一种软启动研磨盘的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种软启动研磨盘。
【背景技术】
[0002]现有的晶体片在研磨的过程中，由于之前控制气缸上升的气动装置在使上研磨盘上升的过程中上升过快，很容易将贴合在上下工作盘上的晶体片带起，掉落容易使得晶片碎裂，导致成品率降低，增加了生产成本。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而设计的一种软启动研磨盘。
[0004]本实用新型所设计的一种软启动研磨盘，包括气缸，气杆，支架，研磨液输送支管，研磨液输送总管，动力机头，传动轴，上研磨盘，下研磨盘，液槽，工作箱，电磁阀，增压泵，传感器，过滤吸附机构，研磨液收集管，研磨液收集箱，调压器，离心过滤器和散热器，所述的动力机头与传动轴连接，所述的传动轴与上研磨盘连接，所述的下研磨盘固定在液槽内，其特征在于:所述的气缸一侧设有调压器，所述的调压器与气缸的上腔和下腔连接。
[0005]作为一种优选，所述的上研磨盘上设有多个均布的研磨液输送通道，所述的液槽下方设有研磨液收集管，所述的研磨液收集管与离心过滤器连接。
[0006]作为一种优选，所述的离心过滤器后设有过滤吸附机构。
[0007]作为一种优选，所述的过滤吸附机构为无纺布过滤机构。
[0008]作为一种优选，所述的研磨液输送总管与研磨液收集箱的下方连接。
[0009]作为一种优选，所述的研磨液输送总管上设有电磁阀。
[0010]作为一种优选，所述的研磨液输送总管上设有增压泵。
[0011]作为一种优选，所述的研磨液输送支管上设有传感器。
[0012]作为一种优选，所述的散热器在研磨液收集箱的上方。
[0013]本实用新型中，通过调压器的设置，可以调节气缸上下腔之间的气压差，使得气缸前后的气压差减小，从而使得气缸在上升的过程中上升加速度减小，从而使得晶体片不易掉落，降低了报废率。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型的软启动研磨盘结构视图；
[0015]图2是本实用新型的软启动研磨盘调压器局部视图；
[0016]图中:1、气缸，la，上腔，lb、下腔，2、气杆，3、支架，4、研磨液输送支管，5、研磨液输送总管，6、动力机头，7、传动轴，8、上研磨盘，9、下研磨盘，10、液槽，11、工作箱，12、电磁阀，13、增压泵，14、传感器，15、过滤吸附机构，16、研磨液收集管，17、研磨液收集箱，18、调压器，19、离心过滤器，20、散热器。
【具体实施方式】
[0017]下面通过实施例结合附图对本实用新型作进一步的描述。
[0018]实施例:
[0019]如图1，2所示，本实施例所描述的一种软启动研磨盘，包括气缸1，气杆2，支架3，研磨液输送支管4，研磨液输送总管5，动力机头6，传动轴7，上研磨盘8，下研磨盘9，液槽10，工作箱11，电磁阀12，增压泵13，传感器14，过滤吸附机构15，研磨液收集管16，研磨液收集箱17，调压器18，离心过滤器19和散热器20，所述的动力机头6与传动轴7连接，所述的传动轴7与上研磨盘8连接，所述的下研磨盘9固定在液槽10内，其特征在于:所述的气缸I 一侧设有调压器18，所述的调压器18与气缸I的上腔Ia和下腔Ib连接。
[0020]进一步的，所述的上研磨盘8上设有多个均布的研磨液输送通道，所述的液槽10下方设有研磨液收集管16，所述的研磨液收集管16与离心过滤器19连接。
[0021]进一步的，所述的离心过滤器19后设有过滤吸附机构15，所述的过滤吸附机构15为无纺布过滤机构。通过过滤吸附机构15的设置，使研磨液达到了二次过滤进一步减少了研磨液中的杂质。
[0022]进一步的，所述的研磨液输送总管5与研磨液收集箱17，的下方连接。
[0023]进一步的，所述的研磨液输送总管5上设有电磁阀12，通过电子阀12的设置，保证了研磨液输送总管5对研磨液的输送。
