一种新型真空镀膜设备的视窗装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空镀膜设备视窗，尤其涉及一种新型真空镀膜设备的视窗装置。
【背景技术】
[0002]视窗装置主要负责真空镀膜设备中观察真空腔体内大转盘，卫星盘、夹具以及装在夹具上的工件在不同工艺过程中的状态，对镀膜设备的正常运行，发现工艺的异常情况等起着非常关键的作用。
[0003]传统的视窗装置采用真空密封玻璃较厚(12mm)，视窗前面(朝真空腔体一侧)装有不锈钢挡板，该挡板平时关闭，要观察时，手动打开挡板即可进行观察。视窗口周围以及真空腔体的门上都装有冷却水管，冷却水的循环保证视窗口周围以及真空腔体的密封配件不会因加热而变形或受损。工艺过程中，视窗挡板虽然多数情况下关闭，但是钛和碳的涂层还是会很快在玻璃上不断累积而使得玻璃变得模糊不清，一段时间后就得更换真空密封玻璃。该密封玻璃生产成本较高，而且要定制。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种新型真空镀膜设备的视窗装置。
[0005]本实用新型的上述目的是通过以下的技术方案来实现:一种新型真空镀膜设备的视窗装置，其特征在于:包括视窗腔体，视窗腔体上设有冷却水管，所述视窗腔体外侧端设有玻璃安装框架，玻璃安装框架安装有真空密封玻璃，所述真空密封玻璃内侧粘贴有一块普通玻璃。
[0006]所述普通玻璃的厚度为3?5_。
[0007]所述普通玻璃的直径小于真空密封玻璃直径I?3mm。
[0008]使用时，本实用新型的视窗装置安装在真空镀膜设备机架上部的真空腔体的密封门上。
[0009]本实用新型在原有的真空密封玻璃上朝真空室内侧使用粘贴有一块厚度为3?5mm的普通玻璃，直径略小于真空密封玻璃，使得工艺过程中钛和碳的涂层先沉积到普通玻璃上，再按时更换普通玻璃即可达到保护密封玻璃的效果，从而延长密封玻璃的使用寿命。
[0010]本实用新型与现有技术相比的优点是:本实用新型的视窗装置配置灵活，工作性能稳定，较大幅度提高了真空密封玻璃的使用寿命。
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型的结构示意图。
[0012]图2是图1中A-A处的剖面图。
[0013]图3是图1中B-B处的剖面图。
[0014]图4是本实用新型应用于真空镀膜设备的结构示意图。
[0015]图5是本实用新型安装在真空镀膜设备真空腔体门上的正面结构示意图。
[0016]图6是本实用新型安装在真空镀膜设备真空腔体门上的立体结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本实用新型进一步详述。
[0018]如图1至图6所示，一种新型真空镀膜设备的视窗装置，包括视窗腔体I，视窗腔体I上设有冷却水管2，所述视窗腔体I外侧端设有玻璃安装框架3，玻璃安装框架3安装有真空密封玻璃4，所述真空密封玻璃4内侧粘贴有一块普通玻璃5。
[0019]所述普通玻璃5的厚度为3?5mm。
[0020]所述普通玻璃5直径小于真空密封玻璃4直径I?3mm。
[0021]使用时，本实用新型的视窗装置安装在真空镀膜设备机架6上部的真空腔体7的密封门8上。
[0022]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种新型真空镀膜设备的视窗装置，其特征在于:包括视窗腔体，视窗腔体上设有冷却水管，所述视窗腔体外侧端设有玻璃安装框架，玻璃安装框架安装有真空密封玻璃，所述真空密封玻璃内侧粘贴有一块普通玻璃。2.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜设备的视窗装置，其特征在于:所述普通玻璃的厚度为3?5mm。3.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜设备的视窗装置，其特征在于:所述普通玻璃的直径小于真空密封玻璃直径I?3_。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型真空镀膜设备的视窗装置，包括视窗腔体，视窗腔体上设有冷却水管，所述视窗腔体外侧端设有玻璃安装框架，玻璃安装框架安装有真空密封玻璃，所述真空密封玻璃内侧粘贴有一块普通玻璃。所述普通玻璃的厚度为3～5mm。所述普通玻璃的直径小于真空密封玻璃直径1～3mm。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型的视窗装置配置灵活，工作性能稳定，较大幅度提高了真空密封玻璃的使用寿命。
【IPC分类】C23C14/52
【公开号】CN205347567
【申请号】CN201620109077
【发明人】黄裕祥
【申请人】广东耐信镀膜科技有限公司
【公开日】2016年6月29日
【申请日】2016年2月3日