一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法，在钛或钛合金表面采用表面镀铜然后热处理并脱合金，具体包括下述步骤：钛或钛合金的表面清洁处理；钛或钛合金的表面电镀或磁控溅射一层铜涂层；热处理将铜原子扩散入钛或钛合金的表面；采用固相法镁粉或者液相法熔融态镁来脱合金处理；最后用酸与水清洗与干燥；即得到表面微纳米多孔的钛或钛合金。相对于现有技术，本发明方法简单易行，能够克服现有粉末烧结法、酸蚀法、阳极氧化法、喷涂法等的缺陷，适用于小件也适用于大件钛或钛合金材料，很容易在钛或钛合金表面制备出微纳米尺度的多孔结构，适用性广泛。
【专利说明】
一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法
技术领域
[0001]本发明涉及的是一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法，属于金属材料表面改性技术领域。
【背景技术】
[0002]金属材料表面多孔化是对金属材料表面进行改性的一种方法，是指在金属材料表面制造出多孔结构。与金属材料的致密表面相比，表面多孔的金属材料拥有一些特殊的物理、化学性能，例如:比表面积大、比重小、高孔隙率、表面效应和尺寸效应、催化活性、生物活性等;而且还具有金属材料的高导热率、高导电率、抗腐蚀、抗疲劳等优异性能。因此具有表面多孔结构的金属材料在电极、催化、生物医学等领域应用广泛。
[0003]钛或钛合金具有密度低、比强度高等优异的力学性能以及较高的耐腐蚀抗力和优良的生物相容性，因此钛或钛合金在航空航天、生物医学、电极、催化、储氢等领域应用广泛。钛或钛合金的表面多孔结构的制备方法有粉末烧结法、酸蚀法、阳极氧化法、喷涂法等。其中酸蚀法的研究最为广泛，但是酸蚀法有很大的缺陷，因为钛在大多数酸溶液中在表面会形成致密的二氧化钛保护层;粉末烧结法，具有难以控制孔径尺寸的问题；阳极氧化法制备的表面多孔结构为二氧化钛而不是钛的多孔结构;喷涂法是在钛金属表面喷涂一层陶瓷涂层，具有易于剥落的问题。而且以上方法难以在钛或钛合金表面制备出微纳米尺度的多孔结构。
【发明内容】
[0004]发明目的:为了解决上述技术问题，本发明提供了一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法。此方法比较简单易行，适用于小件也适用于大件钛或钛合金材料，适用性广泛。
[0005]技术方案:为了实现上述发明目的，本发明公开了一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法，在钛或钛合金表面采用表面镀铜然后热处理并脱合金，具体包括下述步骤:钛或钛合金的表面清洁处理;钛或钛合金的表面电镀或磁控溅射一层铜涂层;热处理将铜原子扩散入钛或钛合金的表面;采用固相法镁粉或者液相法熔融态镁来脱合金处理；最后用酸与水清洗与干燥;即得到表面微纳米多孔的钛或钛合金。
[0006]具体的工艺方案包括以下步骤:
[0007](I)钛或钛合金的表面清洁处理。打磨处理:将样品分别用400-1200目的金相砂纸分别打磨直至试样或工件表面具有金属光泽;清洗:将打磨后的样品先用丙酮超声清洗10-30分钟，再用去离子水超声清洗10-30分钟，接着在室温下，将水洗过的样品放到酸洗液中浸泡0.5-3分钟，除去钛表面氧化膜，最后再用去离子水冲洗经酸腐蚀后的样品直至pH值为中性。
[0008](2)钛或钛合金的表面电镀或磁控溅射一层铜涂层。
[0009](a)表面电镀的方法:活化:将水洗过的样品置于温度为70°C的活化液中浸泡15-30分钟，进行表面活化处理;水洗:用去离子水冲洗活化后的样品至表面无活化液；电镀:在室温下，对水洗后的样品进行电镀，电流密度为1.5-7.8A/dm2，电镀时间为20-60分钟；清洗干燥:用去离子水清洗电镀完的样品，再进行干燥。
