一种用于镀膜机上的空气过滤器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及镀膜机的辅助设备，具体地是一种用于镀膜机上的空气过滤器。
【背景技术】
[0002]近年来随着镀膜技术的发展，产品镀膜工艺已经从传统金属加工业延伸至半导体行业以及光电产业。真空镀膜已经成为了非金属电镀过程的重要技术手段，其种类大致可分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
[0003]然而无论是上述的哪种形式的真空镀膜，其镀膜过程都需要一个良好的真空环境，现有技术中依靠抽真空设备，例如机械泵加扩散泵的组合设备，已经可以很好的满足镀膜机的真空度要求，并且，在产品完成镀膜后，通过打开泄压阀即可进行泄压，最终出料。
[0004]不难看出，上述的现有技术的泄压过程将会伴随着较大的吸力，尤其对于使用环境较差的厂房，直接打开泄压阀将会使大量的杂质颗粒被吸入镀膜机内部，不仅影响到后续产品的镀膜过程，而且可能会导致镀膜机内部的部分精密仪表堵塞、损坏。
【发明内容】
[0005]本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种用于镀膜机上的可以在镀膜机真空泄压过程中净化镀膜机吸入的空气的空气过滤器。
[0006]本实用新型所采取的技术方案是:提供一种用于镀膜机上的空气过滤器，它包括带有进气口和出气口的壳体，与壳体的出气口相连通的气管，壳体的腔体内位于进气口与出气口之间设有滤芯板组件，其特征在于:所述气管的一端伸入壳体内，且气管伸入壳体内的端部上设有上小下大的喇叭口，所述喇叭口的上端与气管固定且连通，所述喇叭口的侧壁上设有若干通孔，全部通孔沿喇叭口的侧壁均布，各通孔内均各自设有二级过滤板，所述二级过滤板覆盖于通孔上。
[0007]采用以上结构后，本实用新型的一种用于镀膜机上的空气过滤器与现有技术相比具有以下优点:首先，通过空气过滤器使镀膜机进行真空泄压的过程中，吸附镀膜机的空气的净度较高，有利于镀膜机内镀膜环境的净化，同时也提高镀膜机内精密仪器的使用寿命，其次，通过喇叭口并在喇叭口的侧壁上设置若干二级过滤板可以进行多级过滤，实现空气进一步净化，同时依靠喇叭口的上小下大的结构，使部分灰尘沿喇叭口的外侧壁滑落沉降在壳体底面，防止直接吸入气管内。
[0008]作为优选，所述的滤芯板组件包括若干相互平行的过滤板，奇数块过滤板与壳体的内腔顶面固定，偶数块过滤板与壳体的内腔底面固定，且全部过滤板和壳体内壁围绕成一盘旋前进的气流通道。通过盘旋前进的气流通道，可以有效的延长气流的路径，增加过滤板的吸附效果。
[0009]作为优选，所述的气管的下端延伸至近壳体内腔底面的位置，且所述喇叭口的下端与壳体内腔底面之间形成间隙。所述喇叭口的下端面靠近壳体内腔的底面，二者形成一环形间隙，从而在二级过滤板堵塞的情况下，可以使气流从所述的间隙内通过，防止气管内负压增加，起到保护作用，同时由于所述间隙较小，因此在二级过滤板有效工作的情况下，可以有效的保证气管内外的压差，增加过滤效果。
[0010]作为改进，所述壳体内沿竖直方向位于喇叭口的下方设有一可以与外部电源电连接的静电板。通过静电板可以提高过滤效果。
[0011]进一步地，所述的静电板的纵截面的形状与喇叭口的纵截面的形状相配。
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的一种用于镀膜机上的空气过滤器的结构示意图。
[0013]图2是本实用新型的一种用于镀膜机上的空气过滤器的另一种结构示意图。
[0014]图3为图1中“A-A”反向的剖视图。
[0015]其中，1、壳体，1.1、进气口，1.2、出气口，2、气管，3、喇叭口，4、二级过滤板，5、过滤板，6、静电板。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步说明。
[0017]如图所示，本实用新型提供一种用于镀膜机上的空气过滤器，它包括带有进气口
1.1和出气口 1.2的壳体1，与壳体I的出气口 1.2相连通的气管2，壳体I的腔体内位于进气口 1.1和出气口 1.2之间设有滤芯板组件，其特征在于:所述气管2的一端伸入壳体I内，且气管2伸入壳体I内的端部上设有上小下大的喇叭口 3，所述喇叭口 3的上端与气管2固定且连通，所述喇叭口 3的侧壁上设有若干通孔，全部通孔沿喇叭口 3的侧壁均布，各通孔内均各自设有二级过滤板4，所述二级过滤板4覆盖于通孔上。具体地，如图3所示，所述的喇叭口 3包括顶部小圆环和底部大圆环，二者之间通过若干连接杆固定，所述顶部小圆环、底部大圆环和连接杆之间形成若干通道，即为上文所述的通孔，所述的二级过滤板4覆盖于通孔上，且二级过滤板4的边缘处与喇叭口 3的顶部小圆环、底部大圆环和连接杆固定且密封，由此顶部小圆环、底部大圆环和连接杆和二级过滤板4合围成一呈喇叭状的结构。当然，作为另一种优选，所述喇叭口 3的锥形侧面上可以开设若干通孔，用于安装二级过滤板4。
