支撑针调整装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种支撑针调整装置，涉及真空蒸镀技术领域，以精确地调整支撑针的高度，降低玻璃基板在镀膜过程中发生偏移甚至破碎的可能性。所述底座，其一侧设有缺口部，所述缺口部用于在对支撑针进行调整时容纳支撑针；两个高度测量柱，其分别竖直设置于所述缺口部两侧；以及信号发射器和信号接收器，所述信号发射器设置在两个所述高度测量柱中的一个高度测量柱上，所述信号接收器设置于另一高度测量柱上，所述信号发射器和所述信号接收器各自距所述底座上表面的距离相等，且二者正对设置。本实用新型提供的支撑针调整装置用于真空蒸镀设备中的支撑针的调整。
【专利说明】
支撑针调整装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，尤其涉及一种支撑针调整装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜设备，如物理气相沉积(Physical Vapor Deposit1n，简称PVD)设备，内部通常设置有用于支撑玻璃基板的支撑针升降机构，该支撑针升降机构包括多个可升降的支撑针，各支撑针的上端面支撑玻璃基板。
[0003]如图1所示，一般地，支撑针10竖直设置在支撑平台20的突出部上。支撑针10由下至上依次由支撑杆11、螺杆12及顶针13组成，其中，顶针13大致呈长方体形状，顶针13的上端面上的外侧设有限位部，在以顶针13的上端面支撑玻璃基板时，该限位部从外侧卡住玻璃基板，以限制玻璃基板在水平方向上的位置。通常可通过调节螺杆12来调节顶针13与支撑杆11之间的间距，实现对支撑针10的高度的调节。
[0004]在利用真空镀膜设备对玻璃基板进行镀膜时，若玻璃基板无法保持水平，则可能发生偏移甚至破碎，因此在进行镀膜前需对支撑针10的高度进行调整，以使各支撑针10的顶针13的上端面位于同一水平面内。对此，在现有技术中存在如下支撑针10的调整方法:通过刻度尺来测量支撑针10的高度，并根据测量结果调节各支撑针10，使各支撑针10的高度相同，从而使得各支撑针10的顶针13的上端面保持在同一水平面。
[0005]然而，肉眼观察直尺的刻度所得到的结果不够精确，这造成支撑针的高度测量不精确。因此，现有技术中存在如下技术问题:无法精确地对支撑针的高度进行调整，导致在镀膜过程中，玻璃基板因无法保持水平而发生偏移甚至破碎的可能性较高。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的在于提供一种支撑针调整装置，以精确地调整支撑针的高度，降低玻璃基板在镀膜过程中发生偏移甚至破碎的可能性。
[0007]为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:
[0008]本实用新型提供了一种支撑针调整装置，包括:底座，其一侧设有缺口部，所述缺口部用于在对支撑针进行调整时容纳支撑针;两个高度测量柱，其分别竖直设置于所述缺口部两侧；以及信号发射器和信号接收器，所述信号发射器设置于两个所述高度测量柱中的一个高度测量柱上，所述信号接收器设置于另一高度测量柱上，所述信号发射器和所述信号接收器各自距所述底座上表面的距离相等，且二者正对设置。
[0009]作为上述技术方案的一个优化方案，所述支撑针调整装置还包括设置在所述底座上的垫片，所述垫片上设有定位槽，所述定位槽位于所述底座的缺口部的上方，且所述定位槽的开口方向与所述缺口部的开口方向一致，所述定位槽用于在对支撑针进行调整时卡住支撑针。
[0010]为了对支撑针的顶针的角度进行调整，作为上述各技术方案的改进方案，所述信号发射器在水平方向上的宽度大于支撑针的顶针的外侧面在水平方向上的宽度;其中，在支撑针支撑玻璃基板时，该支撑针的顶针的外侧面在玻璃基板下表面所在平面上的正投影位于玻璃基板下表面之外。