[0010](b)磁控溅射的方法:打开真空室把样品安装在样品台上;关闭真空室，打开机械栗抽真空至1-1OPa;打开分子栗抽真空至5.0 X 10-4-5.0 X 10_3Pa;打开流量计，向真空室冲入氩气至2-10Pa;打开超声波和样品架摆动装置，超声波振动功率1-300瓦，样品台的摆动频率l-50r/min;打开样品加热器，加热温度范围:20-300°C ；打开磁控溅射靶电源，调节功率至50-300瓦，工作电压为0.3-0.9Pa，开始溅射镀膜，镀膜时间为0.5_5小时。
[0011](3)热处理:将电镀好的样品分别在500°C-800°C之间的温度下保温30-180分钟，进行热处理；
[0012](4)采用固相法镁粉或者液相法熔融态镁来脱合金处理:用镁粉包覆热处理后的样品进行无压烧结，烧结温度为400-600°C，保温时间10-60分钟，氩气或者真空保护;将纯液态镁或者镁合金液放入石墨坩祸中加热，温度范围为700-900°C，再将热处理后的样品放入石墨坩祸中浸泡5-60分钟。
[0013](5)清洗与干燥。酸清洗:在室温下，将烧结后的样品放到浓度为0.l-3mol/L的稀硝酸中进行清洗，每间隔一定的时间换次酸液，直至没有气泡产生;清洗烘干:用去离子水冲洗腐蚀后的样品直至pH值为中性，最后放入真空干燥箱里烘干。
[0014]作为优选，所述钛为纯钛，所述钛合金包括钛铝银合金、钛镍合金、钛钼合金或钛银错合金。
[0015]作为另一种优选，步骤(I)中所述的酸洗液包括100-200ml/L HF溶液、300_400ml/L浓HNO3溶液和H2O溶液，体积比HF:浓HNO3: H2O为1:4:5。
[0016]作为另一种优选，步骤(2)中所述的活化液是180-250g/U^K2Cr207和50-80ml/L的HF溶液。
[0017]作为另一种优选，步骤(2)中所述电镀用的电镀液是150-200g/L的CuSO4.5H20和口!1=3-4的!12304溶液。
[0018]作为另一种优选，步骤(2)中所述的磁控溅射所用的靶材为纯铜靶材，纯度为99.9-99.999% ο
[0019]作为另一种优选，步骤(3)中所述的热处理采用的设备为真空热处理炉或者氩气保护的热处理炉设备。
[0020]作为另一种优选，步骤(4)中所述的固相法镁粉脱合金处理，可以用氩气烧结炉，热压烧结炉，放电等离子烧结炉来进行。所述的液相法熔融态镁脱合金，可以用真空坩祸炉或者氦气保护的熔炼炉来进行。
[0021]本发明方法在钛或钛合金表面制备出微纳米的多孔结构，由于微纳米尺度的孔隙特征和高比表面积，可以使钛或钛合金表面具有更加显著的表面效应和尺寸效应、更高的表面活性和吸附性能。对于钛或钛合金应用于骨科和牙科领域，可以大大提高其表面生物活性，促进细胞的增值和分化，而且可以在微纳米多孔结构中装载药物进行药物缓释，促进损伤部位的愈合和痊愈。对于钛或钛合金应用于电极催化领域，具有微纳米多孔结构的钛或钛合金可以提高电极的效率和催化效率。
[0022]本发明的有益效果是:通过在钛或钛合金表面电镀或磁控溅射一层铜涂层，再进行热处理使铜原子扩散入钛或钛合金的表面，最后采用镁粉或者熔融镁脱合金处理，采用酸与水清洗干燥即可得到表面的微纳米多孔结构。此方法比较简单易行，适用于小件也适用于大件钛或钛合金材料，适用性广泛。钛或钛合金表面多孔化有利于提高钛或钛合金的表面能、表面吸附性能与表面生物活性，可以在微纳米多孔结构中装载药物进行药物缓释，可以应用于牙科材料和骨科材料，尤其是适用于牙科种植体材料，能较快的促进损伤部位的愈合和痊愈。应用于电极催化领域，具有微纳米多孔结构的钛或钛合金可以提高电极的效率和催化效率。因此应用前景广阔。
[0023]技术效果:相对于现有技术，本发明方法简单易行，能够克服现有粉末烧结法、酸蚀法、阳极氧化法、喷涂法等的缺陷，适用于小件也适用于大件钛或钛合金材料，很容易在钛或钛合金表面制备出微纳米尺度的多孔结构，适用性广泛。
【附图说明】
[0024]图1为在一定时间条件下纯钛表面镀铜镀层显微形貌图；
[0025]图2为室温下纯钛表面微纳米多孔结构的扫描电子显微形貌图；
[0026]图3热处理温度为500°C时纯钛表面微纳米多孔结构的扫描电子显微形貌图；
