一种管式镀膜设备炉口氮气喷头的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶体硅太阳能电池制造过程中设备氮气输出的一种配件，具体涉及一种管式镀膜设备炉口氮气喷头。
【背景技术】
[0002]现阶段晶体硅太阳能电池片生产正朝着提高单位时间效率、降低生产成本的方向发展。现在的管式 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposit1n 的简称)设备镀膜容易出现色差、跳色等需返工的异常片，大大增加了成本，影响了产能。
[0003]分析上述异常片产生原因，主要由于炉口的氮气喷头的出气口 I是单一开口、单一方向的输出氮气，输气方向直接对着娃片，致使娃片出现异常，另外，如图1所不，这种喷头易造成反应炉管内氮气不均匀，致使镀膜效果不均匀，从而导致色差及跳色出现率的增加。
[0004]管式PECVD镀膜过程如下:将待镀膜的硅片放入石墨舟中，再将石墨舟放入炉管内，将炉管抽成真空，向炉管内喷入氨气、硅烷、氮气等气体，完成膜层沉积，最后，再喷入氮气进行吹扫冷却。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的发明目的是提供一种能降低硅片返工率的新型结构的炉口氮气喷头O
[0006]本实用新型的发明目的通过如下技术方案实现:一种管式镀膜设备炉口氮气喷头，所述氮气喷头包括喷头本体，所述喷头本体由管道组合而成，形成一具有一条出气管路、一条以上进气管路的气体传输通路，其特征在于，所述出气管路的出气口竖直向上。
[0007]相对于现有技术，本实用新型改变了喷头的出气方向，使喷头喷出的气体不直接吹向硅片，以免造成硅片异常，从而降低硅片的返工率。
[0008]作为本实用新型的改进，所述出气管路与一横向设置的出气筒连通，所述出气筒两端面封闭，筒壁上沿轴向设置有作为所述出气口的多个出气孔。
[0009]本实用新型通过设置出气筒使氮气多点均匀输出，有利于使炉管内氮气分布均匀，改善硅片色差、跳色的问题，进一步降低硅片的返工率。
[0010]所述出气管路与出气筒的中部连通，多个所述出气孔在所述出气筒上对称分布。
[0011]所述出气筒长度较佳范围为20~40mm。
[0012]所述出气孔内径较佳范围为2~5mm。
[0013]所述进气管路为两条，两条所述进气管路与所述出气管路组合成Y字形，两条进气管路构成所述Y字形的两上端脚，两条所述进气管路的进气端竖直向下弯折。
[0014]相对于现有技术，本实用新型具有如下有益效果:本实用新型改变了现有技术中炉口氮气喷头的输气方向，使其不直接与产品相对，避免直接吹到氮气的产品出现异常；另夕卜，本实用新型设置出气筒，通过沿出气筒轴向排列多个出气孔输气，使氮气均匀向炉管上方喷洒，有利于使炉管内气体分布更加均匀，硅片与气体均匀接触，使硅片上膜层厚度均匀，减少色差、跳色等问题的出现，降低产品返工率，从而降低成本，提升设备利用率，提高产能。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型较佳实施例的俯视图；
[0016]图2是本实用新型较佳实施例的左视图。
【具体实施方式】
[0017]如图1、2所示，本实施例的管式镀膜设备炉口氮气喷头包括喷头本体I和出气筒2。
[0018]喷头本体I由若干条管道组合而成，如图1所示，形成一具有一条出气管路11、两条进气管路12的气体传输通路，两条进气管路12与一条出气管路11组合成Y字形，两条进气管路12构成Y字形的两上端脚，两条进气管路12的进气端竖直向下弯折，如图2所示。在其他实施例中，也可以根据需要，设计三条或三条以上的进气管路。
[0019]出气管路11与出气筒2的中部连通，出气筒2横向设置，两端面封闭，如图2所示，图2中对出气筒2的端面进行了部分剖切，出气筒2的筒壁上沿轴向设置有作为出气管路11出气口的6个出气孔21，6个出气孔21竖直向上，对称设置。出气孔21竖直向上，以避免直接吹向产品。多个出气孔21的设置，使喷头的输气方向不再单点集中输出，而使气流分散，有利于使吹入炉管内的气体分布地更加均匀，以提高硅片镀膜的合格率。本实施例中出气孔21内径为3_，出气筒2长度为36_，出气筒2长度主要受其使用位置的限制。
[0020]上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受所述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种管式镀膜设备炉口氮气喷头，所述氮气喷头包括喷头本体，所述喷头本体由管道组合而成，形成一具有一条出气管路、一条以上进气管路的气体传输通路，其特征在于，所述出气管路的出气口竖直向上。
2.根据权利要求1所述的管式镀膜设备炉口氮气喷头，其特征在于，所述出气管路与一横向设置的出气筒连通，所述出气筒两端面封闭，筒壁上沿轴向设置有作为所述出气口的多个出气孔。
3.根据权利要求2所述的管式镀膜设备炉口氮气喷头，其特征在于，所述出气管路与出气筒的中部连通，多个所述出气孔在所述出气筒上对称分布。
4.根据权利要求3所述的管式镀膜设备炉口氮气喷头，其特征在于，所述出气筒长度范围为20~40_。
5.根据权利要求4所述的管式镀膜设备炉口氮气喷头，其特征在于，所述出气孔内径范围为2~5mm。
6.根据权利要求5所述的管式镀膜设备炉口氮气喷头，其特征在于，所述进气管路为两条，两条所述进气管路与所述出气管路组合成Y字形，两条进气管路构成所述Y字形的两上端脚，两条所述进气管路的进气端竖直向下弯折。
【专利摘要】一种管式镀膜设备炉口氮气喷头，所述氮气喷头包括喷头本体，所述喷头本体由管道组合而成，形成一具有一条出气管路、一条以上进气管路的气体传输通路，所述出气管路的出气口竖直向上。本实用新型改变了喷头的出气方向，使喷头喷出的气体不直接吹向硅片，以免造成硅片异常，从而降低硅片的返工率。
【IPC分类】C23C16-455
【公开号】CN204298459
【申请号】CN201420678729
【发明人】温云佳, 高西超, 张林林, 柳国栋, 李明亮
【申请人】晶澳太阳能有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年11月14日