一种用于oled的蒸镀坩埚的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及显示器技术领域，尤其涉及一种OLED的蒸镀坩埚。本实用新型提供了一种用于OLED的蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体构成一个上端开口的中空腔体，所述坩埚本体的外壁面上设有第一加热机构，所述中空腔体内设有至少一个第二加热机构；在蒸镀过程通过两个加热机构对坩埚内的有机材料进行加热蒸镀，可使坩埚内各部分材料之间的温度趋于一致，解决了现有技术中因坩埚内各个区域内温度不均一而导致的有机材料局部过热而产生的劣化，可确保OLED器件的性能；同时由于采用两个加热机构，对有机材料的加热能力更强、对于有机材料的加热效果更好，可以解决蒸镀过程中随着材料的消耗而使得镀膜厚度不均的问题。
【专利说明】
一种用于OLED的蒸镀坩埚
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及显示器技术领域，尤其涉及一种OLED的蒸镀坩祸。
【背景技术】
[0002]近年来，由于有机电致发光器件(Organic Light Emitting Device，0LED)具有高效率、高亮度、功耗低、对比度高、响应速度快以及能实现大面积光电显示等优点，在平板显示和高效照明领域具有极大的应用前景而引起广泛关注。
[0003]OLED蒸镀使用的蒸发源装置分为两种，一种是线性蒸发源，另一种是点蒸发源，使用的有机材料2也分为两大类，熔融型和升华型。传统的蒸发源装置如图1所示，加热装置只对坩祸本体I’外壁加热，由于有机材料2的导热性能较差，导致在加热过程中坩祸中心区域的材料温度与靠近坩祸内壁处的材料温度不均一，存在一定得温度梯度，使得外围的材料局部过热而产生劣化;对于升华型材料来说会产生图2至图3变化的效果，即边缘的材料先蒸镀而中心的材料还未蒸镀，这样会导致蒸镀速率不稳定，而要稳定蒸镀速率就必须不断提升加热温度，最后导致材料劣化，进而影响OLED器件的性能。另外，由于有机材料2的导热性不佳，所以无法使用口径大高度低的坩祸，只能选用窄长型坩祸，这样会导致蒸镀膜厚不均一。
【实用新型内容】
[0004](一)要解决的技术问题
[0005]本实用新型要解决的技术问题是:现有的蒸镀坩祸在蒸镀过程中，中心区域有机材料的温度与靠近坩祸内壁处有机材料的温度不均一，容易出现外围有机材料局部过热而产生劣化，并且由于有机材料的导热性不佳，所以无法使用口径大、高度低的坩祸，只能选用窄长型坩祸，这样会导致蒸镀膜厚不均一。
[0006](二)技术方案
[0007]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于OLED的蒸镀坩祸，包括坩祸本体，所述坩祸本体构成一个上端开口的中空腔体，所述坩祸本体的外壁面上设有第一加热机构，所述中空腔体内设有至少一个第二加热机构。
[0008]可选地，所述第一加热机构为绕设在坩祸本体外表面的电加热丝，所述坩祸本体的外表面上还设有第一温度传感器。
[0009]可选地，所述第二加热机构包括加热棒和管状的筒体，所述筒体的一端密封，形成一个一端开口的容纳腔，所述加热棒设于所述容纳腔内，所述筒体的开口端与所述坩祸本体的底壁相连，所述坩祸本体的底壁与所述筒体连接处开设有与所述容纳腔连通的通孔。
[0010]可选地，所述容纳腔内还设有第二温度传感器。
[0011]可选地，所述筒体与所述坩祸本体一体成型。
[0012]可选地，所述第二加热机构设有一个，且所述第二加热机构设于所述中空腔体的中部。
[0013]可选地，所述第二加热机构设有多个，其中一个第二加热机构设于所述中空腔体的中部。
[0014]可选地，所述中空腔体内还设有至少一个导热件，所述导热件将所述中空腔体分成多个容料区域。
[0015]可选地，每一个所述容料区域内均设有一个第二加热机构。
[0016]可选地，所述导热件为矩形的导热板，所述导热板的一端与所述筒体的外壁相连，另一端与所述坩祸本体的侧壁相连。
[0017]可选地，所述导热板设有多个，相邻两个导热板之间的夹角相等。
[0018]可选地，所述导热板为波纹板。
[0019]可选地，所述导热件为与所述筒体同轴的筒状的导热壁，所述导热壁的下端与所述坩祸本体的底壁相连。
