掩模板的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种掩模板，属于显示技术领域，其可至少部分解决现有的掩模板更换遮光条，成本昂贵、且平整度难以保证的问题。本实用新型的掩模板包括框架和设置于框架上方的遮光条，其特征在于，框架的相对的两条横边沿其延伸方向开设有横向凹槽，和/或，框架的相对的两条竖边沿其延伸方向开设有竖向凹槽；相应的，每一遮光条的两端均分别设置有限位条，限位条成对设置于相对的横向凹槽或竖向凹槽内，限位条能沿其所在的横向凹槽或竖向凹槽移动。该掩模板平整度较高、且具有较高兼容性，能够极大节省生产成本。
【专利说明】
掩模板
技术领域
[0001]本实用新型属于显示技术领域，具体涉及一种掩模板。【背景技术】
[0002]在有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting D1de，简称0LED)的蒸镀工艺中，通常使用的掩模板，要求其全节距(Total Pitch，简称TP)值在正负lOOwii之内。在使用过程中，当掩模板的TP值超出了正负1 OOwii时，将影响基板(Pane 1)的质量，需要重新制作掩模板。
[0003]图1为现有的掩模板的结构示意图，如图1所示，掩模板通过张网(Tens 1n)工艺， 并通过激光焊接(Laser Welding)的方式将遮光条1(sheet)焊接在框架2(Frame)上。当掩模板的TP值超出规定值，或者需要对不同尺寸的基板进行加工时，都需要重新制作掩模板， 即卸下焊接在框架2上的遮光条1，并将新的遮光条1重新焊接在框架2上，通常为了保证焊接质量，需要对框架2上的焊点进行打磨，提高框架2的平整度。
[0004]发明人发现现有技术中至少存在如下问题:
[0005]遮光条造价昂贵，更换新的遮光条将提高生产成本；
[0006]在更换遮光条时，尽管对框架上的焊点进行了打磨，但框架的平整度很难达到使用要求，焊接遮光条后，遮光条的平整度也很难达到使用要求。通常，遮光条的平整度要求在500wii之内，一旦其平整度达不到要求，将直接影响掩模板与基板之间的贴合紧密度，从而影响工艺效果；
[0007]对框架或遮光条的平整度进行修复将付出较大的经济代价。[〇〇〇8]因此，设计一种新型的掩模板，能够长期保持较高的平整度，不需要频繁更换遮光条，这是目前亟待解决的技术问题。【实用新型内容】
[0009]本实用新型为至少部分解决现有的上述问题，提供一种掩模板。该掩模板能够至少部分解决在不更换遮光条的情况下，调整遮光条的位置，保证掩模板的遮光条和框架的具有较高的平整度，提高掩模板的兼容性。
[0010]解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是:提供一种掩模板，包括框架和设置于所述框架上方的遮光条，所述框架的相对的两条横边沿其延伸方向开设有横向凹槽， 和/或，所述框架的相对的两条竖边沿其延伸方向开设有竖向凹槽;相应的，每一所述遮光条的两端均分别设置有限位条，所述限位条成对设置于相对的所述横向凹槽或所述竖向凹槽内，所述限位条能沿其所在的所述横向凹槽或所述竖向凹槽移动以带动所述遮光条移动。
[0011]优选的是，还包括位控机构，每一限位条均分别连接一所述位控机构，所述位控机构位于所述横向凹槽或所述竖向凹槽内部，用于调节与其连接的所述限位条在所述横向凹槽或所述竖向凹槽内的位置。
[0012]优选的是，所述位控机构包括丝杆、齿轮和传动轴，所述丝杆与所述限位条连接， 所述齿轮与所述丝杆啮合设置，所述传动轴的一端设置于所述齿轮的轴心、另一端穿过所述横向凹槽或所述竖向凹槽的外壁位于所述框架的外部，所述传动轴能带动所述齿轮转动，以使所述齿轮带动所述限位条在所述横向凹槽或所述竖向凹槽内移动。
[0013]优选的是，所述丝杆外表面每1毫米的长度包括至少50圈螺纹。
[0014]优选的是，所述位控机构还包括旋钮，所述旋钮设置于所述传动轴位于所述框架的外部的端部，所述旋钮与所述传动轴同步转动。
[0015]优选的是，所述旋钮的表面设置有刻度尺，所述刻度尺中包括表示不同角度值的多个角度示数，用于标识所述传动轴或所述齿轮带动所述丝杆移动的角度。
[0016]优选的是，还包括沉头螺钉，所述限位条中沿厚度方向开设有通孔，所述横向凹槽的底部或所述竖向凹槽的底部在深度方向开设有固定螺孔，所述沉头螺钉能穿过所述通孔并插入所述固定螺孔，使得所述限位条相对所述框架固定。