[0011]对于上述任一项技术方案而言，所述高度测量柱的高度可调，且所述高度测量柱上设有用于计量所述高度测量柱的高度的刻度。
[0012]具体地，所述高度测量柱包括:底端固定在所述垫片上的中轴，其外壁上沿自身轴向设有导轨;套装在所述中轴外的外筒，其内壁上设有与所述导轨对应的导向槽，所述外筒的外壁上设置有沿自身轴向分布的固定刻度，所述信号发射器与所述信号接收器分别设置在对应的所述外筒的顶端；以及设置在所述中轴的底端的高度转轮，其套装在所述外筒外且与所述外筒螺纹连接，所述高度转轮的顶端侧的外壁上设有沿圆周分布的可动刻度，所述高度转轮相对于所述外筒每旋转一周，所述外筒沿自身轴向前进或后退一个固定刻度。
[0013]另外，对于上述任一项技术方案而言，所述支撑针调整装置还包括设置于所述底座上、用于调整所述垫片在所述底座上的位置的垫片位置调整机构，所述垫片位置调整机构包括:
[0014]分别位于所述底座的缺口部两侧且互相平行的两个丝杠，所述垫片的两端分别固定在两个所述丝杠上;各所述丝杠在远离所述缺口部的一端套装有第一齿轮，所述丝杠与套装在该丝杠上的所述第一齿轮螺纹连接;传动轴，其与各所述丝杠垂直;所述传动轴上对应各所述丝杠上的第一齿轮的位置分别套装有第二齿轮；以及水平转轮，其固定在所述传动轴的一端。其中，每个所述第一齿轮与对应的第二齿轮垂直啮合。
[0015]并且，所述底座的一侧设有水平刻度，所述水平刻度用于测定所述丝杠在其轴向移动的距离。
[0016]此外，对于上述任一项技术方案而言，所述底座下方的所述缺口部的两侧分别设有卡座，所述卡座用于在调整支撑针时固定所述底座的位置。
[0017]具体地，所述卡座包括:固定于所述底座上的L型固定板；以及与所述L型固定板的一端固定连接的卡合部，其为拱形板，该拱形板的拱顶比拱足更接近所述底座，且拱顶与所述底座的下表面之间存在间隙，其中，所述卡座与所述底座构成卡槽结构，所述卡槽结构的开口方向与所述缺口部的开口方向一致。
[0018]对于上述任一项技术方案而言，所述信号发射器为面状光源，所述信号接收器为光电传感器。
[0019]在应用本实用新型进行支撑针调整时，将底座放置在安装支撑针的支撑平台上，使支撑针位于底座的缺口部内且位于两个高度测量柱之间。通过螺杆对支撑针的高度(即顶针与支撑杆之间的距离)进行调整，直至信号接收器恰好完整地接收到由信号发射器发射的信号(即顶针遮挡信号发射器发射的信号的临界点)，即可确定支撑针的高度等于信号发射器或信号接收器的高度，从而完成对支撑针的高度的调整。由于上述过程中通过传感器的信号是否被遮挡判断支撑针的高度是否符合要求，因此，与现有技术中通过肉眼观察直尺的测量结果判断支撑针的高度是否符合要求相比，本实用新型能够更精确地调整支撑针的高度，进而降低玻璃基板在镀膜过程中发生偏移甚至破碎的可能性。
【附图说明】
[0020]此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0021]图1为支撑针安装在支撑平台上的示意图。
[0022]图2为本实用新型实施例中支撑针调整装置的立体图。
[0023]图3为示出图2中高度测量柱200的具体结构的立体图。
[0024]图4为示出图2中卡座500的具体结构的立体图。
[0025]图5为使用本实用新型实施例提供的支撑针调整装置进行支撑针调整时的示意图。
[0026]附图标记:
[0027]1-底座，10-支撑针，11-支撑杆，12-螺杆，13_顶针，20-支撑平台，100-缺口部，200-高度测量柱，210-外筒，211-固定刻度，220-高度转轮，221-可动刻度，300-垫片，310-定位槽，410-丝杠，411-第一齿轮，420-传动轴，421-第二齿轮，430-水平转轮，500-卡座，510-L型固定板，520-卡合部。
【具体实施方式】
[0028]为了进一步说明本实用新型实施例提供的支撑针调整装置，下面结合说明书附图进行详细描述。