[0020]可选地，所述导热件的导热系数大于或等于所述坩祸本体的导热系数。
[0021]可选地，所述坩祸本体为圆柱体结构或者立方体结构。
[0022](三)有益效果
[0023]本实用新型的上述技术方案具有如下优点:本实用新型提供了一种用于OLED的蒸镀坩祸，包括坩祸本体，所述坩祸本体构成一个上端开口的中空腔体，所述坩祸本体的外壁面上设有第一加热机构，所述中空腔体内设有至少一个第二加热机构;所述坩祸本体的外壁面上设有第一加热机构，在中空腔体内设置第二加热机构，在蒸镀过程通过两个加热机构对坩祸内的有机材料进行加热蒸镀，可使坩祸内各部分材料之间的温度趋于一致，解决了现有技术中因坩祸内各个区域内温度不均一而导致的有机材料局部过热而产生的劣化，可确保OLED器件的性能；同时由于采用两个加热机构，对有机材料的加热能力更强、对于有机材料的加热效果更好，因此可以采用大口径且高度较低的的坩祸本体，这样既可以满足蒸镀的要求，又可以解决蒸镀过程中随着材料的消耗而使得镀膜厚度不均的问题。
【附图说明】
[0024]本实用新型上述和/或附加方面的优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:
[0025]图1现有技术中蒸镀坩祸的结构示意图；
[0026]图2是现有技术中的蒸镀坩祸未加热时的结构示意图；
[0027]图3是现有技术中的蒸镀坩祸加热一段时间后的结构示意图；
[0028]图4是本申请实施例一所述的用于OLED的蒸镀坩祸的结构示意图；
[0029]图5是图4的仰视图；
[0030]图6是本实用新型实施例二所述的用于OLED的蒸镀坩祸的结构示意图；
[0031]图7是图6的俯视图；
[0032]图8是本实用新型实施例三所述的导热件为导热板的结构示意图；
[0033]图9是图8的俯视图；
[0034]图10是本实用新型实施例三中导热板为波纹板的用于OLED的蒸镀坩祸的结构示意图；
[0035]图11是导热件为筒状导热壁的用于OLED的蒸镀坩祸的结构示意图；
[0036]图12是图11的俯视图；
[0037]图13是实施例四所述的用于OLED的蒸镀坩祸的结构示意图；
[0038]图14是图13的俯视图；
[0039]图15是实施例四中导热板为波纹板的用于OLED的蒸镀坩祸的结构示意图；
[0040]图16是电加热丝的结构示意图；
[0041]图17是加热棒的结构示意图。
[0042]其中图1至图17中附图标记与部件名称之间的对应关系为:
[0043]I’、坩祸本体，2、有机材料，1、坩祸本体，11、中空腔体，12、电加热丝，13、通孔，14、第二加热机构，141、筒体，142、加热棒、143、第二温度传感器，15、导热件，151、导热板，1511、波纹板，152、导热壁，16、容料区域。
【具体实施方式】
[0044]在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、” “内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0045]在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接;可以是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0046]为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0047]如图4所示，本实用新型提供了一种用于OLED的蒸镀坩祸，包括坩祸本体1，所述坩祸本体I构成一个上端开口的中空腔体11，所述坩祸本体I的外壁面上设有第一加热机构，所述中空腔体11内设有至少一个第二加热机构14。本实用新型提供的蒸镀坩祸，在所述坩祸本体I的外壁面上设有第一加热机构，在中空腔体11内设置第二加热机构14，在蒸镀过程通过两个加热机构对坩祸内的有机材料进行加热蒸镀，可使坩祸内各部分材料之间的温度趋于一致，解决了现有技术中因坩祸内各个区域内温度不均一而导致的有机材料局部过热而产生的劣化，可确保OLED器件的性能；同时由于采用两个加热机构，对有机材料的加热能力更强、对于有机材料的加热效果更好，因此可以采用大口径且高度较低的的坩祸本体I，这样既可以满足蒸镀的要求，又可以解决蒸镀过程中随着材料的消耗而使得镀膜厚度不均的问题。