[0017]优选的是，所述限位条的上表面与所述框架的上表面平齐。
[0018]优选的是，每一所述横向凹槽内所述限位条的数量范围为2?4个，或者，所述竖向凹槽内所述限位条的数量范围为2?4个。[〇〇19]优选的是，所述遮光条为因瓦合金材料或不锈钢材料，所述限位条为铁质材料。
[0020]本实用新型的掩模板，通过在框架的周边开设凹槽，在凹槽内设置限位条，并将遮光条的两端分别焊接在限位条上，具有如下有益效果:
[0021]首先，焊接遮光条的焊点只存在于限位条上，当限位条上的平整度超出使用要求， 直接更换限位条即可，无需更换框架，可节约成本；
[0022]其次，每一限位条连接有位控机构，该位控机构均能够调整与其相连的限位条在凹槽中的位置，从而，能够根据需要调整掩模板的有效成膜区，并运用于加工不同尺寸的基板，提高掩模板的兼容性。【附图说明】[0〇23]图1为现有的掩t旲板的结构不意图；
[0024]图2为本实用新型的实施例1的掩模板的结构示意图；
[0025]图3为图2中掩模板的局部放大图；[0〇26]图4为图3所示部分的侧视图；
[0027]图5为本实用新型的实施例2的掩模板的一种结构示意图；
[0028]图6为本实用新型的实施例2的掩模板的另一种结构示意图。[〇〇29] 其中，附图标记为:
[0030]1、遮光条；2、框架；3、横向凹槽;4、竖向凹槽;5、限位条;6、丝杆;7、齿轮;8、传动轴;9、旋钮;10、丨几头螺钉;11、通孔。【具体实施方式】
[0031]为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细描述。
[0032]本实用新型的掩模板包括框架和设置于框架上方的遮光条，框架的相对的两条横边沿其延伸方向开设有横向凹槽，和/或，框架的相对的两条竖边沿其延伸方向开设有竖向凹槽;相应的，每一遮光条的两端均分别设置有限位条，限位条成对设置于相对的横向凹槽或竖向凹槽内，限位条能沿其所在的横向凹槽或竖向凹槽移动以带动遮光条移动，从而能够在不更换遮光条的情况下，提高掩模板的兼容性。
[0033]实施例1:
[0034]本实施例提供一种掩模板，在掩模板的框架的相对的两条横边沿其延伸方向开设有横向凹槽，且在框架的相对的两条竖边沿其延伸方向开设有竖向凹槽，每一遮光条的两端均分别设置有限位条，限位条成对设置于相对的横向凹槽和竖向凹槽内，限位条能沿其所在的横向凹槽和竖向凹槽移动以带动遮光条移动。
[0035]图2为实施例1的掩模板的结构示意图，如图2所示，掩模板包括框架2和设置于框架2上方的遮光条1，框架2的相对的两条横边沿其延伸方向开设有横向凹槽3,并且，框架2 的相对的两条竖边沿其延伸方向开设有竖向凹槽4。横向凹槽3和竖向凹槽4内部设置有多个限位条5，限位条5能沿其所在的横向凹槽3或竖向凹槽4移动，每一遮光条1的两端均分别焊接在限位条5的表面。从而能够在不更换遮光条1的情况下，调整掩模板的有效成膜区，提高掩模板的兼容性。
[0036]结合实际生产的需要，每一横向凹槽3内限位条5的数量范围为2?4个，或者，竖向凹槽4内限位条5的数量范围为2?4个。具体的，结合金属材料掩模板(Metal Mask)和有机材料掩模板(Organic Mask)的结构，本实施例的掩模板中，每一横向凹槽3内设置2个限位条5，每一竖向凹槽4内设置4个限位条5。[〇〇37]为了保证框架2的平整度，优选将限位条5的上表面与框架2的上表面平齐。也就是说，设计限位条5的厚度等于横向凹槽3或竖向凹槽4的深度，保证限位条5的上表面与框架2 的上表面在同一高度。从而，进一步保证遮光条1的平整度。遮光条1优选因瓦(INVAR)合金材料或不锈钢(SUS)材料制成，限位条5优选铁质材料制成。
[0038]基于蒸镀工艺的高精度性，为了能够精准地控制限位条5在横向凹槽3和竖向凹槽 4内的位置，本实施例的掩模板还包括位控机构，每一限位条5均分别连接一位控机构，位控机构位于横向凹槽3和竖向凹槽4内部，用于调节与其连接的限位条5在横向凹槽3和竖向凹槽4内的位置。
[0039]图3为图2中掩模板的局部放大图，图4为图3所示部分的侧视图，如图3、图4所示， 位控机构包括丝杆6、齿轮7和传动轴8，丝杆6与限位条5连接，齿轮7与丝杆6啮合设置，传动轴8的一端设置于齿轮7的轴心、另一端穿过横向凹槽3和竖向凹槽4的外壁位于框架2的外部，传动轴8能带动齿轮7转动，使齿轮7带动限位条5在横向凹槽3和竖向凹槽4内移动。
