专利名称：一种降低多晶硅合成精馏系统负荷的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种降低多晶硅合成精馏系统负荷的装置。
背景技术：
在多晶硅的生产过程中，精馏塔、氢化塔、还原塔产生的釜液分别通过管道进入回收三氯氢硅储槽中，再通过合成精馏系统对三氯氢硅进行回收利用，以降低生产成本。这种回收装置致使合成精馏系统始终处于满负荷生产的状态，导致操作弹性下降，除杂能力降低，影响产品的质量。
实用新型内容本实用新型的发明目的在于针对在多晶硅的生产过程中，釜液通过管道进入回收三氯氢硅储槽中，再通过合成精馏系统对三氯氢硅进行回收利用，致使合成精馏塔始终处于满负荷生产的状态，操作弹性下降，除杂能力降低，影响产品质量的问题，提供一种降低多晶硅合成精馏系统负荷的装置，其结构简单，构思巧妙，使用方便，易于安装维护，能够有效降低合成精馏系统负荷，提高产品质量。本实用新型采用的技术方案如下一种降低多晶硅合成精馏系统负荷的装置，包括精馏塔、还原塔、氢化塔、回收三氯氢硅储槽、还原氯硅烷储槽、回收管、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道和第五管道，所述精馏塔、还原塔、氢化塔、回收三氯氢硅储槽分别通过第一管道、第二管道、第三管道、第四管道与回收管相连，所述第一管道、第二管道、第三管道、第四管道上分别设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门，其特征在于所述还原氯硅烷储槽通过第五管道与回收管相连，所述第五管道上设置有第五阀门。本实用新型通过第五管道将还原氯硅烷储槽与回收管相连，使精馏塔、还原塔、氢化塔中产生的釜液进入还原氯硅烷储槽中，再通过与还原氯硅烷储槽相连的还原精馏系统进行处理，使还原精馏系统得到充分利用，同时有效降低合成精馏系统的负荷，增加操作弹性、除杂能力，提升产品质量。本实用新型在各个管道上分别设置阀门，能够有效对釜液的流向进行控制，从而可以根据实际情况的需要，选择还原精馏系统或合成精馏系统进行处理。综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是1、本实用新型结构简单，构思巧妙，使用方便，易于安装维护；2、本实用新型能够有效降低合成精馏系统的负荷，保证其正常运行，从而提升产品质量；3、本实用新型在各个管道上分别设置相应的阀门，能够有效对釜液的流向进行控制，从而可以根据实际情况的需要，选择不同的系统处理釜液。
[0013]图1是本实用新型的结构示意图。图中标记101为精馏塔、102为第一管道、103为第一阀门、201为还原塔、202为第二管道、203为第二阀门、301为氢化塔、302为第三管道、303为第三阀门、401为回收三氯氢硅储槽、402为第四管道、403为第四阀门、501为还原氯硅烷储槽、502为第五管道、503 为第五阀门、602为回收管。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型作详细的说明。为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。如图所示，一种降低多晶硅合成精馏系统负荷的装置，包括精馏塔101、还原塔
201、氢化塔301、回收三氯氢硅储槽401、还原氯硅烷储槽501、回收管602、第一管道102、第二管道202、第三管道302、第四管道402和第五管道502，所述精馏塔101、还原塔201、氢化塔301、回收三氯氢硅储槽401、还原氯硅烷储槽501分别通过第一管道102、第二管道202、 第三管道302、第四管道402、第五管道502与回收管602相连，所述第一管道102、第二管道
202、第三管道302、第四管道402、第五管道502上分别设置有第一阀门103、第二阀门203、 第三阀门303、第四阀门403、第五阀门503。本实用新型在第一管道102、第二管道202、第三管道302上分别设置第一阀门 103、第二阀门203、第三阀门303，从而能够根据实际需要，使精馏塔101、还原塔201、氢化塔301中的釜液有选择性的进入回收管602中。同时通过调节第四阀门403、第五阀门503， 能够使回收管602中的釜液进入回收三氯氢硅储槽401或者还原氯硅烷储槽501中，从而降低合成精馏系统的负荷，延长设备的使用寿命，增加操作弹性，提升产品质量。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1. 一种降低多晶硅合成精馏系统负荷的装置，包括精馏塔(101)、还原塔(201)、 氢化塔(301)、回收三氯氢硅储槽(401)、还原氯硅烷储槽(501)、回收管(602)、第一管道 (102)、第二管道(202)、第三管道(302)、第四管道(402)和第五管道(502)，所述精馏塔 (101)、还原塔(201)、氢化塔(301)、回收三氯氢硅储槽(401)分别通过第一管道(102)、第二管道(202)、第三管道(302)、第四管道(402)与回收管(602)相连，所述第一管道(102)、 第二管道(202)、第三管道(302)、第四管道(402)上分别设置有第一阀门(103)、第二阀门 (203)、第三阀门(303)、第四阀门(403)，其特征在于所述还原氯硅烷储槽(501)通过第五管道(502)与回收管(602)相连，所述第五管道(502)上设置有第五阀门(503)。
专利摘要本实用新型公开了一种降低多晶硅合成精馏系统负荷的装置，目的在于解决现有技术中，合成精馏系统负荷过大，影响产品质量的问题，该装置包括精馏塔、还原塔、氢化塔、回收三氯氢硅储槽、还原氯硅烷储槽、回收管、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道和第五管道，所述精馏塔、还原塔、氢化塔、回收三氯氢硅储槽分别通过第一管道、第二管道、第三管道、第四管道与回收管相连，所述第一管道、第二管道、第三管道、第四管道上分别设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门，所述还原氯硅烷储槽通过第五管道与回收管相连，所述第五管道上设置有第五阀门。本实用新型结构简单，构思巧妙，能够有效降低合成精馏系统的负荷，提高产品质量。
文档编号C01B33/107GK202139060SQ20112021528
公开日2012年2月8日 申请日期2011年6月23日 优先权日2011年6月23日
发明者王恒, 蒲敏 申请人:四川瑞能硅材料有限公司