[0048]实施例一
[0049]如图4和图5所示，本实施例提供了一种用于OLED的蒸镀坩祸包括坩祸本体I，所述坩祸本体I构成一个上端开口的中空腔体11，所述坩祸本体I的外壁面上设有第一加热机构，所述中空腔体11内设有一个第二加热机构14，在蒸镀过程通过两个加热机构对坩祸内的有机材料进行加热蒸镀，可使坩祸内各部分材料之间的温度趋于一致，解决了现有技术中因坩祸内各个区域内温度不均一而导致的有机材料局部过热产生的劣化，可确保OLED器件的性能；同时由于采用两个加热机构，对有机材料的加热能力更强、对于有机材料的加热效果更好，因此可以采用大口径且高度较低的的坩祸本体I，这样既可以满足蒸镀的要求，又可以解决蒸镀过程中随着材料的消耗而使得镀膜厚度不均的问题。
[0050]可选地，所述第一加热机构为设于坩祸本体I外壁面上的电加热丝12(如图16所示)，蒸镀过程中通过电加热丝12通电对中空腔体11内的有机材料进行加热，同时在所述坩祸本体I的外壁面上还设有第一温度传感器(图中未示出)，用于实时检测坩祸本体I的温度;所述第二加热机构14包括加热棒142(如图17所示)和管状的筒体141，所述筒体141的一端密封，形成一个一端开口的容纳腔，所述加热棒142设于所述容纳腔内，所述筒体141的开口端与所述坩祸本体I的底壁相连，所述坩祸本体I的底壁与所述筒体141连接处开设有与所述容纳腔连通的通孔13，加热棒142通过所述通孔13放入所述容纳腔内，同时与加热棒142相连的导线通过所述通孔13与外界的电源连通，以使得加热棒142能够通电产生热量，优选地，所述筒体141与所述坩祸本体I一体成型，即所述筒体141为所述坩祸本体I的底壁向上突起的一段筒状结构，且所述筒状结构上端密封，下端开口，这样的蒸镀坩祸制造容易，可以避免后续的装配工作；当然也可以是筒体141与坩祸本体I是分体式结构，此时需要将加热棒142安装在容纳腔内后，再将统一固定在坩祸本体I的底壁上。
[0051 ]所述第二加热机构14固定在所述中空腔体11的中部，这样能够保证第二加热机构14到坩祸本体I各个方向的内壁之间的距离相等，向各个方向传递的热量相同，能够确保坩祸本体I内各个区域内温度的均一性，如图4所示，所述坩祸本体I为圆柱体结构，所述筒体141与所述坩祸本体I同轴设置，当然所述坩祸本体I的具体形状也可以为其他形状，如长方体结构或者立方体结构；
[0052]所述容纳腔内还设有第二温度传感器143(如图17所示)，通过第二温度传感器143来检测筒体141的温度;可选地，所述第二温度传感器143设于所述筒体141的内壁上或者设于所述加热棒142上;在使用时可以是第一加热机构与第二加热机构14同时对容纳腔内的有机物料进行加热;也可以是一开始仅通过第一加热机构对有机材料进行加热(此时第一加热机构作为主要加热源)，并通过第一温度传感器测量坩祸本体I侧壁的温度Tl，而加热棒142通过坩祸本体I底部的通孔13放入容纳腔内，此时筒体141或者加热棒142上的第二温度传感器143来检测筒体141的温度T2，当温度Tl >T2时，对加热棒142通电，使第二加热机构14开始对中空腔体11内的有机材料进行加热(此时第二加热机构14为辅助热源)，使得坩祸内各个区域内的材料的温度趋于一致。
[0053]实施例二
[0054]本实施例与实施例一中的内容大体相同，其主要区别在于本实施例中在所述中空腔体11内设有多个第二加热机构14;如图6和图7所示，所述坩祸本体I内设有多个第二加热机构14，其中一个第二加热机构14设于固定在所述的中部，其他多个第二加热机构14在所述中空腔体11内均匀分布;这样可以进一步第保证坩祸本体I内各个区域内的有机材料的温度保持一致，同时设置多个第二加热机构14，对有机材料的加热能力更强、对于有机材料的加热效果更好，因此可以采用大口径且高度较低的的坩祸本体I，这样既可以满足蒸镀的要求，又可以解决蒸镀过程中随着材料的消耗而使得镀膜厚度不均的问题。如图6所示，所述坩祸本体I为圆柱体结构，所述筒体141与所述坩祸本体I同轴设置，当然所述坩祸本体I的具体形状也可以为其他形状，如长方体结构或者立方体结构。