[0029]如图2所示，本实用新型实施例提供的支撑针调整装置包括底座1、两个高度测量柱200、信号接收器及信号发射器。
[0030]具体地，上述底座I可由板材制成，为了在进行支撑针10的调整时确保底座I的稳定性、以及对支撑针1的高度的测量的精确性，形成底座I的板材需具有适当的厚度及刚性。在本说明书中，以长方形板材作为底座I进行说明。
[0031]该底座I的一侧形成有缺口部100，缺口部100用于在对支撑针10进行调整时容纳支撑针10，且该缺口部100优选形成在长方形底座I的一条短边侧，在底座I之上，缺口部100的两侧各竖直设有一个高度测量柱200。其中一个高度测量柱200上设有信号发射器，另一高度测量柱200上设有信号接收器，信号发射器及信号接收器相对设置且距底座I上表面的高度相等，本实用新型实施例优选信号发射器及信号接收器各自设置在自身所在的高度测量柱200的顶端。
[0032]在本实用新型实施例中，信号发射器用于向信号接收器方向发射信号，信号接收器用于接收上述信号。并且，信号接收器具有“示出是否能够接收到信号发射器发出的所有信号”的功能，该功能可通过检测在单位时间内接收到的信号量来实现。
[0033]例如，在本实用新型的一个实施例中，信号发射器为面状光源，信号接收器为光电传感器，光电传感器具有检测面，该检测面大致垂直于面状光源与光电传感器的连线，且光电传感器上设有指示灯。在对支撑针10进行调整时，面状光源发出的光线以90°的入射角入射至上述检测面，当光电传感器检测到面状光源发射的所有上述光线时，指示灯发出绿光，当光电传感器仅能检测到部分面状光源发射的上述光线或未接收到上述光线时，指示灯发出红光。上述光电传感器的具体设置可通过现有技术实现，此处不再赘述。
[0034]在应用本实用新型实施例进行对支撑针10的高度进行调整时，将底座I置于图1中的支撑平台上，并调整底座I的位置，使支撑针10位于底座I的缺口内，支撑针10的顶针13位于信号发射器和信号接收器之间。此时，通过螺杆对支撑针10的高度(即顶针13与支撑杆11之间的距离)进行调整，同时观察信号接收器，当信号接收器恰好完整地接收到由信号发射器发射的信号、信号接收器恰好接收到部分由信号发射器发射的信号、或信号接收器恰好无法接收到由信号发射器发射的信号时(即顶针13位于恰好遮挡信号发射器发射的信号的临界点时)，即可确定此时支撑针10的高度等于信号发射器或信号接收器的高度，从而完成对支撑针10的高度的调整。由于本实用新型实施例通过传感器的信号是否被遮挡判断支撑针10的高度是否符合要求，因此，与现有技术中通过肉眼观察直尺的测量结果判断支撑针10的高度是否符合要求相比，本实用新型能够更精确地调整支撑针10的高度，进而降低玻璃基板在镀膜过程中发生偏移甚至破碎的可能性。
[0035]可以理解的是，这里的支撑针10的高度应做广义理解，即支撑针10的高度不仅可以指支撑针10的顶针13的顶端至支撑针10的安装平台上表面的距离，也可以指支撑针10中顶针13上端面至螺杆上端面的距离、或在调整过程中支撑针10中顶针13的上端面至底座I的上表面的距离中的任意一种。本领域技术人员可根据实际情况定义支撑针10的高度，只要能达到“通过调整支撑针10的高度，使各支撑针10的顶针13的上端面位于同一水平面”的目的即可。
[0036]如图2所示，作为上述实施例的一个优化方案，在本实用新型实施例中，支撑针调整装置还包括垫片300，垫片300设置在底座I的上方且保持水平；垫片300上设有定位槽310，定位槽310位于底座I的缺口部100的上方，定位槽310的开口方向与底座I上的缺口部100的开口方向相同，且定位槽310的槽底大致位于两个高度测量柱200的连线上。从而，在进行支撑针10的调整时，将底座I放在安装平台并使支撑针10进入缺口部100，进而将支撑针10卡在定位槽310内，即可确保支撑针10的顶针13位于信号发射器和信号接收器之间，不需对底座I的位置进行额外的调整，加快了支撑针10调整的效率。
