用于玻璃溅射单元的冷却板机构的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于玻璃溅射单元的冷却板机构，其中，所述冷却板机构包括冷却板、水箱和供水泵，所述冷却板为双层结构，所述双层结构内设置有多个冷却管，每个所述冷却管的一端通过第一管道连通出水阀，另一端通过第二管道连通进水阀，所述出水阀、所述水箱、所述供水泵和所述进水阀通过水管顺次连通，使得冷却水可以从所述出水阀依次经过所述水箱和所述供水泵流至所述进水阀。解决了普通的冷却板机构冷却效率低、且冷却能耗高的问题。
【专利说明】
用于玻璃溅射单元的冷却板机构
技术领域
[0001]本发明涉及冷却板机构，具体地，涉及一种用于玻璃溅射单元的冷却板机构。
【背景技术】
[0002]在玻璃镀膜工艺中，真空镀膜是一种常见的方法，其主要是在真空室内将材料的原子从加热源离析出来打到玻璃的表面上。玻璃的真空镀膜是在溅射单元内进行的，根据镀膜的技术需要，在工作时，溅射单元的侧板和底板都需要进行冷却处理，冷却处理如果达不到技术要求会严重影响玻璃镀膜的质量，也会严重损害溅射单元内部的设备。
[0003]因此，提供一种冷却效率高、且冷却能耗少的用于玻璃溅射单元的冷却板机构是本发明亟需解决的问题。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是提供一种用于玻璃溅射单元的冷却板机构，解决了普通的冷却板机构冷却效率低、且冷却能耗高的问题。
[0005]为了实现上述目的，本发明提供了一种用于玻璃溅射单元的冷却板机构，其中，所述冷却板机构包括冷却板、水箱和供水栗，所述冷却板为双层结构，所述双层结构内设置有多个冷却管，每个所述冷却管的一端通过第一管道连通出水阀，另一端通过第二管道连通进水阀，所述出水阀、所述水箱、所述供水栗和所述进水阀通过水管顺次连通，使得冷却水可以从所述出水阀依次经过所述水箱和所述供水栗流至所述进水阀。
[0006]优选地，所述冷却板机构还包括水槽，所述水箱固定于所述水槽内部。
[0007]优选地，所述水槽的上方设置有多个喷水头，每个所述喷水头分别通过管道连通进水管。
[0008]优选地，所述冷却管的数量为3-6根。
[0009]优选地，所述水槽的外侧板上固定有多个散热风扇。
[0010]优选地，所述水槽的底部连通有出水管道，且所述出水管道内部设置有过滤网。
[0011]优选地，所述冷却板的表面贴有散热硅胶垫。
[0012]根据上述技术方案，本发明提供了一种用于玻璃溅射单元的冷却板机构，其中，所述冷却板机构包括冷却板、水箱和供水栗，所述冷却板为双层结构，所述双层结构内设置有多个冷却管，每个所述冷却管的一端通过第一管道连通出水阀，另一端通过第二管道连通进水阀，所述出水阀、所述水箱、所述供水栗和所述进水阀通过水管顺次连通，使得冷却水可以从所述出水阀依次经过所述水箱和所述供水栗流至所述进水阀，本发明提供的冷却板机构结构简单，冷却管与冷却板的接触面积大，冷却效率高。
[0013]本发明的其他特征和优点将在随后的【具体实施方式】部分予以详细说明。
【附图说明】
[0014]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0015]图1是本发明提供的一种用于玻璃溅射单元的冷却板机构的结构示意图。
[0016]附图标记说明
[0017]1-进水阀2-冷却板
[0018]3-冷却管 4-出水阀
[0019]5-进水管 6-水箱
[0020]7-喷水头 8-供水栗[0021 ]9-水槽
【具体实施方式】
[0022]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0023]如图1所示，本发明提供了一种用于玻璃溅射单元的冷却板机构，其中，所述冷却板机构包括冷却板2、水箱6和供水栗8，所述冷却板2为双层结构，所述双层结构内设置有多个冷却管3，每个所述冷却管3的一端通过第一管道连通出水阀4，另一端通过第二管道连通进水阀I，所述出水阀4、所述水箱6、所述供水栗8和所述进水阀I通过水管顺次连通，使得冷却水可以从所述出水阀4依次经过所述水箱6和所述供水栗8流至所述进水阀I。本发明提供的冷却板机构结构简单，冷却管3与冷却板2的接触面积大，冷却效率高。
[0024]在本发明的一种优选的实施方式中，为了使得冷却管3中的冷却液可以循环利用，减少冷却能耗，减少企业生产成本，所述冷却板机构还包括水槽9，所述水箱6固定于所述水槽9内部。当冷却管3中的冷却液吸收热量后，进过水槽内进行水冷，在由供水栗8输入到进水阀I，完成冷却液的循环利用。
[0025]在本发明的一种更为优选的实施方式中，为了加大水箱6的冷却效率，所述水槽9的上方设置有多个喷水头7，每个所述喷水头7分别通过管道连通进水管5，利用喷水头7对水箱6表面进行喷水处理来加快水箱6内冷却液的冷却速度。
[0026]在本发明的一种优选的实施方式中，为了进一步增加冷却板2的冷却效率，所述冷却管3的数量为3-6根，当然，这里冷却管3的数量可以根据本领域人员的需求进行调整。
[0027]在本发明的一种更为优选的实施方式中，为了进一步加大水箱6的冷却效率，所述水槽9的外侧板上固定有多个散热风扇。
[0028]在本发明的一种优选的实施方式中，为了可以及时排出水槽9内的冷却水，所述水槽9的底部连通有出水管道，为了防止长期使用后出水管道发生堵塞，所述出水管道内部设置有过滤网。
[0029]在本发明的一种更为优选的实施方式中，为了进一步增加冷却板2的冷却效率，所述冷却板2的表面贴有散热娃胶垫。
[0030]以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
[0031]另外需要说明的是，在上述【具体实施方式】中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
[0032]此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。
【主权项】
1.一种用于玻璃溅射单元的冷却板机构，其特征在于，所述冷却板机构包括冷却板(2)、水箱(6)和供水栗(8)，所述冷却板(2)为双层结构，所述双层结构内设置有多个冷却管(3)，每个所述冷却管(3)的一端通过第一管道连通出水阀(4)，另一端通过第二管道连通进水阀(I)，所述出水阀(4)、所述水箱(6)、所述供水栗(8)和所述进水阀(I)通过水管顺次连通，使得冷却水可以从所述出水阀(4)依次经过所述水箱(6)和所述供水栗(8)流至所述进水阀(I)。2.根据权利要求1所述的冷却板机构，其特征在于，所述冷却板机构还包括水槽(9)，所述水箱(6)固定于所述水槽(9)内部。3.根据权利要求2所述的冷却板机构，其特征在于，所述水槽(9)的上方设置有多个喷水头(7)，每个所述喷水头(7)分别通过管道连通进水管(5)。4.根据权利要求1所述的冷却板机构，其特征在于，所述冷却管(3)的数量为3-6根。5.根据权利要求2所述的冷却板机构，其特征在于，所述水槽(9)的外侧板上固定有多个散热风扇。6.根据权利要求2所述的冷却板机构，其特征在于，所述水槽(9)的底部连通有出水管道，且所述出水管道内部设置有过滤网。7.根据权利要求1所述的冷却板机构，其特征在于，所述冷却板(2)的表面贴有散热硅胶垫。
【文档编号】C23C14/34GK105925944SQ201610269669
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年4月27日
【发明人】金海涛, 薛辉, 昌江, 任俊春
【申请人】芜湖真空科技有限公司