全自动管式pecvd石墨舟工艺点安装装置的制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，包括工艺点上料装置、石墨舟输送装置和工艺点压装装置，工艺点上料装置为所述石墨舟输送装置提供工艺点，工艺点压装装置设置在石墨舟输送装置的正上方。本发明使用工艺点上料装置进行工艺点的排布与输送，将排布好的工艺点输送到石墨舟输送装置中的石墨舟上，再使用工艺点压装装置将工艺点压装入石墨舟内，全部工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了安装效率，提高了劳动生产率。
【专利说明】
全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置
技术领域
[0001]本发明涉及太阳能电池片制造技术领域，尤其是涉及一种全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置。
【背景技术】
[0002]在太阳能电池片的制造过程中，硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，目前，载片器通常采用如图14所示的石墨舟，具体操作过程是:将硅片插入石墨舟并通过石墨舟工艺点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。
[0003]现有的石墨舟工艺点主要由卡块和用于安装在石墨舟片安装孔中的柱体形安装部组成，卡块为两个且对称分布在安装部两端面上，卡块是自外向内渐缩的圆柱体，其端面与侧面之间采用圆弧过渡面，卡块的根部与安装部的端面之间分别形成用于卡合硅片的卡槽。现有的石墨舟在使用到30run(次)时，会出现边缘发白现象，且到后期愈发严重，且在做MUL和NY工艺时，工艺点会烧焦，尤其是做MUL工艺时，工艺点烧焦加重，烧焦比例一度超过30%。因此在日常生产中，管式PECVD石墨舟维修及维护较为频繁，石墨舟长的工艺点较多，若仅靠人工安装，人工工作量非常大，安装效率较低。
【发明内容】
[0004]本发明要解决的技术问题是:为了克服现有技术中管式PECVD石墨舟维修及维护较为频繁，石墨舟长的工艺点较多，若仅靠人工安装，人工工作量非常大，安装效率较低的问题，提供一种全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置。
[0005]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，包括工艺点上料装置、石墨舟输送装置和工艺点压装装置，所述工艺点上料装置为所述石墨舟输送装置提供工艺点，所述工艺点压装装置设置在所述石墨舟输送装置的正上方。
[0006]进一步的，为了实现工艺点的全自动上料，所述工艺点上料装置包括工艺点排布装置和工艺点移送装置，所述工艺点移送装置设置在所述工艺点排布装置的正上方。
[0007]进一步的，所述工艺点排布装置包括底座、安装板和振动料盘，所述安装板滑动安装在所述底座上，所述安装板通过移动装置驱动实现往复直线运动，两个所述振动料盘分别位于所述移动装置的两侧，所述安装板上开有若干与石墨舟上的工艺孔相对应的盲孔，所述盲孔的深度略小于工艺点的高度，两个所述振动料盘的出料口分别与所述安装板同一端部的两个所述盲孔同轴设置，为了更准确的定位工艺点的位置，所述振动料盘的出料口的半径和盲孔的半径均与工艺点的半径相等，所述振动料盘的出料口与所述安装板的上表面贴合，工艺点从振动料盘出来后，可以直接落入盲孔内，避免了工艺点在落入盲孔的过程中工艺点的移动与竖立。
[0008]进一步的，所述工艺点移送装置包括吸盘、驱动吸盘升降的升降装置和驱动吸盘移动的移动装置，所述吸盘通过吸盘安装板固定安装在所述升降装置上，所述吸盘为陶瓷吸盘，若干所述吸盘在所述吸盘安装板上的位置与石墨舟上的工艺孔的位置相对应，所述升降装置滑动安装在所述移动装置上。
[0009]进一步的，所述石墨舟输送装置包括石墨舟固定夹具和驱动石墨舟固定夹具移动的移动装置，所述石墨舟固定夹具滑动安装在所述移动装置上。
[0010]进一步的，为了更好的固定石墨舟，所述石墨舟固定夹具包括底板，所述底板上固定安装有安装块，所述安装块上开有直角开口，两个所述安装块对称设置，所述底板上开有螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹安装有螺钉，所述底板上开有若干与石墨舟上的工艺孔相对应的工艺盲孔，工艺盲孔的深度与工艺点中卡块的高度相等，便于在工艺点的安装过程中，限制工艺点在该工艺孔中的位置。
[0011]进一步的，所述工艺点压装装置包括导向装置和压点装置，所述导向装置与所述压点装置相对设置。
[0012]进一步的，所述导向装置包括导向板和驱动导向板升降的升降装置，所述导向板固定安装在所述升降装置上，所述导向板上开有若干导向孔，若干所述导向孔与石墨舟上的工艺孔相对应，所述导向板上表面导向孔所在位置处固定安装有导向套筒，所述导向孔与所述导向套筒同轴心。