[0040]为了保证控制限位条5位置的精准度，设计丝杆6外表面每1毫米的长度包括至少 50圈螺纹，即每一圈螺纹对应的丝杆6的长度最多为20wii。齿轮7与丝杆6啮合设置，传动轴8 的一端设置于齿轮7的轴心，旋转传动轴8的另一端即可带动齿轮7旋转，齿轮7旋转将带动丝杆6移动，进一步带动限位条5在横向凹槽3和竖向凹槽4内移动，从而实现调整遮光条1在框架2上的位置，改变掩模板的有效成膜区。
[0041]进一步的，位控机构还包括旋钮9,旋钮9设置于传动轴8位于框架2的外部的端部， 旋钮9与传动轴8同步转动。通过旋转旋钮9带动传动轴8转动，能够便捷地控制限位条5的位置。
[0042]为了能够更加精准地控制限位条5的位置，旋钮9的表面设置有刻度尺，刻度尺中包括表示不同角度值的多个角度示数，用于标识传动轴8或齿轮7带动丝杆6移动的角度。优选刻度尺采用圆刻度的形式，以方便调整和记录读数。通过旋转旋钮9为传动轴8的旋转距离提供位置参考，能够准确地控制限位条5的位置。
[0043]为了防止限位条5从横向凹槽3和竖向凹槽4内意外脱落，每一限位条5上还设置有沉头螺钉10，限位条5中沿厚度方向开设有通孔11，横向凹槽3的底部和竖向凹槽4的底部在深度方向开设有固定螺孔(横向凹槽3和竖向凹槽4在框架2中实质类似盲孔)，沉头螺钉10 能穿过通孔11并插入固定螺孔，使得限位条5相对框架2固定。这里的通孔11的开口的形状为长条形，当通过位控机构调整限位条5在横向凹槽3和竖向凹槽4中的位置时，沉头螺钉10 固定在固定螺孔中，沉头螺钉10与通孔11在沿凹槽的延伸方向上相对滑动，实现调整限位条5的位置的目的。[〇〇44]根据蒸镀材料的不同，掩模板包括金属材料掩模板和有机材料掩模板。通常情况下，对于同样大尺寸的基板的蒸镀，在蒸镀金属材料的金属材料掩模板和蒸镀有机材料的有机材料掩模板之间，二者本质的区别在于部分遮光条的宽度不同以及形成的有效成膜区的尺寸不同。[〇〇45]本实施例的掩模板，能够根据金属材料掩模板和有机材料掩模板的结构参数进行灵活装配:首先，将限位条分别放入横向凹槽和竖向凹槽中，并通过沉头螺钉进行预定位， 同时不拧紧沉头螺钉;然后，将遮光条依次焊接到框架的限位条上，优选先焊接平行于横向凹槽的遮光条，再焊接平行于竖向凹槽的遮光条，由于限位条中开设有长条形的通孔，因此通过位控机构调整限位条的位置，得到满足要求的距离尺寸;最后，拧紧沉头螺钉，将遮光条固定在框架上，从而得到生产所需要的金属材料掩模板和有机材料掩模板的尺寸。
[0046]容易理解的是，本实施例的掩模板也能够在金属材料掩模板与有机材料掩模板之间切换。例如将金属材料掩模板切换为有机材料掩模板的过程为:首先，将位于横向凹槽中部的两个遮光条卸下，并焊接上宽度合适的遮光条;其次，根据有机材料掩模板的设计参数，调整各个遮光条的位置，并利用自动光学检测设备(Automatic Optic Inspect 1n，简称AO I)确认各个遮光条的位置误差在正负5 Oym之内；最后，测量掩模板的结构参数，满足要求后，则完成掩t旲板的切换。[〇〇47]同理，也能够针对不同尺寸的待加工基板，相应调整各个遮光条的位置，甚至增加限位条和遮光条，以满足工艺要求。例如，将本实施例的掩模板调整为用于加工55寸的基板之后，能够将本实施例的掩模板再调整为用于加工32寸的基板，调整过程为:首先，在框架的两条横向凹槽的中部增设一对限位条和与之匹配的位控机构；其次，根据工艺参数调整各个限位条的位置，并控制位置误差在正负50mi之内；最后，在新增的限位条上焊接遮光条，并利用A0I检测设备对掩模板的各个参数进行测量确认，确认各项参数符合要求之后， 则完成掩模板的调整。由上可知，本实施例的掩模板具有良好的兼容性。
[0048]本实施例的掩模板通过在框架的周边开设凹槽，在凹槽内设置限位条，并将遮光条的两端分别焊接在限位条上。当限位条上的平整度超出使用要求，直接更换限位条即可， 无需更换框架，极大地节约了成本。并且，每一限位条通过高精度的丝杆和齿轮来控制位置，能够根据需要调整掩模板的有效成膜区，并运用于加工不同尺寸的基板，提高产品的兼容性。
[0049]实施例2:
[0050]本实施例提供一种掩模板，该掩模板的结构与实施例1中的掩模板的结构类似，其区别在于，本实施例的掩模板只在框架的相对的两条横边沿其延伸方向开设有横向凹槽， 或者，只在框架的相对的两条竖边沿其延伸方向开设有竖向凹槽。