[0037]可以理解的是，在定位槽310位于缺口部100上方的前提下，垫片300可为任意形状，且可设置在底座I上的任意位置，在本说明书中，如图2所示，优选垫片300大致为长方形，垫片300的长边与缺口部100所在侧边的对边平行，且该长边的长度大于缺口部100的宽度。
[0038]上述内容已经提及，为防止玻璃基板在镀膜过程中发生位移，顶针13的上端面的外侧(即顶针13在支撑基板时未位于基板正下方的一侧)设有限位部(即图1中顶针13上端面的突起)。为避免该限位部旋转至玻璃基板下方而导致玻璃基板倾斜，本实用新型实施例所提供的支撑针调整装置还可用于支撑针10的顶针13的角度的调整。具体地，在本实用新型实施例中，信号发射器在水平方向上的宽度大于顶针13的位于外侧的侧面在水平方向的宽度。其中，在支撑针10支撑玻璃基板时，该支撑针10的顶针13的外侧面在玻璃基板下表面所在平面上的正投影位于玻璃基板下表面之外。根据信号发射器在水平方向上的宽度与顶针13的位于外侧的侧面在水平方向的宽度的关系，存在如下两种支撑针10的角度的调整方案。
[0039]调整方案一:信号发射器在水平方向上的宽度仅略大于顶针13的位于外侧的侧面在水平方向的宽度，在顶针13角度正确时，存在极少的信号从顶针13的两侧经过并入射至信号接收器，此时信号接收器判定顶针13角度调整正确;若顶针13角度存在偏差(即顶针13旋转一定的角度)，则由于顶针13在垂直于信号传播方向上的横截面积增加，信号发射器所发射的信号将完全被顶针13所遮挡，此时信号接收器无法接收到信号发射器所发射的信号而判定顶针13角度偏差。
[0040]调整方案二，信号发射器在水平方向上的宽度与顶针13的位于外侧的侧面在水平方向的宽度相差较大，并且信号接收器能够显示或比较自身在单位时间内接收的信号量。例如，信号发射器为面状光源，信号接收器为能够检测通光量数值的传感器，该传感器具有显示屏，该显示屏用于显示检测到的通光量的数值。在对支撑针10的顶针13的角度进行调整时，首先调整长方形底板的位置，使两个测量柱中轴所确定的平面与待调整支撑针10所支撑的玻璃基板的侧面平行。并使顶针13位于面状光源与传感器之间。然后旋转顶针13，使顶针13的角度大致位于正确的角度(即顶针13上的限位部大致位于玻璃基板外侧的角度)，而后微调顶针13并观察传感器的显示屏上的通光量值，当该通光量值最大时，代表在由面状光源入射至传感器的光线中，被顶针13所遮挡的部分最小，也即顶针13中位于外侧的侧面平行于两个高度测量柱200中心的连线，确保顶针13的角度正确。
[0041 ]另外，在调整方案二中，除选择可显示通光量值的传感器之外，也可选择能够自行比较接收到的通光量值大小的传感器，且该传感器能够在判断通光量值最小的情况下发出提示(例如指示灯发光等)，这类传感器也能够达到判断顶针13的角度是否正确的目的。
[0042]如图5所示，可以理解的是，根据实际情况，支撑针10的高度调整和角度调整可能需要支撑针10处于不同的位置，为了增加本实用新型实施例提供的支撑针调整装置的便利性，垫片300上可设有两个位置及尺寸大小不同的定位槽310。以分别用于支撑针10的高度调整和角度调整。
[0043]为了扩大本实用新型实施例提供的支撑针调整装置的适用范围，对于上述任一实施例及其优化方案而言，高度测量柱200的高度可调，且高度测量柱200上设有用于计量高度测量柱200的高度的刻度。
[0044]具体地，如图3所示，高度测量柱200包括中轴、外筒210及高度转轮220。
[0045]其中，中轴的底端固定在上述垫片300上，中轴的外壁上沿自身轴向设有导轨，夕卜筒210套装在中轴上，外筒210的内壁上对应该导轨设有导向槽，从而外筒210能够沿自身轴向相对于中轴滑动，在外筒210的外壁上沿自身轴向分布有固定刻度211。外筒210的顶端安装有信号发射器或信号接收器(例如，图3中高度测量柱200的顶端以圆形图案所示出的部件)。