[0024]进一步的，所述的研磨液输送总管5上设有增压泵13，通过增压泵13的设置，保证了研磨液输送总管5的压力，保证了研磨液输送总管5的正常输送研磨液。
[0025]进一步的，所述的研磨液输送支管4上设有传感器14，通过传感器14的设置，防止了研磨机在无研磨液输送的情况下对晶体片进行研磨，造成晶体片的损坏。
[0026]进一步的，所述的散热器20在研磨液收集箱17的上方。
[0027]本实用新型中，当研磨液通过增压泵13，泵入研磨液输送总管5后，通过研磨液输送支管4将研磨液输送至上研磨盘8与下研磨盘9之间，随后液槽10内的研磨液通过研磨液收集管16后进入离心过滤器19，随后过滤后的研磨液再次经过无纺布过滤机构进行二次过滤后，研磨液进入散热器20进行散热，随后研磨液进入研磨液收集箱14，当研磨完毕后，气缸I使气杆2上行，带动上研磨盘8上行，通过调压器18的设置，使气缸I在泄压时，达到缓慢泄压的效果，防止了迅速泄压导致上研磨盘8上有晶片，导致晶片到高处后损坏。
[0028]当气缸I进行泄压时，通过调压器18对上腔进行增压，导致气杆2上行速度减缓。
[0029]当研磨液输送支管4上传感器14的感应到研磨液输送支管4内无研磨液后，将信号发送至控制机构，使研磨机停止工作，防止了晶体片的损坏。
[0030]本实用新型中，通过调压器的设置，可以调节气缸前后之间的气压差，使得气缸上下的气压差减小，从而使得气缸在上升的过程中上升加速度减小，从而使得晶体片不易掉落，降低了报废率。
[0031]本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型的构思作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
【主权项】
1.一种软启动研磨盘，包括气缸，气杆，支架，研磨液输送支管，研磨液输送总管，动力机头，传动轴，上研磨盘，下研磨盘，液槽，工作箱，电磁阀，增压泵，传感器，过滤吸附机构，研磨液收集管，研磨液收集箱，调压器，离心过滤器和散热器，所述的动力机头与传动轴连接，所述的传动轴与上研磨盘连接，所述的下研磨盘固定在液槽内，其特征在于:所述的气缸一侧设有调压器，所述的调压器与气缸的上腔和下腔连接。
2.如权利要求1所述的软启动研磨盘，其特征在于:所述的上研磨盘上设有多个均布的研磨液输送通道，所述的液槽下方设有研磨液收集管，所述的研磨液收集管与离心过滤器连接。
3.如权利要求1所述的软启动研磨盘，其特征在于:所述的离心过滤器后设有过滤吸附机构。
4.如权利要求3所述的软启动研磨盘，其特征在于:所述的过滤吸附机构为无纺布过滤机构。
5.如权利要求1所述的软启动研磨盘，其特征在于:所述的研磨液输送总管与研磨液收集箱的下方连接。
6.如权利要求1所述的软启动研磨盘，其特征在于:所述的研磨液输送总管上设有电磁阀。
7.如权利要求1所述的软启动研磨盘，其特征在于:所述的研磨液输送总管上设有增压栗O
8.如权利要求1所述的软启动研磨盘，其特征在于:所述的研磨液输送支管上设有传感器。
9.如权利要求1所述的软启动研磨盘，其特征在于:所述的散热器在研磨液收集箱的上方。
【专利摘要】本实用新型涉及的一种软启动研磨盘，包括气缸，气杆，支架，研磨液输送支管，研磨液输送总管，动力机头，传动轴，上研磨盘，下研磨盘，液槽，工作箱，电磁阀，增压泵，传感器，过滤吸附机构，研磨液收集管和研磨液收集箱，所述的动力机头与传动轴连接，所述的传动轴与上研磨盘连接，所述的下研磨盘固定在液槽内，其特征在于：所述的气缸一侧设有分流器，所述的分流器与气缸的上腔和下腔连接。本实用新型中，通过调压器的设置，可以调节气缸前后之间的气压差，使得气缸前后的气压差减小，从而使得气缸在上升的过程中上升加速度减小，从而使得晶体片不易掉落，降低了报废率。
【IPC分类】B24B37-34
【公开号】CN204584947
【申请号】CN201520095872
【发明人】章仁上
【申请人】德清晶生光电科技有限公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年2月11日