条纹管的结构示意图。
[0011]图2,是栅网片的示意图。
[0012]图3,是本发明的工艺流程示意图。
[0013]图4,是本发明栅网片清洁状态下的示意图。
[0014]图5,是本发明二次超声清洗栅网片状态的示意图。
【具体实施方式】
[0015]参照图2、3、4,对本发明主要技术方案进行说明:本发明包含清洗筐4、第一种清洗液5、第二种清洗液5-1、玻璃容器6及工艺流程,所述的清洗筐4,是采用直径为Φ 0.3_不锈钢丝编制的网板焊接而成,(通常是150 mmX 150 mm X 150mm),上盖8是活动的,连接一个提手7 ;所述的第一种清洗液5,由中性洗涤剂:纯水(5?8: 95?92)配制,其浓度为5%?8%;所述的第二种清洗液5-1,由碱性洗涤剂:纯水(3?5:97?95)配制,其浓度为3%?5%;所述的工艺流程(见图4)的具体操作:
A、装入栅网片(见图2、4),将栅网片Ia轻轻放置在清洗筐4中,并盖上盖子8;
B、表面预处理(见图4),把装有栅网片Ia的清洗筐4,浸入玻璃容器6中,玻璃容器内盛有第一种清洗液5,浓度为6%,第一种清洗液5液面应高于清洗筐的三分之一,再把玻璃容器6放入超声波清洗机内,在20°C?40°C范围进行3分钟的超声波清洗,完毕后,用提手7取出;
设备:普通超声波清洗机工具:玻璃容器
C、表面超声清洁(见图5),把经过表面预处理的带栅网片Ia的清洗筐4浸入盛有纯水的水槽中,上下移动漂洗3?5次,而后浸入玻璃容器6中,玻璃容器内盛有第二种清洗液5-1,浓度为4%,第二种清洗液5-1液面应高于清洗筐4的三分之一,把玻璃容器6放入超声波清洗机内,在20°C?40°C进行10分钟的超声波清洗,完毕后,用提手7取出,将栅网片Ia翻面,再进行10分钟的超声波清洗;
D、纯水漂洗,将经过B、C步骤的带栅网片Ia的清洗筐4浸入盛有纯水的水槽中,上下移动漂洗3?5次,放入缓慢流动的纯水槽中冲洗10分钟,取出;
E、脱水,把带栅网片Ia的清洗筐4放置在脱水器中,喷洒乙醇,脱水2?5秒;
设备:普通立式脱水机
辅料:乙醇(分析纯纯度99.9%以上)
F、烘干,将经过脱水步骤的带栅网片Ia的清洗筐4,置于烘箱中,在90°C下烘烤15分钟,从清洗筐4中取出栅网片Ia;
设备:电真空行业普通烘箱
G、检测,在30?50倍体视显微镜下,观察清洗后的栅网片la,无残留污物和无破损、变形、皱折的为合格,反之为不合格。若有残留污物的重复上述A—F步骤I?2次即可。(一般情况下都不会出现破损、变形、皱折的现象))。仪器:体视显微镜。
[0016]参照图4,所述的中性洗涤剂,是云南光电辅料有限公司生产的,牌号PGX-OI,PH值
6-8,比重1.0-1.1克/毫升,浅褐色液体;所述的碱性洗涤剂,是云南光电辅料有限公司生产的,牌号MBX-Ol,PH值9-10,比重1.0_1.1克/毫升,淡黄色液体;所述的纯水,指标应达到或高于国标GB/T11446.1-97电子级纯水EW-1级的要求;所述的在B表面预处理工序中,第一种清洗液5的浓度可以是5%或8%,在20°C或40°C进行超声波清洗,效果相同;所述的在C表面超声清洁工序中,第二种清洗液5-1浓度可以是3%或5%,在20°C或40°C进行超声波清洗,效果相同;所述的在F烘干工序中,烘箱中80 °C或100 °C烘烤,效果相同。
[0017]本发明已在本公司投入实施,完全达到研制的目。
【主权项】
1.一种用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,其特征在于:包含清洗筐(4)、第一种清洗液(5)、第二种清洗液(5-1)、玻璃容器(6)及工艺流程,所述的清洗筐(4),是采用直径为Φ 0.3mm不锈钢丝编制的网板焊接而成,上盖(8)是活动的,连接一个提手(7);所述的第一种清洗液(5),由中性洗涤剂:纯水(5?8:95?92)配制,其浓度为5%?8%;所述的第二种清洗液(5-1),由碱性洗涤剂:纯水(3?5: 97?95)配制,其浓度为3%?5%;所述的工艺流程的具体操作: A、装入栅网片,将栅网片(Ia)轻轻放置在清洗筐(4)中,并盖上盖子(8); B、表面预处理,把装有栅网片(Ia)的清洗筐(4),浸入玻璃容器(6)中,玻璃容器内盛有第一种清洗液(5),浓度为6%,第一种清洗液(5)液面应高于清洗筐的三分之一,再把玻璃容器(6)放入超声波清洗机内,在30°C进行3分钟的超声波清洗,完毕后,用提手(7)取出; C、表面超声清洁,把经过表面预处理的带栅网片(Ia)的清洗筐(4)浸入盛有纯水的水槽中,上下移动漂洗3?5次,而后浸入玻璃容器(6)中,玻璃容器内盛有第二种清洗液(5-1),浓度为4%,第二种清洗液(5-1)液面应高于清洗筐(4)的三分之一,把玻璃容器(6)放入超声波清洗机内,在30°C进行10分钟的超声波清洗,完毕后,用提手(7)取出,将栅网片(Ia)翻面,再进行10分钟的超声波清洗; D、纯水漂洗,将经过B、C步骤的带栅网片(Ia)的清洗筐(4)浸入盛有纯水的水槽中,上下移动漂洗3?5次,放入缓慢流动的纯水槽中冲洗10分钟,取出; E、脱水,把带栅网片(Ia)的清洗筐(4)放置在脱水器中,喷洒乙醇,脱水2?5秒; F、烘干,将经过脱水步骤的带栅网片(Ia)的清洗筐(4),置于烘箱中,在90°C下烘烤15分钟,从清洗筐(4)中取出栅网片(la); G、检测,在40倍体视显微镜下,观察清洗后的栅网片(Ia),无残留污物和无破损、变形、皱折的为合格,反之为不合格。2.根据权利要求1所述的用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,其特征在于:在B表面预处理工序中,第一种清洗液(5)的浓度可以是5%。3.根据权利要求1所述的用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,其特征在于:在B表面预处理工序中,第一种清洗液(5)的浓度可以是8%。4.根据权利要求1所述的用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,其特征在于:在C表面超声清洁工序中,第二种清洗液(5-1)的浓度可以是3%。5.根据权利要求1所述的用于扫描条纹管的超薄金属栅网片的清洁方法,其特征在于:在C表面超声清洁工序中,第二种清洗液(5-1)的浓度可以是5%。
【文档编号】B08B3/10GK105887105SQ201610214409
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年4月8日
【发明人】靳英坤, 冯云祥, 刀丽纯, 邓华兵, 张昆林, 杨文波
【申请人】北方夜视技术股份有限公司
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