一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于单晶硅衬底片抛光生产技术领域，主要涉及一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置。
【背景技术】
[0002]有蜡贴片是大直径单晶硅衬底片化学机械抛光工艺中通用的技术手段，而在硅片上蜡过程中通过高速旋转将蜡层均匀铺开时用于回收和防止多余蜡外溅的甩蜡罩是有蜡贴片台必要的部件。
[0003]目前在有蜡贴片生产过程中普遍用于不二越公司SCMM-19型有蜡贴片台回收和防止多余蜡外溅的甩蜡罩驱动装置是采用两个气缸牵引驱动甩蜡罩做上下运行，在硅片上蜡过程中，首先，甩蜡罩由两个气缸牵引降到真空吸盘以下，机械手将硅片放到真空吸盘上，然后滴蜡管移动到硅片中心上方给硅片供给一定量的液体蜡，接着再由气缸牵引带动甩蜡罩向上移动，将硅片置于甩蜡罩腔体内，这时硅片开始以高速旋转的方式将蜡层铺开，被甩掉的液体蜡由甩蜡罩承接，防止溅到周围环境中造成污染。
[0004]上述这种双气缸牵引带动甩蜡罩上下运动的方式在使用过程中发现许多问题，例如，两个气缸运行的速度都是由进/出气量调节阀开合程度决定的，在实际操作中很难始终使两个气缸上下运行的速度调成一致，一旦两个气缸上下运行速度不一致时，两个气缸就会相互较劲，导致气缸的损坏，发生漏气、漏油的情况，进而破坏了装片台的洁净环境；同时也会出现气缸与甩蜡罩间固定螺栓损坏以及在甩蜡过程中液体蜡外溅的现象。
【实用新型内容】
[0005]鉴于现有技术中所存在的实际问题，本实用新型设计并公开了一种采用单气缸带动甩蜡罩上下运行的驱动装置，以改变现有技术中由于双气缸运动速度不一致时导致气缸损坏的问题和解决由于气缸损坏所造成漏气、漏油、甩蜡过程中液体蜡外溅的问题。
[0006]为实现上述发明目的，本实用新型采取的具体技术方案是:一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置，主要是由法兰式直线轴承、法兰式直线轴承固定支架、圆柱轴、甩蜡罩、固定螺栓、压空进口调节阀、气缸、压空出口调节阀构成；其中两个圆柱轴分别焊接在甩蜡罩顶部的两端，一个圆柱轴通过固定螺栓与气缸连接，另一个圆柱轴通过法兰式直线轴承安装在法兰式直线轴承固定支架上，圆柱轴可在法兰式直线轴承中上下移动，法兰式直线轴承固定支架安装在装片台的机体上，气缸的上下两端安装有压空进口调节阀和压空出口调节阀。
[0007]本实用新型所述的一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置，设计结构简单，安装使用方便，采用单个气缸牵引驱动甩蜡罩，使甩蜡罩上的圆柱轴在直线轴承中上下运行顺畅，延长了气缸的使用寿命，解决了因气缸损坏所导致的漏气、漏油的问题，提高了生产效率。
【附图说明】
[0008]图1为本实用新型的结构示意图。
[0009]图中:1、法兰式直线轴承；2、液体蜡；3、圆柱轴；4、硅片；5、法兰式直线轴承固定支架；6、甩蜡罩；7、固定螺栓；8、压空进口调节阀；9、气缸；10、压空出口调节阀；11、真空吸盘；12、旋转电机。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图给出本实用新型的【具体实施方式】如下:
[0011]如图1所示，本实用新型所述的一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置，主要是由法兰式直线轴承1、圆柱轴3、法兰式直线轴承固定支架5、甩蜡罩6、固定螺栓7、压空进口调节阀8、气缸9、压空出口调节阀10构成；其中，两个圆柱轴3分别焊接在甩蜡罩6顶部的两端，一个圆柱轴3通过固定螺栓7与气缸9连接，另一个圆柱轴3穿过法兰式直线轴承安装在法兰式直线轴承固定支架5上，圆柱轴3可在法兰式直线轴承I中上下移动，法兰式直线轴承固定支架5装在装片台的机体上；气缸9的上下两端安装有压空进口调节阀8和压空出口调节阀10。本实用新型在实际操作使用时，由机械手将硅片4放到真空吸盘11上，滴蜡管给硅片4供给一定量的液体蜡2，由压空进口调节阀8和压空出口调节阀10调整气缸9的上下运行速度。气缸9上升时，驱动连接在气缸9上的圆柱轴3和安装在法兰式直线轴承固定支架5上可在法兰式直线轴承I中上下移动的圆柱轴3均速向上移动，带动甩蜡罩6向上移动，将硅片4置于甩蜡罩腔体内，以防止旋转电机12在高速旋转时，硅片4上的液体蜡2飞溅到周围环境中造成污染。
【主权项】
1.一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置，其特征是:所述的一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置，主要是由法兰式直线轴承(1)、圆柱轴(3)、法兰式直线轴承固定支架(5)、甩蜡罩(6)、固定螺栓(7)、压空进口调节阀(8)、气缸(9)、压空出口调节阀(10)构成；其中，两个圆柱轴(3)分别焊接在甩蜡罩(6)顶部的两端位置，一个圆柱轴(3)通过固定螺栓(7)与气缸(9)连接在一起，另一个圆柱轴(3)穿过法兰式直线轴承(I)安装在法兰式直线轴承固定支架(5)上；法兰式直线轴承固定支架(5)装在装片台的机体上；气缸(9)的上下两端安装有压空进口调节阀(8)和压空出口调节阀(10)。
2.根据权利要求1所述的一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置，其特征是:安装在法兰式直线轴承固定支架(5 )上的圆柱轴(3 )可在法兰式直线轴承(I)中上下移动。
【专利摘要】一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置，适用于单晶硅衬底片抛光生产过程中，有蜡贴片台回收和防止多余蜡外溅。本实用新型通过压空进口调节阀（8）和压空出口调节阀（10）控制气缸（9）上下运行速度，气缸（9）上升时驱动连接在气缸（9）上的圆柱轴（3）和安装在法兰式直线轴承固定支架（5）上并可在法兰式直线轴承（1）中上下移动的圆柱轴（3）均速向上移动的同时带动甩蜡罩（6）向上移动，将硅片（4）置于甩蜡罩腔体内，以防止在高速运转时硅片（4）上的液体蜡（2）向外飞溅并回收液体蜡（2）。本实用新型采用由一个气缸（9）牵引驱动甩蜡罩（6）上下移动的结构设计使甩蜡罩上下运行均速、顺畅，解决了因双气缸驱动产生的运行速度不一致而造成的气缸损坏问题，本实用新型结构简单，使用方便。
【IPC分类】B24B37-34
【公开号】CN204565868
【申请号】CN201520191341
【发明人】胡晓亮, 赵文龙, 高烨, 崔小换
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年4月1日