[0027]图4热处理温度为600°C时纯钛表面微纳米多孔结构的扫描电子显微形貌图；
[0028]图5热处理温度为700°C时纯钛表面微纳米多孔结构的扫描电子显微形貌图；
[0029]图6热处理温度为800°C时纯钛表面微纳米多孔结构的扫描电子显微形貌图；
[0030]图7热处理温度为800°C时纯钛表面多孔结构的孔深度图；
[0031]图8为室温下和不同热处理温度下的纯钛表面微纳米多孔结构的X射线衍射图谱；
【具体实施方式】
[0032]下面结合附图进一步描述本发明的技术解决方案。本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施过程，但本发明的保护范围不限于下述的实施例。
[0033]实施例1
[0034]在15乘1mm的钛片表面进行表面镀铜，热处理温度为500°C时形成表面微纳米多孔，具体步骤如下:
[0035](I)钛片表面清洁处理。打磨处理:将样品分别用400#、800#、1200#金相砂纸分别打磨直至钛片表面具有金属光泽;水洗:将打磨后的钛片先用丙酮超声清洗15min;再用去离子水超声清洗15min;酸洗:室温下，将水洗过的钛片放到酸中浸泡lmin，除去钛表面氧化膜;水洗:去离子水冲洗经酸腐蚀后的钛片直至表面没有酸洗液。
[0036](2)钛片表面电镀一层铜涂层。活化:将水洗过的钛片置于温度为70°C的活化液中浸泡20min，进行表面活化处理；水洗:用去离子水冲洗活化后的钛片至表面无活化液；电镀:在室温下，对水洗后的钛片进行电镀，电流密度为6A/dm2，电镀时间为45min ；清洗干燥:用去离子水清洗电镀完的钛片，再进行干燥。
[0037](3)热处理:将电镀好的钛片在500 0C下保温120min，进行热处理。
[0038](4)采用镁粉脱合金处理:用镁粉包覆热处理后的钛片进行无压烧结，烧结温度为600 0C，保温时间30min，氩气保护。
[0039](5)用酸与水清洗与干燥。酸清洗:在室温下，将脱合金处理后的钛片放到酸中进行清洗，每间隔一定的时间换次酸液，直至没有气泡产生;清洗烘干:用去离子水冲洗腐蚀后的钛片直至表面没有腐蚀液，最后放入真空干燥箱里烘干。
[0040]溶液配方:步骤(I)酸洗溶液:70ml/L HF溶液；300ml/L HNO3溶液;H2O溶液；步骤(2)活化溶液:200g/L K2Cr207 溶液；70ml/L HF 溶液；步骤(2)电镀溶液:180g/LCuS04.5H20溶液;PH=3?4的出504溶液;步骤(5)酸腐蚀液:3mol/L稀硝酸溶液。
[0041 ] 所得钛片经过显微检测，其表面孔径分布均匀，孔径尺寸达到SOnm左右。
[0042]实施例2
[0043]在15乘1mm的钛片表面磁控溅射一层铜涂层，热处理温度为800°C时形成的表面微纳米多孔，具体步骤如下:
[0044](I)钛片表面清洁处理。打磨处理:将钛片分别用400#、800#、1200#金相砂纸分别打磨直至钛片表面具有金属光泽;水洗:将打磨后的钛片先用丙酮超声清洗15min;再用去离子水超声清洗15min;酸洗:室温下，将水洗过的钛片放到酸中浸泡lmin，除去钛表面氧化膜;水洗:去离子水冲洗经酸腐蚀后的钛片直至表面没有酸洗液。
[0045](2)钛片表面磁控溅射一层铜涂层。(I)打开真空室，把装入钛片的样品皿安装在样品台上；(2)关闭真空室，打开机械栗抽真空至0.2Pa; (3)打开分子栗抽真空至1.4X10-3Pa; (4)打开流量计，向真空室冲入氩气至0.3Pa; (5)打开超声波和样品架摆动装置，超声波振动功率150瓦，样品台的摆动频率20r/min; (6)打开样品加热器，加热温度为100°C ； (7)打开磁控溅射靶电源，调节功率至180瓦，工作电压为0.6Pa，开始溅射镀膜，镀膜时间为3h。
[0046](3)热处理:将电镀好的钛片在600 0C下保温120min，进行热处理。
[0047](4)采用镁熔液脱合金处理:用镁熔液浸泡热处理后的钛片进行脱合金处理，镁熔液的温度为750 0C，保温时间20min，氦气保护。