[0013]进一步的，所述压点装置包括压板、驱动压板升降的升降装置和驱动压板移动的移动装置，所述压板固定安装在所述升降装置上，升降装置滑动安装在所述移动装置上，所述压板上固定安装有若干与石墨舟上的工艺孔相对应的压杆，所述压杆与所述导向套筒同轴心。
[0014]进一步的，为了简化本发明的整体结构，所述移动装置为丝杆驱动装置，包括丝杆，丝杆转动装置、具有滑槽的导轨和滑块，所述丝杆转动装置与所述丝杆固定连接，所述滑块与所述丝杆传动连接，所述滑块滑动安装在所述导轨内。
[0015]进一步的，为了简化本发明的整体结构，所述升降装置为推动缸。
[0016]本发明的有益效果是:本发明使用工艺点上料装置进行工艺点的排布与输送，将排布好的工艺点输送到石墨舟输送装置中的石墨舟上，再使用工艺点压装装置将工艺点压装入石墨舟内，全部工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了安装效率，提高了劳动生产率。
【附图说明】
[0017]下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
[0018]图1是本发明的三维装配示意图；
[0019]图2是本发明的主视图；
[0020]图3是本发明中工艺点排布装置的三维装配示意图；
[0021]图4是本发明图3中A处的放大图；
[0022]图5是本发明中工艺点移送装置的三维装配示意图；
[0023]图6是本发明中石墨舟输送装置与导向装置的三维装配示意图；
[0024]图7是本发明中压点装置的三维装配示意图；
[0025]图8是本发明中石墨舟固定夹具与石墨舟的三维装配示意图；
[0026]图9是本发明中石墨舟固定夹具的三维装配示意图；
[0027]图10是本发明中导向板的三维示意图；
[0028]图11是本发明中安装板的三维示意图；
[0029]图12是本发明中吸盘与吸盘安装板的三维示意图；
[0030]图13是本发明中压板的三维示意图；
[0031]图14是石墨舟的俯视图。
[0032]图中:1.底座，2.安装板，3.振动料盘，4.盲孔，5.出料口，6.吸盘，7.底板，8.安装块，9.直角开口，10.石墨舟，11.螺钉，12.工艺盲孔，13.导向板，14.导向孔，15.压板，16.压杆，17.丝杆，18.导轨，19.电机，20.升降气缸，21.吸盘安装板，22.支架，23.导向套筒。
【具体实施方式】
[0033]现在结合附图对本发明做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
[0034]如图1和图2所示的一种全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，包括如图3和图4所示的工艺点排布装置，所述工艺点排布装置包括底座1、如图11所示的安装板2和振动料盘3，所述底座I上固定安装有两条开有滑槽的平行导轨18，所述安装板2下方固定安装有滑块，所述滑块滑动安装在所述导轨18上，所述底座I上转动安装有丝杆17，所述滑块与所述丝杆17传动连接，所述丝杆17通过电机19驱动转动，两个所述振动料盘3分别位于所述导轨18的两侧，所述安装板2上开有若干与石墨舟10上的工艺孔相对应的盲孔4，所述盲孔4的深度略小于工艺点的高度，两个所述振动料盘3的出料口 5分别与所述安装板2同一端部的两个所述盲孔4同轴设置，为了更准确的定位工艺点的位置，所述振动料盘3的出料口 5的半径和盲孔4的半径均与工艺点的半径相等，所述振动料盘3的出料口 5与所述安装板2的上表面贴合，工艺点从振动料盘3出来后，可以直接落入盲孔4内，避免了工艺点在落入盲孔4的过程中工艺点的移动与竖立。
[0035]所述底座I上通过支架22固定安装两条平行导轨18，支架22上转动安装丝杆17，丝杆17通过电机19驱动转动，丝杆17上传动安装滑块，滑块滑动设置在导轨18上的滑槽内，滑块上固定安装升降气缸20，升降气缸20的伸出端穿过滑块，与如图12所示的吸盘安装板21固定连接，如图5所示，吸盘安装板21位于安装板2的正上方，吸盘安装板21上固定安装有吸盘6，若干所述吸盘6在所述吸盘安装板21上的位置与石墨舟10上的工艺孔的位置相对应，所述吸盘6为陶瓷吸盘。
[0036]底座I上工艺点排布装置的一侧设有两条平行导轨18，这两条平行导轨18的长度方向与工艺点排布装置上导轨18的长度方向垂直，丝杆17转动安装在底座I上，丝杆17通过电机19驱动转动，丝杆17上传动安装滑块，滑块上固定安装底板7，如图6所示。两个底板7间隔安装，所述底板7上固定安装有安装块8，所述安装块8上开有直角开口 9，两个所述安装块8对称设置，所述底板7上开有螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹安装有螺钉11，所述底板7上开有若干与石墨舟10上的工艺孔相对应的工艺盲孔12，如图9所示，工艺盲孔12的深度与工艺点中卡块的高度相等，便于在工艺点的安装过程中，限制工艺点在该工艺孔中的位置。
