一种硅片气相沉积用舟桨设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，特别涉及一种硅片气相沉积用舟桨设备。
【背景技术】
[0002]化学气相沉积(CVD)是反应气体在一定条件下分解并发生化学反应，最终生成固态物质沉积在基体表面继而形成薄膜的一种技术。在工艺上与其他薄膜沉积技术相比，具有沉积速度快、膜层质量好等优点，且已广泛应用于电子、光电子、表面改性等领域。该技术的缺点是沉积工艺温度过高，一般在(900°C?1200°C )之间，被处理的基体在高温下易变形、基体晶粒长大、致使基材性能发生改变，甚至某些相对低熔点的合金基材:如(Al合金)无法涂覆，而PECVD在很大程度上改进了 CVD的这些缺点。PECVD技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。PECVD方法区别于其他CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程，生成活性很高的各种化学基团，因而显著降低CVD薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温下实现。
【实用新型内容】
[0003]针对现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种硅片气相沉积用舟桨设备。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种硅片气相沉积用舟桨设备，包括舟桨本体、与所述舟桨本体连接的推送杆，所述推送杆连接在滑动箱上，所述滑动箱侧面设有丝杠套，所述丝杠套与设置在机架上的传动丝杠配合，所述传动丝杠与设置在机架的马达驱动连接，所述滑动箱与设置在机架上的滑轨配合，所述舟桨本体上设有开口向上的滑孔，所述滑孔内设有挡块，所述挡块底部与所述舟桨本体之间设有复位弹簧，所述复位弹簧用于将所述挡块顶部顶出舟桨，所述挡块朝向舟桨本体头部一侧为斜面，所述斜面延伸至滑孔内，所述挡块朝向舟桨尾部一侧为竖直面。
[0005]上述设计中利用伸缩的挡块以及挡块前面的斜面，在石墨舟放错位置时，所述挡块在斜面受力挤压下缩回，防止撞伤电极及石墨舟；通过传动丝杠驱动舟桨本体运动，传动平稳。
[0006]作为本设计的进一步改进，所述舟桨本体与推送杆通过连接块连接，所述舟桨本体与连接块连接处铰接有挡板，所述连接块上设有水平的调整螺栓，所述调整螺栓端部与挡板尾部贴合。所述挡板角度可调，便于支撑不同形状的石墨舟，防止石墨舟损坏。
[0007]作为本设计的进一步改进，所述挡块侧面设有滑爪，所述滑爪与设置在舟桨本体上的滑槽配合，防止挡块卡死，便于挡块伸缩顺滑。
[0008]作为本设计的进一步改进，所述滑动箱上设有上下两块夹板，所述滑动箱侧面设有微调螺栓，所述微调螺栓顶住所述夹板。所述夹板便于调整舟桨本体的前后位置，所述微调螺栓便于调整舟桨本体的空间位置，防止舟桨本体与设备碰撞。
[0009]作为本设计的进一步改进，所述舟桨本体头部为锥面，便于引导舟桨本体进入设备。
[0010]本实用新型的有益效果是:本实用新型利用伸缩的挡块以及挡块前面的斜面，在石墨舟放错位置时，所述挡块在斜面受力挤压下缩回，防止撞伤电极及石墨舟；通过传动丝杠驱动舟桨本体运动，传动平稳。
【附图说明】
[0011]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0012]图1是本实用新型的侧面结构示意图。
[0013]图2是本实用新型的滑动箱俯视示意图。
[0014]图3是本实用新型的挡块部位局部示意图。
[0015]图4是本实用新型的滑动箱与传动丝杠配合结构示意图。
[0016]在图中1.舟桨本体，2.挡块，3.挡板，4.调整螺栓，5.连接块，6.推送杆，7.夹板，8.微调螺栓，9.复位弹簧，10.滑轨，11.传动丝杠，12.马达，13.丝杠套，14.机架，15.滑动箱，16.滑孔，17.滑爪，18.滑槽。
【具体实施方式】
[0017]下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，其中的示意性实施例以及说明仅用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。