[0055]可选地，所述第一加热机构为设于坩祸本体I外壁面上的电加热丝12，蒸镀过程中通过电加热丝12通电对中空腔体11内的有机材料进行加热，同时在所述坩祸本体I的外壁面上还设有第一温度传感器，用来实时检测坩祸本体I的温度;所述第二加热机构14包括加热棒142和管状的筒体141，所述筒体141的一端密封，形成一个一端开口的容纳腔，所述加热棒142设于所述容纳腔内，所述筒体141的开口端与所述坩祸本体I的底壁相连，所述坩祸本体I的底壁与所述筒体141连接处开设有与所述容纳腔连通的通孔13，加热棒142通过所述通孔13放入所述容纳腔内，同时与加热棒142相连的导线通过所述通孔13与外界的电源连通，以使得加热棒142能够通电产生热量，优选地，所述筒体141与所述坩祸本体I一体成型，即所述筒体141为所述坩祸本体I的底壁向上突起的一段筒状结构，且所述筒状结构上端密封，下端开口，这样的蒸镀坩祸制造容易，可以避免后续的装配工作；当然也可以是筒体141与坩祸本体I是分体式结构，此时需要将加热棒142安装在容纳腔内后，再将统一固定在坩祸本体I的底壁上。
[0056]其中，在设于中部的第二加热机构14内的容纳腔里还设有第二温度传感器143，当然也可以是每一个第二加热机构14均设有一个第二温度传感器143，通过第二温度传感器143来检测筒体141的温度，可选地所述第二温度传感器143设于所述筒体141的内壁上或者设于所述加热棒142上;在使用时可以是第一加热机构与第二加热机构14同时对容纳腔内的有机物料进行加热；也可以是一开始仅仅是通过地加热机构对有机材料进行加热(此时第一加热机构作为主要加热源)，并通过第一温度传感器测量坩祸外围靠近坩祸本体I侧壁的温度Tl，此时位于中空腔体11中部的第二加热机构14的筒体141或者加热棒142上的第二温度传感器143来检测筒体141的温度T2，当温度Tl >T2时，对加热棒142通电，使第二加热机构14开始对中空腔体11内的有机材料进行加热(此时第二加热机构14为辅助热源)，使得坩祸内各个区域内的材料的温度趋于一致。
[0057]实施例三
[0058]如图8至图12所示，本实施例与实施例一中的技术方案大体相同，其主要区别在于，在本实施例中在所述中空腔体11内设有至少一个导热件15，所述导热件15将所述中空腔体11分隔成多个容料区域16，将有机材料放入坩祸内时，有机材料将位于多个容料区域16内，在通过第一加热机构和第二加热机构14对有机材料进行加热时，热量会通过坩祸本体I的内壁以及筒体141的内壁传导给导热件15，坩祸将分区域对有机材料进行加热，这样有机材料能够快速预热，同时热量的分布也更均匀，可以提高坩祸内有机材料受热的均匀性，提高OLED显示器件的显示效果。
[0059]可选地，如图8至图10所示，所述导热器件设有多个导热器件，其所述导热器件为矩形的导热板151，所述矩形导热板151的一端与坩祸本体I的内壁连接，另一端与所述筒体141的外侧壁连接将所述中空腔体11分成多个容料区域16，其中导热板151的下端与所述坩祸本体I的底壁相连，当然导热板151的下端也可以是悬空设置的，均能够实现快速预热有机材料，使坩祸本体I内的有机材料的热量分布均匀的目的;优选地，多个所述导热板151设之间的夹角相等，如图8至图1O所示，所述导热板151设有六个，六个所述导热板151两两之间的夹角为60°，将所述中空腔体11均分成六个容料区域16，当然，所述导热板151并不仅仅局限于六个，也可以三个、四个或者五个等均可以实现本申请的目的；需要说明的是，多个导热板151也可以是不规则的设置在所述中空腔体11内，即多个所述导热板151的将中空腔体11分出多个体积不等的容料区域16，同样可以实现本申请的的目的。
[0060]可选地，如图10所示，所述导热板151为波纹板1511，波纹板1511能够增加与有机材料之间的换热面积，对于有机材料的预热更快，加热速率更高。
[0061]当然，所述导热件15还可以为其他结构，如图11和图12所示，所述导热件15为设于所述中空腔体11内与所述筒体141同轴的筒状的导热壁152，所述导热壁152的下端与所述坩祸本体I的底壁相连，通过筒状的导热壁152将所述中空腔体11分成多个环形的容料区域16，同样能够实现快速预热有机材料，是坩祸本体I内的有机材料的热量分布均匀的目的，其宗旨未脱离本实用新型的设计思想，应属于本申请的保护范围。