[0037]底座I上底板7所在导轨18的两侧均固定安装支架22，支架22上固定安装升降气缸20，升降气缸20的伸出端固定安装导向板13，所述导向板13上开有若干导向孔14，如图10所示，若干所述导向孔14与石墨舟10上的工艺孔相对应，所述导向板13上表面导向孔14所在位置处固定安装有导向套筒23，所述导向孔14与所述导向套筒23同轴心。
[0038]驱动吸盘安装板21移动的丝杆17上传动安装两个滑块，一个滑块上安装驱动吸盘安装板21升降的升降气缸20，另一个滑块上安装驱动压板15升降的升降气缸20，两个滑块隔间设置，压板15与升降气缸20的伸出端固定连接，如图7所示，压板15位于导向板13的正上方，所述压板15上固定安装有若干与石墨舟10上的工艺孔相对应的压杆16，如图13所示，所述压杆16与所述导向套筒23同轴心。
[0039]工作过程:
[0040]1、将需要安装的工艺点放入振动料盘3内，启动振动料盘3，使工艺点进入振动料盘3的出料口 5。
[0041]2、本装置工作前，两个振动料盘3的出料口 5分别与安装板2同一端部的两个盲孔4同轴设置，启动工艺点排布装置中的电机19，电机19驱动丝杆17转动，丝杆17带动安装板2移动，振动料盘3的出料口5间歇性出料，出料的间隔时间相同，即安装板2移动一定距离后振动料盘3出料，保证工艺点准确落入安装板2上的盲孔4内。
[0042]3、在振动料盘3的出料口 5出料七次后，安装板2上的盲孔4内均已装有工艺点，关闭振动料盘3的出料口 5。
[0043]4、安装板2在装满工艺点后，正好移动到吸盘安装板212的正下方，吸盘安装板21上的吸盘6与安装板2上的盲孔4一一对应，启动驱动吸盘安装板21升降的升降气缸20，升降气缸20伸出端带动吸盘安装板21向安装板2靠近，待吸盘6与工艺点接触后，关闭升降气缸20，启动吸盘6，吸盘6将工艺点吸住，启动升降气缸20，升降气缸20伸出端回缩，带动吸盘安装板21复位，关闭升降气缸20。
[0044]5、启动工艺点排布装置中的电机19，电机19反转，带动安装板2复位，重复第2和第
3步骤。
[0045]6、启动工艺点移送装置中的电机19，电机19转动，带动丝杆17转动，丝杆17转动，带动滑块移动，滑块带动吸盘安装板21向石墨舟输送装置移动，由于压板15的安装滑块与吸盘安装板21的安装滑块设置在同一丝杆17上，且间隔设置，在吸盘安装板21向石墨舟输送装置移动的同时，滑块带动压板15远离石墨舟输送装置，待吸盘安装板21移动到导向板13的正上方，吸盘安装板21上吸盘6吸住的工艺点与导向板13上的导向套筒23—一对应后，关闭电机19。
[0046]7、在1-6步骤进行的同时，在石墨舟安装固定夹具的底板7上固定安装石墨舟10，如图8所示，安装好的石墨舟10上的工艺孔与底板7上的工艺盲孔12—一对应。
[0047]8、启动石墨舟输送装置中的电机19，电机19转动，带动丝杆17转动，丝杆17转动，带动滑块移动，滑块带动底板7向导向板13移动，待底板7移动到导向板13的正下方，石墨舟10上的工艺孔与导向板13中的导向孔14一一对应时，关闭电机19，由于一根丝杆17上安装有两个底板7，两个底板7间隔设置，在一个底板7位于导向板13正下方时，另一个底板7远离导向板13，方便在底板7上安装石墨舟10。
[0048]9、启动驱动导向板13升降的升降气缸20，升降气缸20伸出端伸出，带动导向板13向导向板13正下方的底板7移动，待导向板13的下表面与石墨舟10的上表面接触时，关闭升降气缸20。
[0049]10、启动驱动吸盘安装板21升降的升降气缸20，升降气缸20伸出端伸出，带动吸盘安装板21向其正下方的导向板13移动，待吸盘6的下表面与导向板13上导向套筒23的上表面接触时，关闭吸盘6，使吸盘6上的工艺点落入导向套筒23内，由于导向套筒23的内半径与工艺点的半径相等，工艺点上的卡块上下设置，进入导向套筒23内。
[0050]11、启动工艺点移送装置中的电机19，电机19反动，带动丝杆17转动，丝杆17转动，带动滑块移动，滑块带动吸盘安装板21远离石墨舟输送装置移动，进行复位，由于压板15的安装滑块与吸盘安装板21的安装滑块设置在同一丝杆17上，且间隔设置，在吸盘安装板21远离石墨舟输送装置移动的同时，滑块带动压板15靠近石墨舟输送装置，待压板15移动到导向板13的正上方，压板15上的压杆16与导向板13上的导向套筒23 对应后，关闭电机19。
[0051 ] 12、启动驱动压板15升降的升降气缸20，升降气缸20伸出端伸出，带动压板15向导向板13靠近，压杆16伸入导向套筒23内，推动导向套筒23内的工艺点向下运动，待工艺点下方的卡块与底板7上工艺盲孔12的底部接触时，升降气缸20收缩，带动压板15远离导向板13，升降气缸20复位后，关闭升降气缸20。