[0018]实施例:一种硅片气相沉积用舟桨设备，包括舟桨本体1、与所述舟桨本体I连接的推送杆6，所述推送杆6连接在滑动箱15上，所述滑动箱15侧面设有丝杠套13，所述丝杠套13与设置在机架14上的传动丝杠11配合，所述传动丝杠11与设置在机架14的马达12驱动连接，所述滑动箱15与设置在机架14上的滑轨10配合，所述舟桨本体I上设有开口向上的滑孔16，所述滑孔16内设有挡块2，所述挡块2底部与所述舟桨本体I之间设有复位弹簧9，所述复位弹簧9用于将所述挡块2顶部顶出舟桨，所述挡块2朝向舟桨本体I头部一侧为斜面，所述斜面延伸至滑孔16内，所述挡块2朝向舟桨尾部一侧为竖直面。
[0019]上述设计中利用伸缩的挡块2以及挡块2前面的斜面，在石墨舟放错位置时，所述挡块2在斜面受力挤压下缩回，防止撞伤电极及石墨舟；通过传动丝杠11驱动舟桨本体I运动，传动平稳。
[0020]作为本设计的进一步改进，所述舟桨本体I与推送杆6通过连接块5连接，所述舟桨本体I与连接块5连接处铰接有挡板3，所述连接块5上设有水平的调整螺栓4，所述调整螺栓4端部与挡板3尾部贴合。所述挡板3角度可调，便于支撑不同形状的石墨舟，防止石墨舟损坏。
[0021]作为本设计的进一步改进，所述挡块2侧面设有滑爪17，所述滑爪17与设置在舟桨本体I上的滑槽18配合，防止挡块2卡死，便于挡块2伸缩顺滑。
[0022]作为本设计的进一步改进，所述滑动箱15上设有上下两块夹板7，所述滑动箱15侧面设有微调螺栓8，所述微调螺栓8顶住所述夹板7。所述夹板7便于调整舟桨本体I的前后位置，所述微调螺栓8便于调整舟桨本体I的空间位置，防止舟桨本体I与设备碰撞。
[0023]作为本设计的进一步改进，所述舟桨本体I头部为锥面，便于引导舟桨本体I进入设备。
[0024]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种硅片气相沉积用舟桨设备，其特征在于，包括舟桨本体、与所述舟桨本体连接的推送杆，所述推送杆连接在滑动箱上，所述滑动箱侧面设有丝杠套，所述丝杠套与设置在机架上的传动丝杠配合，所述传动丝杠与设置在机架的马达驱动连接，所述滑动箱与设置在机架上的滑轨配合，所述舟桨本体上设有开口向上的滑孔，所述滑孔内设有挡块，所述挡块底部与所述舟桨本体之间设有复位弹簧，所述复位弹簧用于将所述挡块顶部顶出舟桨，所述挡块朝向舟桨本体头部一侧为斜面，所述斜面延伸至滑孔内，所述挡块朝向舟桨尾部一侧为竖直面。2.根据权利要求1所述的一种硅片气相沉积用舟桨设备，其特征是，所述舟桨本体与推送杆通过连接块连接，所述舟桨本体与连接块连接处铰接有挡板，所述连接块上设有水平的调整螺栓，所述调整螺栓端部与挡板尾部贴合。3.根据权利要求1所述的一种硅片气相沉积用舟桨设备，其特征是，所述挡块侧面设有滑爪，所述滑爪与设置在舟桨本体上的滑槽配合。4.根据权利要求1所述的一种硅片气相沉积用舟桨设备，其特征是，所述滑动箱上设有上下两块夹板，所述滑动箱侧面设有微调螺栓，所述微调螺栓顶住所述夹板。5.根据权利要求1所述的一种硅片气相沉积用舟桨设备，其特征是，所述舟桨本体头部为锥面。
【专利摘要】本实用新型涉及一种硅片气相沉积用舟桨设备，包括舟桨本体、与舟桨本体连接的推送杆，推送杆连接在滑动箱上，滑动箱侧面设有丝杠套，丝杠套与设置在机架上的传动丝杠配合，传动丝杠与设置在机架的马达驱动连接，滑动箱与设置在机架上的滑轨配合，舟桨本体上设有开口向上的滑孔，滑孔内设有挡块，挡块底部与舟桨本体之间设有复位弹簧，复位弹簧用于将挡块顶部顶出舟桨，挡块朝向舟桨本体头部一侧为斜面，斜面延伸至滑孔内，挡块朝向舟桨尾部一侧为竖直面。本实用新型利用伸缩的挡块以及挡块前面的斜面，在石墨舟放错位置时，挡块在斜面受力挤压下缩回，防止撞伤电极及石墨舟；通过传动丝杠驱动舟桨本体运动，传动平稳。
【IPC分类】C23C16/458
【公开号】CN204825048
【申请号】CN201520549334
【发明人】王世贤, 隆霹显, 陈志运, 王文良, 张华 , 梅超, 杜教峰
【申请人】张家港国龙光伏科技有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年7月28日