[0051]如图5所示，掩模板的框架2的相对的两条横边沿其延伸方向开设有横向凹槽，每一遮光条1的两端均分别设置有限位条5，限位条5成对设置于相对的横向凹槽3内，限位条5 能沿其所在的横向凹槽3移动。图5所示的掩模板，适用于框架宽度固定、且位于相对的竖边内的遮光条的位置和宽度无需调节的情况，在简化掩模板结构、降低生产成本的同时，还能灵活调节遮光条在横边上的位置，保证了掩模板的平整度和兼容性。
[0052]如图6所示，掩模板的框架2的相对的两条竖边沿其延伸方向开设有竖向凹槽4,每一遮光条1的两端均分别设置有限位条5,限位条5成对设置于相对的竖向凹槽4内，限位条5 能沿其所在的竖向凹槽4移动。图6所示的掩模板，适用于框架长度固定、且位于相对的横边内的遮光条的位置和宽度无需调节的情况，在简化掩模板结构、降低生产成本的同时，还能灵活调节遮光条在竖边上的位置，保证了掩模板的平整度和兼容性。
[0053]图5和图6所示的掩模板的其他结构与实施例1中的掩模板相同，这里不再赘述。
[0054]图5和图6所示的掩模板均能够通过限位条调整遮光条的位置，提高了掩模板的兼容性，并且避免了频繁更换遮光条，保证了框架和遮光条的平整度，极大的节约了成本。
[0055]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种掩模板，包括框架和设置于所述框架上方的遮光条，其特征在于，所述框架的相 对的两条横边沿其延伸方向开设有横向凹槽，和/或，所述框架的相对的两条竖边沿其延伸 方向开设有竖向凹槽;相应的，每一所述遮光条的两端均分别设置有限位条，所述限位条成 对设置于相对的所述横向凹槽或所述竖向凹槽内，所述限位条能沿其所在的所述横向凹槽 或所述竖向凹槽移动以带动所述遮光条移动。2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，还包括位控机构，每一限位条均分别连 接一所述位控机构，所述位控机构位于所述横向凹槽或所述竖向凹槽内部，用于调节与其 连接的所述限位条在所述横向凹槽或所述竖向凹槽内的位置。3.根据权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述位控机构包括丝杆、齿轮和传动轴， 所述丝杆与所述限位条连接，所述齿轮与所述丝杆啮合设置，所述传动轴的一端设置于所 述齿轮的轴心、另一端穿过所述横向凹槽或所述竖向凹槽的外壁位于所述框架的外部，所 述传动轴能带动所述齿轮转动，以使所述齿轮带动所述限位条在所述横向凹槽或所述竖向 凹槽内移动。4.根据权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述丝杆外表面每1毫米的长度包括至 少50圈螺纹。5.根据权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述位控机构还包括旋钮，所述旋钮设 置于所述传动轴位于所述框架的外部的端部，所述旋钮与所述传动轴同步转动。6.根据权利要求5所述的掩模板，其特征在于，所述旋钮的表面设置有刻度尺，所述刻 度尺中包括表示不同角度值的多个角度示数，用于标识所述传动轴或所述齿轮带动所述丝 杆移动的角度。7.根据权利要求1-6任一所述的掩模板，其特征在于，还包括沉头螺钉，所述限位条中 沿厚度方向开设有通孔，所述横向凹槽的底部或所述竖向凹槽的底部在深度方向开设有固 定螺孔，所述沉头螺钉能穿过所述通孔并插入所述固定螺孔，使得所述限位条相对所述框 架固定。8.根据权利要求1-6任一所述的掩模板，其特征在于，所述限位条的上表面与所述框架 的上表面平齐。9.根据权利要求1-6任一所述的掩模板，其特征在于，每一所述横向凹槽内所述限位条 的数量范围为2?4个，或者，所述竖向凹槽内所述限位条的数量范围为2?4个。10.根据权利要求1-6任一所述的掩模板，其特征在于，所述遮光条为因瓦合金材料或 不锈钢材料，所述限位条为铁质材料。
【文档编号】C23C14/24GK205590781SQ201620459452
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年5月18日
【发明人】徐鹏, 潘晟恺, 乔永康
【申请人】合肥鑫晟光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司