[0062]可选地，所述导热件15的导热系数大于或等于所述坩祸本体I的导热系数，较高的导热系数更加有利于热传导，可提高坩祸本体I内有机材料受热的均匀性;优选地，所述导热件15与所述坩祸本体I一体成型；当然所述导热件15也可以与所述坩祸本体I呈分体式结构，然后通过焊接等方式固定在所述坩祸本体I的中空腔体11内。
[0063]实施例四
[0064]本实施例与实施例二中的技术方案大体相同，其主要区别在于在设有多个第二加热机构14的中空腔体11内还至少设有一个导热件15，如图13至图15所示，所述中空腔体11内设有多个导热件15，所述导热件15将所述中空腔体11分隔成多个容料区域16，将有机材料放入坩祸内时，有机材料将位于多个容料区域16内，在通过第一加热机构和第二加热机构14对有机材料进行加热时，热量会通过坩祸本体I的内壁以及筒体141的内壁传导给导热件15，坩祸将分区域对有机材料进行加热，这样有机材料能够快速预热，同时热量的分布也更均勾，可以提尚樹祸内有机材料受热的均勾性，提尚OLED显不器件的显不效果。
[0065]可选地，如图13至图15所示，所述导热件15设有多个，多个所述导热件15将所述中空腔体11分成多个容料区域16，并且在每一个所述容料区域16内均设有一个第二加热机构14，同时在中空腔体11的中部还设有一个第二加热机构14;通过设置多个导热件15、以及多个第二加热机构14能够进一步增强对于有机材料加热的速率，可确保坩祸本体I内各个区域内的有机材料的温度趋于一致。
[0066]优选地，其所述导热件15为矩形的导热板151，所述矩形导热板151的一端与坩祸本体I的内壁连接，另一端与所述筒体141的外侧壁连接，将所述中空腔体11分成多个容料区域16，其中导热板151的下端与所述坩祸本体I的底壁相连，当然导热板151的下端也可以是悬空设置的，均能够实现快速预热有机材料，使坩祸本体I内的有机材料的热量分布均匀的目的；优选地，多个所述导热板151设之间的夹角相等，如图13至图15所示，所述导热板151设有六个，六个所述导热板151两两之间的夹角为60°，将所述中空腔体11均分成六个容料区域16，同时所述第二加热机构14设有七个，在每一个容料区域16内均设有一个第二加热机构14;当然，所述导热板151并不仅仅局限于六个，也可以三个、四个或者五个，均可以实现本申请的目的；需要说明的是，多个导热板151也可以是不规则的设置在所述中空腔体11内，即多个所述导热板151的将中空腔体11分出多个体积不等的容料区域16，同样可以实现本申请的的目的。
[0067]可选地，如图15所示，所述导热板151为波纹板1511，波纹板1511能够增加与有机材料之间的换热面积，对于有机材料的预热更快，加热速率更高。
[0068]当然，所述导热件15还可以为其他结构，如所述导热件15为设于所述中空腔体11内与所述筒体141同轴的筒状的导热壁152，所述导热壁152的下端与所述坩祸本体I的底壁相连，通过筒状的导热壁152将所述中空腔体11分成多个环形的容料区域16，同样能够实现快速预热有机材料，是坩祸本体I内的有机材料的热量分布均匀的目的，其宗旨未脱离本实用新型的设计思想，应属于本申请的保护范围。
[0069]可选地，所述导热件15的导热系数大于或等于所述坩祸本体I的导热系数，较高的导热系数更加有利于热传导，可提高坩祸本体I内有机材料受热的均匀性;优选地，所述导热件15与所述坩祸本体I一体成型；当然所述导热件15也可以与所述坩祸本体I陈分体式结构，然后通过焊接等方式固定在所述坩祸本体I的中空腔体11内。
[0070]综上所述，本实用新型提供了一种用于OLED的蒸镀坩祸，包括坩祸本体，所述坩祸本体构成一个上端开口的中空腔体，所述坩祸本体的外壁面上设有第一加热机构，所述中空腔体内设有至少一个第二加热机构;所述坩祸本体的外壁面上设有第一加热机构，在中空腔体内设置第二加热机构，在蒸镀过程通过两个加热机构对坩祸内的有机材料进行加热蒸镀，可使坩祸内各部分材料之间的温度趋于一致，解决了现有技术中因坩祸内各个区域内温度不均一而导致的有机材料局部过热而产生的劣化，可确保OLED器件的性能；同时由于采用两个加热机构，对有机材料的加热能力更强、对于有机材料的加热效果更好，因此可以采用大口径且高度较低的的坩祸本体，这样既可以满足蒸镀的要求，又可以解决蒸镀过程中随着材料的消耗而使得镀膜厚度不均的问题。