[0048](5)用酸与水清洗与干燥。酸清洗:在室温下，将脱合金处理后的钛片放到酸中进行清洗，每间隔一定的时间换次酸液，直至没有气泡产生;清洗烘干:用去离子水冲洗腐蚀后的钛片直至表面没有腐蚀液，最后放入真空干燥箱里烘干。
[0049]溶液配方:步骤(I)酸洗溶液:70ml/L HF溶液;300ml/L HNO3溶液;H2O溶液步骤(2)中所述的磁控溅射所用的靶材为纯铜靶材，纯度为99.999%。
[0050]所得钛片经过显微检测，其表面孔径分布均匀，孔径尺寸达到SOnm左右。
[0051 ] 实施例3
[0052]在15乘1mm的钛铝钒(T1-6A1-4V)合金片表面电镀一层铜涂层，热处理温度为500°C时形成的表面微纳米多孔，具体步骤如下:
[0053](1)称量3(^ 300目钛铝钒(T1-6A1-4V)粉末，将粉末装入直径为20mm的石墨模具中，使用放电等离子烧结设备，烧结温度为650°C，保温时间为1min制备样品；再将样品线切割成尺寸为15乘1mm的薄片。
[0054](2)钛合金片表面清洁处理。打磨处理:将钛片分别用400#、800#、1200#金相砂纸分别打磨直至钛合金片表面具有金属光泽;水洗:将打磨后的钛合金片先用丙酮超声清洗15min;再用去离子水超声清洗15min;酸洗:室温下，将水洗过的钛合金片放到酸中浸泡Imin，除去钛表面氧化膜;水洗:去离子水冲洗经酸腐蚀后的钛合金片直至表面没有酸洗液。
[0055](3)钛合金片表面电镀一层铜涂层。活化:将水洗过的钛合金片置于温度为70°C的活化液中浸泡20min，进行表面活化处理；水洗:用去离子水冲洗活化后的钛合金片至表面无活化液；电镀:在室温下，对水洗后的钛合金片进行电镀，电流密度为6A/dm2，电镀时间为45min;清洗干燥:用去离子水清洗电镀完的钛合金片，再进行干燥。
[0056](4)热处理:将电镀好的钛合金片在500°C下保温120min，进行热处理。
[0057](5)采用熔融镁脱合金处理:将40g纯液态镁放入石墨坩祸中加热，温度为1148K，再将热处理后的钛合金片放入石墨坩祸中浸泡lOmin。
[0058](6)用酸与水清洗与干燥。酸清洗:在室温下，将脱合金处理后的钛合金片放到酸中进行清洗，每间隔一定的时间换次酸液，直至没有气泡产生;清洗烘干:用去离子水冲洗腐蚀后的钛合金片直至表面没有腐蚀液，最后放入真空干燥箱里烘干。
[0059]溶液配方:步骤(I)酸洗溶液:70ml/L HF溶液;300ml/L HNO3溶液;H2O溶液步骤(2)活化溶液:200g/L K2Cr2O7溶液;70ml/L HF溶液；电镀溶液:180g/LCuS04.5!120溶液;？!1=3?4的!^04溶液;步骤(5)酸腐蚀液:3mol/L稀硝酸溶液。
[0060]所得钛铝钒(T1-6A1_4V)合金片经过显微检测，其表面孔径分布均匀，孔径尺寸达到80nm左右。
[0061 ] 实施例4
[0062]在15乘1mm的钛镍(Ti4oNi6Q)合金片表面电镀一层铜涂层，热处理温度为800°C时形成的表面微纳米多孔，具体步骤如下:
[0063](I)称量30g 300目的钛镍(Ti4QNi6Q)粉末，将粉末装入直径为20mm的石墨模具中，使用放电等离子烧结设备，烧结温度为960°C，保温时间为15min制备样品;再将样品切割成尺寸为15乘1mm的薄片。
[0064](2)钛合金片表面清洁处理。打磨处理:将钛片分别用400#、800#、1200#金相砂纸分别打磨直至钛合金片表面具有金属光泽;水洗:将打磨后的钛合金片先用丙酮超声清洗15min;再用去离子水超声清洗15min;酸洗:室温下，将水洗过的钛合金片放到酸中浸泡Imin，除去钛表面氧化膜;水洗:去离子水冲洗经酸腐蚀后的钛合金片直至表面没有酸洗液。
[0065](3)钛合金片表面电镀一层铜涂层。活化:将水洗过的钛合金片置于温度为70°C的活化液中浸泡20min，进行表面活化处理；水洗:用去离子水冲洗活化后的钛合金片至表面无活化液；电镀:在室温下，对水洗后的钛合金片进行电镀，电流密度为6A/dm2，电镀时间为45min;清洗干燥:用去离子水清洗电镀完的钛合金片，再进行干燥。