[0018]所述的滤芯板组件包括若干相互平行的过滤板5，奇数块过滤板5与壳体I的内腔顶面固定，偶数块过滤板5与壳体I的内腔底面固定，且全部过滤板5和壳体I内壁围绕成一盘旋前进的气流通道。如图所示，所述的壳体为圆柱状，且进气口 1.1设于壳体I的上端面近侧壁的位置，所述的出气口 1.2设于壳体I的上端面的中心位置。所述的隔板4为环形板，作为优选，环形的隔板4的沿竖直方向上的宽度等于壳体I内腔的沿竖直方向上的宽度的3/4。
[0019]所述的气管2的下端延伸至近壳体I内腔底面的位置，且所述喇叭口 3的下端与壳体I内腔底面之间形成间隙。当然所述的间隙过小，则在二级过滤板4堵塞的情况下，造成气管2以及喇叭口 3内外压差过大，无法有效起到保护作用，而间隙过大又会造成二级过滤板4正常使用过程中，无法通过内外压差增加过滤效果。作为优选，所述的间隙，即喇叭口的下端面到壳体I的内腔地面的竖直高度等于1/2的喇叭口下端面的内圆面积除以内圆圆周长。
[0020]所述壳体I内沿竖直方向位于喇叭口 3的下方设有一可以与外部电源电连接的静电板6。通过静电板6可以进一步提高除尘效果。
[0021]所述的静电板6的纵截面的形状与喇叭口 3的纵截面的形状相配。该处所指的形状配合是指，所述的静电板6呈圆台状，且静电板6的纵截面的母线与喇叭口的锥形侧面的平行。
[0022]以上就本实用新型较佳的实施例作了说明，但不能理解为是对权利要求的限制。本实用新型不仅局限于以上实施例，其具体结构允许有变化，凡在本实用新型独立要求的保护范围内所作的各种变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种用于镀膜机上的空气过滤器，它包括带有进气口(1.1)和出气口(1.2)的壳体(1)，与壳体⑴的出气口(1.2)相连通的气管(2)，壳体⑴的腔体内位于进气口(1.1)和出气口(1.2)之间设有滤芯板组件，其特征在于:所述气管(2)的一端伸入壳体(I)内，且气管(2)伸入壳体(I)内的端部上设有上小下大的喇叭口(3)，所述喇叭口(3)的上端与气管(2)固定且连通，所述喇叭口(3)的侧壁上设有若干通孔，全部通孔沿喇叭口(3)的侧壁均布，各通孔内均各自设有二级过滤板(4)，所述二级过滤板(4)覆盖于通孔上。
2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜机上的空气过滤器，其特征在于:所述的滤芯板组件包括若干相互平行的过滤板(5)，奇数块过滤板(5)与壳体(I)的内腔顶面固定，偶数块过滤板(5)与壳体(I)的内腔底面固定，且全部过滤板(5)和壳体(I)内壁围绕成一盘旋前进的气流通道。
3.根据权利要求1所述的一种用于镀膜机上的空气过滤器，其特征在于:所述的气管(2)的下端延伸至近壳体(I)内腔底面的位置，且所述喇叭口(3)的下端与壳体(I)内腔底面之间形成间隙。
4.根据权利要求3所述的一种用于镀膜机上的空气过滤器，其特征在于:所述壳体(I)内沿竖直方向位于喇叭口(3)的下方设有一可以与外部电源电连接的静电板(6)。
5.根据权利要求4所述的一种用于镀膜机上的空气过滤器，其特征在于:所述的静电板(6)的纵截面的形状与喇叭口(3)的纵截面的形状相配。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于镀膜机上的空气过滤器，它包括带有进气口(1.1)和出气口(1.2)的壳体(1)，与壳体(1)的出气口(1.2)相连通的气管(2)，壳体(1)的腔体内设有滤芯板组件，其特征在于：所述气管(2)的一端伸入壳体(1)内，且气管(2)伸入壳体(1)内的端部上设有上小下大的喇叭口(3)，所述喇叭口(3)的上端与气管(2)固定且连通，所述喇叭口(3)的侧壁上设有若干通孔，全部通孔沿喇叭口(3)的侧壁均布，各通孔内均各自设有二级过滤板(4)。本实用新型提供一种用于镀膜机上的可以在镀膜机真空泄压过程中净化镀膜机吸入的空气的空气过滤器。
【IPC分类】C23C14-22, B01D50-00, C23C14-56
【公开号】CN204325476
【申请号】CN201420838756
【发明人】林国华
【申请人】江西昌佳鑫科技有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2014年12月25日