[0071]最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
【主权项】
1.一种用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:包括坩祸本体，所述坩祸本体构成一个上端开口的中空腔体，所述坩祸本体的外壁面上设有第一加热机构，所述中空腔体内设有至少一个第二加热机构。2.根据权利要求1所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述第一加热机构为绕设在坩祸本体外表面的电加热丝，所述坩祸本体的外表面上还设有第一温度传感器。3.根据权利要求2所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述第二加热机构包括加热棒和管状的筒体，所述筒体的一端密封，形成一个一端开口的容纳腔，所述加热棒设于所述容纳腔内，所述筒体的开口端与所述坩祸本体的底壁相连，所述坩祸本体的底壁与所述筒体连接处开设有与所述容纳腔连通的通孔。4.根据权利要求3所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述容纳腔内还设有第二温度传感器。5.根据权利要求3所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述筒体与所述坩祸本体一体成型。6.根据权利要求3-5任一项所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述第二加热机构设有一个，且所述第二加热机构设于所述中空腔体的中部。7.根据权利要求3-5任一项所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述第二加热机构设有多个，其中一个第二加热机构设于所述中空腔体的中部。8.根据权利要求6所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述中空腔体内还设有至少一个导热件，所述导热件将所述中空腔体分成多个容料区域。9.根据权利要求7所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述中空腔体内还设有至少一个导热件，所述导热件将所述中空腔体分成多个容料区域。10.根据权利要求9所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:每一个所述容料区域内均设有一个第二加热机构。11.根据权利要求8或9所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述导热件为矩形的导热板，所述导热板的一端与所述筒体的外壁相连，另一端与所述坩祸本体的侧壁相连。12.根据权利要求11所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述导热板设有多个，相邻两个导热板之间的夹角相等。13.根据权利要求11所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述导热板为波纹板。14.根据权利要求8或9所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述导热件为与所述筒体同轴的筒状的导热壁，所述导热壁的下端与所述坩祸本体的底壁相连。15.根据权利要求8或9所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述导热件的导热系数大于或等于所述坩祸本体的导热系数。16.根据权利要求1所述的用于OLED的蒸镀坩祸，其特征在于:所述坩祸本体为圆柱体结构或者立方体结构。
【文档编号】C23C14/26GK205473956SQ201620007287
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年1月4日
【发明人】文官印, 赖韦霖
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司