[0066](4)热处理:将电镀好的钛合金片在800°C下保温120min，进行热处理。
[0067](5)采用熔融镁脱合金处理:将40g纯液态镁放入石墨坩祸中加热，温度为1223K，再将热处理后的钛合金片放入石墨坩祸中浸泡15min。
[0068](6)用酸与水清洗与干燥。酸清洗:在室温下，将脱合金处理后的钛合金片放到酸中进行清洗，每间隔一定的时间换次酸液，直至没有气泡产生;清洗烘干:用去离子水冲洗腐蚀后的钛合金片直至表面没有腐蚀液，最后放入真空干燥箱里烘干。
[0069]溶液配方:步骤(I)酸洗溶液:70ml/L HF溶液;300ml/L HNO3溶液;H2O溶液步骤(2)活化溶液:200g/L K2Cr2O7溶液;70ml/L HF溶液；电镀溶液:180g/L 0^04*5!120溶液;？!1=3?4的!^04溶液;步骤(5)酸腐蚀液:lmol/L稀硝酸溶液。
[0070]所得钛镍(Ti4QNi6Q)合金片经过显微检测，其表面孔径分布均匀，孔径尺寸达到I OOnm左右。
[0071]实施例5
[0072]在15乘1mm的钛片表面进行表面电镀一层铜涂层，热处理温度为700°C时形成的表面微纳米多孔，具体步骤与实施例1基本一致，不同之处:热处理温度700°C代替500°C。
[0073]实施例6
[0074]在15乘1mm的钛片表面磁控溅射一层铜涂层，热处理温度为800°C时形成的表面微纳米多孔，具体步骤与实施例2基本一致，不同之处:热处理温度800°C代替600°C。实施例7
[0075]在15乘1mm的钛钼(Ti80Mo20)合金片表面电镀一层铜涂层，热处理温度为500°C时形成的表面微纳米多孔，具体步骤与实施例3基本一致，不同之处:钛钼合金代替钛铝钒
I=IO
[0076]实施例8
[0077]在15乘1mm的钛铌锆(Ti65Nbl5Zrl5)合金片表面电镀一层铜涂层，热处理温度为800°C时形成的表面微纳米多孔，具体步骤与实施例4基本一致，不同之处:钛铌锆合金代替钛镍合金。
[0078]说明书附图1为一定条件下钛片表面镀铜镀层显微形貌图，可以看出钛表面有大量的圆球状的铜原子，说明镀层与基体有很好的结合力。图2?6为室温以及不同热处理温度下钛表面微纳米多孔结构的显微形貌图，可以看出，随着热处理温度的提高，孔隙率越来越大，并且孔径分布越来越均匀，但温度达到800°C时，孔径尺寸达到10nm左右。因此可以适当提高热处理温度，使孔径分布更加均匀，并获得更细小的微纳米多孔结构。图7为热处理温度为800°C时钛片表面多孔结构的孔深度图，可以看出孔深度为15μπι左右。图8为室温下和不同热处理温度下的钛片表面微纳米多孔结构的X射线衍射图谱，可以看出钛片表面铜元素和镁元素都已经被脱除和清洗掉了，由于微纳米多孔钛的表面活性高，在空气中很容易形成纳米氧化钛的保护膜，所以X射线结果中有二氧化钛的峰，纳米二氧化钛具有很高的生物相容性。
【主权项】
1.一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法，其特征在于，在钛或钛合金表面采用表面镀铜然后热处理并脱合金，具体包括下述步骤:钛或钛合金的表面清洁处理;钛或钛合金的表面电镀或磁控溅射一层铜涂层;热处理将铜原子扩散入钛或钛合金的表面;采用固相法镁粉或者液相法熔融态镁来脱合金处理;最后用酸与水清洗与干燥；即得到表面微纳米多孔的钛或钛合金。2.