一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线，具体涉及一种连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线的真空腔室侧壁上安装的冷却装置。
【背景技术】
[0002]连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线，工作时真空腔室内阴极等离子放电会产生大量的热幅射，为了保证温度不过高，真空腔室内都要安装冷却装置。
[0003]现有技术中，真空腔室的侧壁上安装的冷却装置是一种无氧铜板内通水的冷却装置。该现有冷却装置存在以下不足:
[0004]1、铜板冷却装置加工成本高；
[0005]2、铜板质量较大；
[0006]3、铜板的整体平面度不易保证。
【发明内容】
[0007]本实用新型目的是提供一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，以解决现有技术存在的加工成本、质量以及整体平面度的问题。
[0008]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，包括:
[0009]—主体，该主体为拉制工艺制作的铝型材，该主体内设有相互平行的沿长度方向的第一冷却水通道和第二冷却水通道；以及
[0010]一第一端板，封设于所述主体的一端，该第一端板内设通道将所述第一冷却水通道和第二冷却水通道连通。
[0011]上述方案中，所述侧冷却装置还包括一第二端板，该第二端板相对于第一端板设于所述主体的另一端，所述第二端板上各对应第一冷却水通道和第二冷却水通道设有与之相通的管接头。
[0012]上述方案中，所述主体上均匀开设有若干个沿厚度方向的腰型孔，且腰型孔位于所述第一冷却水通道和第二冷却水通道之间的位置。
[0013]上述方案中，所述主体上设有若干个沿厚度方向的销孔。
[0014]由于上述技术方案运用，本实用新型的设计原理以及效果:
[0015]1、由于本实用新型主要由一铝型材主体和第一端板组成，质轻，为检修、安装、搬运等提供了方便，进而提高了生产效率；
[0016]2、由于本实用新型主要由一铝型材主体和第一端板组成，主体是一次成型，可以有效保证表面的平整性，从而保证该装置与真空腔室的侧壁完全贴合，最大程度地起到冷却效果；
[0017]3、由于本实用新型主要由一铝型材主体和第一端板组成，铝型材较现有铜板冷却装置，更利于成本的降低。
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型实施例结构主视示意图；
[0019]图2为图1的俯视不意图；
[0020]图3为本实用新型实施例主体的断面示意图；
[0021]图4为图1的A-A示意图。
[0022]以上附图中:1、主体；11、第一冷却水通道；12、第二冷却水通道；13、腰型孔；14、销孔；2、第一端板；3、第二端板；31、管接头。
【具体实施方式】
[0023]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0024]实施例:参见图1-4所示:
[0025]—种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，参见图1、图2所示，包括主体1、第一端板2以及第二端板3。
[0026]参见图1、图2所示，所述主体I为拉制工艺制作的铝型材，该主体I内设有相互平行的沿长度方向的第一冷却水通道11和第二冷却水通道12。主体I的断面形状如图3所示，为一矩形，第一冷却水通道11和第二冷却水通道12的截面形状均为圆形。
[0027]参见图1、图2所示，第一端板2封设于所述主体I的一端，该第一端板2内设通道将所述第一冷却水通道11和第二冷却水通道12连通，第二端板3相对于第一端板2设于主体I的另一端，所述第二端板3上各对应第一冷却水通道11和第二冷却水通道12设有与之相通的管接头31，具体管接头31是螺纹接头，方便与其他设备连接。
[0028]具体，第一端板2和第二端板3与主体I间设有密封圈密封连接，第一端板2和第二端板3与主体I间具体可通过若干个螺栓连接。
[0029]参见图1、图2所示，所述主体I上均匀开设有若干个沿厚度方向的腰型孔13，且腰型孔13位于所述第一冷却水通道11和第二冷却水通道12之间的位置。腰型孔13内可设有内螺纹段，便于通过螺纹与其他零部件(如盖板)连接。
[0030]参见图1、图2所示，所述主体I上设有若干个沿厚度方向的销孔14，这样就可以在安装本实施例侧冷却装置时，通过销来定位，从而准确的安装。
[0031]本实施例使用时，是安装于真空腔室的侧壁上，在本实施例上可再覆盖安装一盖板保护，该盖板即以螺栓经腰型孔13与实施例的主体I固定连接。
[0032]本实施例制作成本低、质轻，为检修、安装、搬运等提供了方便，进而提高了生产效率；并且，因主体I是一次成型，可以有效保证表面的平整性，从而保证该装置与真空腔室的侧壁完全贴合，最大程度地起到冷却效果。
[0033]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，其特征在于:包括: 一主体(1)，该主体(I)为拉制工艺制作的铝型材，该主体(I)内设有相互平行的沿长度方向的第一冷却水通道(11)和第二冷却水通道(12);以及 一第一端板(2)，封设于所述主体(I)的一端，该第一端板(2)内设通道将所述第一冷却水通道(11)和第二冷却水通道(12)连通。2.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，其特征在于:所述侧冷却装置还包括一第二端板(3 )，该第二端板(3 )相对于第一端板(2 )设于所述主体(I)的另一端，所述第二端板(3)上各对应第一冷却水通道(11)和第二冷却水通道(12)设有与之相通的管接头(31)。3.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，其特征在于:所述主体(I)上均匀开设有若干个沿厚度方向的腰型孔(13)，且腰型孔(13)位于所述第一冷却水通道(11)和第二冷却水通道(12)之间的位置。4.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，其特征在于:所述主体(I)上设有若干个沿厚度方向的销孔(14)。
【专利摘要】一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，其特征在于：包括：一主体（1），该主体（1）为拉制工艺制作的铝型材，该主体（1）内设有相互平行的沿长度方向的第一冷却水通道（11）和第二冷却水通道（12）；以及一第一端板（2），封设于所述主体（1）的一端，该第一端板（2）内设通道将所述第一冷却水通道（11）和第二冷却水通道（12）连通。本实用新型制作成本低、质轻，为检修、安装、搬运等提供了方便，进而提高了生产效率；并且，因主体是一次成型，可以有效保证表面的平整性，从而保证该装置与真空腔室的侧壁完全贴合，最大程度地起到冷却效果。
【IPC分类】C23C14/35
【公开号】CN204849012
【申请号】CN201520509257
【发明人】郭庆, 李险峰, 臧晓良, 黄琨, 凌晨
【申请人】中建材光电装备（太仓）有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年7月15日