[0046]高度转轮220设置在中轴的底端，高度转轮220不能沿中轴轴向移动，但能够以中轴为中心旋转，高度转轮220套装在外筒210上且与外筒210螺纹连接。高度转轮220的顶端的外壁上设有沿圆周方向分布的可动刻度221，并且，高度转轮220相对于外筒210每旋转一周，外筒210沿中轴轴向前进或后退一个固定刻度211。
[0047]因此，与现有技术中的螺旋测微器类似，本实用新型利用螺旋放大的原理，将固定刻度211中的最小单位的长度放大为高度转轮220的周长，从而得以精确地设置高度测量柱200的高度，进而精确地调整支撑针1的高度。
[0048]如图2所示，作为对上述各实施例的进一步优化，为使支撑针10能够方便地卡入垫片300的定位槽310，支撑针调整装置还包括设置于底座I上的垫片位置调整机构，其用于调整垫片300在底座I上的位置，该垫片位置调整机构包括两个丝杠410、传动轴420以及水平转轮430，具体结构如下:
[0049]上述两个丝杠410分别位于底座I的缺口部100两侧，且互相平行，垫片300架设在两个丝杠410上;每个丝杠410在远离缺口部100的一端均套装有第一齿轮411，丝杠410与第一齿轮411螺纹连接。在旋转第一齿轮411时，对应的丝杠410能够沿自身轴向运动。
[0050]上述传动轴420与两个丝杠410垂直，传动轴420上固定地套装有两个第二齿轮421，两个第二齿轮421位于两个丝杠410上各自安装的第一齿轮411分别对应的位置，且第一齿轮411与对应的第二齿轮421垂直啮合，在本实用新型实施例中，第一齿轮411与第二齿轮421可为锥形齿轮，以实现上述垂直啮合。并且，传动轴420的一端上还固定地套装有水平转轮430。
[0051 ]由此，在需要调节垫片300的位置时，旋转水平转轮430，带动传动轴420及其上的第二齿轮421旋转，从而使得与各第二齿轮421啮合的各第一齿轮411旋转，进而使得各第一齿轮411对应的各丝杠410沿自身轴向运动，改变安装在丝杠410上的垫片300的位置。
[0052]此外，如图2所示，在本实用新型实施例中，底座I的一侧还设有水平刻度，该水平刻度用于测定丝杠410在其轴向移动的距离。从而，在对支撑针10进行调整的情况下，在调整第一个支撑针10时，通过该水平刻度记录该丝杠410在其轴向移动的距离，并以此作为参考进彳丁后续的调整，减少后续的调整时间，提尚支撑针1的调整效率。
[0053]如图2及图4所示，作为上述各实施例的进一步优化方案，在底座I下方的缺口部100两侧分别设有卡座500，卡座500用于在调整支撑针10时固定底座I的位置。该卡座500包括L型固定板510和卡合部520。具体结构如下:
[0054]上述L型固定板510固定在底座I的下底面上且位于缺口部100—侧，L型固定板510由互相垂直的两块板材组成，其中直接固定在底座I上的板材与底座I垂直，未直接固定在底座I上的板材与底座I平行，从而L型固定板510与底座I之间形成卡槽结构，该沟槽结构的开口方向与底座I上的缺口部100的开口方向相同。
[0055]上述卡合部520固定连接L型固定板510的一端，卡合部520为拱顶比拱足更接近底座I的拱形板，拱形板的一侧的拱足与L型固定板510中平行于底座I的板材固定连接，拱顶与底座I的下表面之间具有卡合间隙。
[0056]如图5所示，基于上述设置，在本实用新型实施例中，当利用支撑针调整装置对支撑针10进行调整时，将底座I置于支撑平台20上并使卡座500位于安装平台下方，从而使安装平台的突出部的两侧卡入卡合部与底座I下表面之间的间隙内，进而固定支撑针调整装置的位置，避免支撑针调整装置在使用过程中产生位移，进一步提高对支撑针10进行调整的精确性。
[0057]在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同或相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。