根据权利要求1所述的一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: (1)钛或钛合金的表面清洁处理 打磨处理:将样品分别用400-1200目的金相砂纸分别打磨直至工件表面具有金属光泽;清洗:将打磨后的工件先用丙酮超声清洗10-30分钟，再用去离子水超声清洗10-30分钟，接着在室温下，将洗过的样品放到酸洗液中浸泡0.5-3.0分钟，除去钛表面氧化膜，最后再用去离子水冲洗直至pH值为中性； (2)钛或钛合金的表面镀一层铜涂层 (a)表面电镀的方法:活化:将水洗过的样品置于温度为70°C的活化液中浸泡15-30分钟，进行表面活化处理;水洗:用去离子水冲洗活化后的样品至表面无活化液；电镀:在室温下，对水洗后的样品进行电镀，电流密度为1.5-7.8A/dm2，电镀时间为20-60分钟；清洗干燥:用去离子水清洗电镀完的样品，再进行干燥； (b)磁控溅射的方法:打开真空室把样品安装在样品台上;关闭真空室，打开机械栗抽真空至1-1OPa;打开分子栗抽真空至5.0 X 10—4-5.0 X 10—3Pa;打开流量计，向真空室冲入氩气至2-10Pa;打开超声波和样品架摆动装置，超声波振动功率1-300瓦，样品台的摆动频率l-50r/min;打开样品加热器，加热温度范围:20-300 V ;打开磁控溅射靶电源，调节功率至50-300瓦，工作电压为0.3-0.9Pa，开始溅射镀膜，镀膜时间为0.5_5小时； (3)热处理 将制备好铜涂层的样品分别在500°C-80(TC之间的温度下保温30-180分钟，进行热处理； (4)采用固相法镁粉或者液相法熔融态镁来脱合金处理 用镁粉包覆热处理后的样品进行无压烧结，烧结温度为400-600°C，保温时间10-60分钟，氩气或者真空保护;将纯镁或者熔镁钙合金原料放入石墨坩祸中加热至熔融状态，温度范围为700-900°C，再将热处理后的样品放入熔融态的金属液体中浸泡5-60分钟。 (5)清洗与干燥 酸清洗:在室温下，将烧结后的样品放到浓度为0.l-3mol/L的稀硝酸中进行清洗，每间隔一定的时间换次酸液，直至没有气泡产生;清洗烘干:用去离子水冲洗腐蚀后的样品直至PH值为中性，最后放入真空干燥箱里烘干。3.根据权利要求2所述的一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法，其特征在于，所述钛为纯钛，所述钛合金包括钛铝银合金，钛镍合金，钛钼合金或钛银错合金。4.根据权利要求2所述的一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法，其特征在于，步骤(I)中所述的酸洗液包括100-200ml/L HF溶液、300_400ml/L浓HNO3溶液和H2O溶液，体积比HF:浓HNO3: H2O为 1:4:5。5.根据权利要求2所述的一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法，其特征在于，步骤⑵中所述的活化液是180-250g/I^K2Cr207和50-80ml/L的HF溶液。6.根据权利要求2所述的一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法，其特征在于，步骤⑵中所述电镀用的电镀液是150-200g/L的CuSO4.5H20和pH=3_4的秘04溶液。7.根据权利要求2所述的一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述的磁控溅射所用的靶材为纯铜靶材，纯度为99.9-99.999%。8.根据权利要求2所述的一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法，其特征在于:步骤(3)中所述热处理中采用的设备为真空热处理炉或者氩气保护的热处理炉设备。9.根据权利要2所述的一种钛或钛合金表面微纳米多孔结构的制备方法，其特征在于:步骤(4)中所述的固相法镁粉脱合金处理，采用氩气烧结炉，或者热压烧结炉，或者放电等离子烧结炉来进行;所述的液相法熔融态镁脱合金，采用真空坩祸炉或者氦气保护的熔炼炉来进行。
【文档编号】C25D3/38GK105925949SQ201610345100
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年5月23日
【发明人】赵佩佩, 李萍, 张法明, 王利利
【申请人】东南大学