一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及翻转机构技术领域，特别涉及一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构。
【背景技术】
[0002]现有电弧阴极体翻转机构比较复杂，滑动杆较长，体积较大，当靶间距较小时，翻转后滑动杆与相邻电弧体相干涉，无法满足靶间距小的电弧。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，适应现实需要，提供一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，从而解决上述问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案:
[0005]—种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，包括接线柱，所述接线柱通过接线螺母固定在电弧阴极体上，所述电弧阴极体设置在密封压板上，所述密封压板的一端设有翻转板、紧定螺钉和轨道板，所述翻转板通过紧定螺钉固定在轨道板上，所述密封压板的另一端设有把手、弹簧压紧手柄、电弧阴极体固定板和O型密封圈，所述把手设置在密封压板上，所述弹簧压紧手柄设置在密封压板的最外端，所述电弧阴极体固定板的外边侧设有O型密封圈，所述翻转板上设有圆柱销和轴套，所述轴套设置在圆柱销的外表面。
[0006]以上所述的一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，其特征为所述电弧阴极体底部设有辅助阴极和靶材，所述辅助阴极设置在靶材的外边侧。
[0007]以上所述的一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，其特征为所述靶材与靶面处在同一水平面上。
[0008]本实用新型所达到的有益效果是:本装置采用圆柱销-轴套结构可使电弧阴极整体滑出，更换靶材及维修、维护时，可使靶材完全置于真空室外部，并使整体旋转90度，使靶面处于水平位置，操作方便，运动平稳，圆柱销-轴套结构简单，便于加工，体积小，适用于靶间距较小的电弧阴极体。
【附图说明】
[0009]附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
[0010]在附图中:
[0011]图1是本实用新型实施例所述一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构的结构示意图；
[0012]图2是本实用新型实施例所述一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构圆柱销和轴套的结构示意图；
[0013]图3是本实用新型实施例所述一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构靶材的结构示意图；
[0014]图示:1、接线柱；2、接线螺母；3、电弧阴极体；4、把手；5、密封压板；6、弹簧压紧手柄；7、电弧阴极体固定板；8、O型密封圈；9、辅助阴极；10、革El材；11、翻转板；12、紧定螺钉；13、轨道板；14、圆柱销；15、轴套。
【具体实施方式】
[0015]以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0016]实施例:如图1-3所示，本实用新型一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，包括接线柱1，所述接线柱I通过接线螺母2固定在电弧阴极体3上，所述电弧阴极体3设置在密封压板5上，所述密封压板5的一端设有翻转板11、紧定螺钉12和轨道板13，所述翻转板11通过紧定螺钉12固定在轨道板13上，所述密封压板5的另一端设有把手4、弹簧压紧手柄6、电弧阴极体固定板7和O型密封圈8，所述把手4设置在密封压板5上，所述弹簧压紧手柄6设置在密封压板5的最外端，所述电弧阴极体固定板7的外边侧设有O型密封圈8，所述翻转板11上设有圆柱销14和轴套15，所述轴套15设置在圆柱销14的外表面。
[0017]所述电弧阴极体3底部设有辅助阴极9和靶材10，所述辅助阴极9设置在靶材10的外边侧，所述靶材10与靶面处在同一水平面上，手动拉起弹簧压紧手柄6，弹簧压紧手柄6的定位直口脱离密封压板5定位槽后旋转90°，手握把手4向前用力，由于两个翻转板11中装有圆柱销14和轴套15，电弧阴极体3可在轨道板13上轻松、平稳滑动，当轴套15接触到轨道板13长条孔侧壁时，滑动停止，此时电弧阴极体3已经处于真空室外，手握把手4向下用力，翻转板11带动电弧阴极体3以圆柱销14为中心旋转90°，使靶材10和靶面处于水平位置，方便更换靶材10，同时电弧阴极体3处于外部较大空间内，便于对其进行维修、维护。
[0018]最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，包括接线柱(1)，其特征在于，所述接线柱(I)通过接线螺母(2)固定在电弧阴极体(3 )上，所述电弧阴极体(3 )设置在密封压板(5 )上，所述密封压板(5)的一端设有翻转板(11)、紧定螺钉(12)和轨道板(13)，所述翻转板(II)通过紧定螺钉(12)固定在轨道板(13)上，所述密封压板(5)的另一端设有把手(4)、弹簧压紧手柄(6 )、电弧阴极体固定板(7 )和O型密封圈(8 )，所述把手(4 )设置在密封压板(5)上，所述弹簧压紧手柄(6)设置在密封压板(5)的最外端，所述电弧阴极体固定板(7)的外边侧设有O型密封圈(8)，所述翻转板(11)上设有圆柱销(14)和轴套(15)，所述轴套(15)设置在圆柱销(14)的外表面。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，其特征在于，所述电弧阴极体(3)底部设有辅助阴极(9)和靶材(10)，所述辅助阴极(9)设置在靶材(10)的外边侧。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，其特征在于，所述靶材(10)与靶面处在同一水平面上。
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，包括接线柱，所述接线柱通过接线螺母固定在电弧阴极体上，所述电弧阴极体设置在密封压板上，所述密封压板的一端设有翻转板、紧定螺钉和轨道板，所述翻转板通过紧定螺钉固定在轨道板上，所述密封压板的另一端设有把手、弹簧压紧手柄、电弧阴极体固定板和O型密封圈，所述把手设置在密封压板上，所述弹簧压紧手柄设置在密封压板的最外端，所述电弧阴极体固定板的外边侧设有O型密封圈，所述翻转板上设有圆柱销和轴套，所述轴套设置在圆柱销的外表面，该真空镀膜设备电弧阴极翻转机构设计合理，体积小，且便于加工。
【IPC分类】C23C14/34
【公开号】CN204939601
【申请号】CN201520710802
【发明人】侯玉萍, 王洪权, 刘野, 马槽伟
【申请人】大连维钛克科技股份有限公司
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2015年9月15日