[0052]13、重复 1-12 步骤。
[0053]以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
【主权项】
1.一种全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于:包括工艺点上料装置、石墨舟输送装置和工艺点压装装置，所述工艺点上料装置为所述石墨舟输送装置提供工艺点，所述工艺点压装装置设置在所述石墨舟输送装置的正上方。2.如权利要求1所述的全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于:所述工艺点上料装置包括工艺点排布装置和工艺点移送装置，所述工艺点移送装置设置在所述工艺点排布装置的正上方。3.如权利要求2所述的全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于:所述工艺点排布装置包括底座(I)、安装板(2)和振动料盘(3)，所述安装板(2)滑动安装在所述底座(I)上，所述安装板(2)通过移动装置驱动实现往复直线运动，两个所述振动料盘(3)分别位于所述移动装置的两侧，所述安装板(2)上开有若干与石墨舟(10)上的工艺孔相对应的盲孔(4)，两个所述振动料盘(3)的出料口(5)分别与所述安装板(2)同一端部的两个所述盲孔(4)同轴设置。4.如权利要求3所述的全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于:所述工艺点移送装置包括吸盘(6)、驱动吸盘(6)升降的升降装置和驱动吸盘(6)移动的移动装置，所述吸盘(6)固定安装在所述升降装置上，所述升降装置滑动安装在所述移动装置上。5.如权利要求1所述的全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于:所述石墨舟输送装置包括石墨舟固定夹具和驱动石墨舟固定夹具移动的移动装置，所述石墨舟固定夹具滑动安装在所述移动装置上。6.如权利要求5所述的全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于:所述石墨舟固定夹具包括底板(7)，所述底板(7)上固定安装有安装块(8)，所述安装块(8)上开有直角开口(9)，两个所述安装块(8)对称设置，所述底板(7)上开有螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹安装有螺钉(11)，所述底板(7)上开有若干与石墨舟(10)上的工艺孔相对应的工艺盲孔(⑵。7.如权利要求1所述的全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于:所述工艺点压装装置包括导向装置和压点装置，所述导向装置与所述压点装置相对设置。8.如权利要求7所述的全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于:所述导向装置包括导向板(13)和驱动导向板(13)升降的升降装置，所述导向板(13)固定安装在所述升降装置上，所述导向板(13)上开有若干导向孔(14)，若干所述导向孔(14)与石墨舟(10)上的工艺孔相对应，所述导向板(13)上表面导向孔(14)所在位置处固定安装有导向套筒(23)，所述导向孔(14)与所述导向套筒(23)同轴心。9.如权利要求8所述的全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于:所述压点装置包括压板(15)、驱动压板(15)升降的升降装置和驱动压板(15)移动的移动装置，所述压板(15)固定安装在所述升降装置上，升降装置滑动安装在所述移动装置上，所述压板(15)上固定安装有若干与石墨舟(10)上的工艺孔相对应的压杆(16)，所述压杆(16)与所述导向孔(14)同轴心。10.如权利要求3或4或5或9所述的全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于:所述移动装置为丝杆驱动装置，包括丝杆(17)，丝杆转动装置、具有滑槽的导轨(18)和滑块，所述丝杆转动装置与所述丝杆(17)固定连接，所述滑块与所述丝杆(17)传动连接，所述滑块滑动安装在所述导轨(18)内。11.如权利要求4或8或9所述的全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于:所述升降装置为推动缸。
【文档编号】C23C16/458GK105951059SQ201610475556
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年6月27日
【发明人】邹海军, 吴佳俊, 吴俊 , 王少华
【申请人】常州亿晶光电科技有限公司