[0058]以上所述，仅为本实用新型的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【主权项】
1.一种支撑针调整装置，其特征在于，所述支撑针调整装置包括: 底座，其一侧设有缺口部，所述缺口部用于在对支撑针进行调整时容纳支撑针； 两个高度测量柱，其分别竖直设置于所述缺口部两侧；以及 信号发射器和信号接收器，所述信号发射器设置在两个所述高度测量柱中的一个高度测量柱上，所述信号接收器设置于另一高度测量柱上，所述信号发射器和所述信号接收器各自距所述底座上表面的距离相等，且二者正对设置。2.根据权利要求1所述的支撑针调整装置，其特征在于，还包括: 设置在所述底座上的垫片，所述垫片上设有定位槽，所述定位槽位于所述底座的缺口部的上方，且所述定位槽的开口方向与所述缺口部的开口方向一致，所述定位槽用于在对支撑针进行调整时卡住支撑针。3.根据权利要求2所述的支撑针调整装置，其特征在于，所述信号发射器在水平方向上的宽度大于支撑针的顶针外侧面在水平方向上的宽度;其中，在支撑针支撑玻璃基板时，该支撑针的顶针的外侧面在玻璃基板下表面所在平面上的正投影位于玻璃基板下表面之外。4.根据权利要求2或3所述的支撑针调整装置，其特征在于，所述高度测量柱的高度可调，且所述高度测量柱上设有用于计量所述高度测量柱的高度的刻度。5.根据权利要求4所述的支撑针调整装置，其特征在于，所述高度测量柱包括: 底端固定在所述垫片上的中轴，其外壁上沿自身轴向设有导轨； 套装在所述中轴外的外筒，其内壁上设有与所述导轨对应的导向槽，所述外筒的外壁上设置有沿自身轴向分布的固定刻度，所述信号发射器与所述信号接收器分别设置在对应的所述外筒的顶端；以及 设置在所述中轴的底端的高度转轮，其套装在所述外筒外且与所述外筒螺纹连接，所述高度转轮的顶端侧的外壁上设有沿圆周分布的可动刻度，所述高度转轮相对于所述外筒每旋转一周，所述外筒沿自身轴向前进或后退一个固定刻度。6.根据权利要求2或3所述的支撑针调整装置，其特征在于，所述支撑针调整装置还包括设置于所述底座上、用于调整所述垫片在所述底座上的位置的垫片位置调整机构，所述垫片位置调整机构包括: 分别位于所述底座的缺口部两侧且互相平行的两个丝杠，所述垫片的两端分别固定在两个所述丝杠上;各所述丝杠在远离所述缺口部的一端套装有第一齿轮，所述丝杠与套装在该丝杠上的所述第一齿轮螺纹连接； 传动轴，其与各所述丝杠垂直;所述传动轴上对应各所述丝杠上的第一齿轮的位置分别套装有第二齿轮;以及 水平转轮，其固定在所述传动轴的一端， 其中，每个所述第一齿轮与对应的第二齿轮垂直啮合。7.根据权利要求6所述的支撑针调整装置，其特征在于，所述底座的一侧设有水平刻度，所述水平刻度用于测定所述丝杠在其轴向移动的距离。8.根据权利要求1-3中的任一项所述的支撑针调整装置，其特征在于，在所述底座下方的所述缺口部两侧分别设有卡座，所述卡座用于在调整支撑针时固定所述底座的位置。9.根据权利要求8所述的支撑针调整装置，其特征在于，所述卡座包括: 固定于所述底座上的L型固定板；以及 与所述L型固定板的一端固定连接的卡合部，其为拱形板，该拱形板的拱顶比拱足更接近所述底座，且拱顶与所述底座的下表面之间存在间隙， 其中，所述卡座与所述底座构成卡槽结构，所述卡槽结构的开口方向与所述缺口部的开口方向一致。10.根据权利要求1所述的支撑针调整装置，其特征在于，所述信号发射器为面状光源，所述信号接收器为光电传感器。
【文档编号】C23C14/50GK205529022SQ201620221954
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年3月22日
【发明人】康英男, 周立刚, 赵东升, 慕国鹏, 张毅
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司