专利名称：一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置的制作方法
技术领域：
—种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置技术领域[0001]本实用新型涉及一种吸附柱并网装置，特别是一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，属于多晶硅化工技术领域。
背景技术：
[0002]国内外的多晶硅生产主要采用“改良西门子法”，该方法中的⑶I工艺是比较成熟的多晶硅生产尾气回收工艺，其工艺步骤大概为尾气先经过冷凝将氯硅烷、氯化氢和氢气分离开后，液态的氯硅烷送精馏工序，气态的氯化氢、氢气经过吸收塔、解析塔被分离开，其中的氯化氢送至合成工序，氢气再经吸附柱除去残余的氯硅烷和氯化氢后继续作为生产原料使用。[0003]由于多晶硅还原系统中的尾气回收和氢化系统中的尾气回收是两套独立的系统， 但是由于还原系统和氢化系统输送至尾气回收工序的物料具有相近性，所以在其中一套尾气回收系统出现动力设备(如压缩机和螺杆机等)工况意外下，则可以用另外一套正常运行的回收系统处理来同时处理还原系统和氢化系统的尾气以维持生产。但是由于单套系统处理能力有限，此时还原系统和氢化系统必须减量运行，但即使在降低生产负荷情况下，单套吸附柱净化氢气也不能保证回收氢气质量，而回收氢气质量作为影响多晶硅质量的关键因素之一，这将直接导致产品质量及产量明显下滑。在尾气回收系统中，吸附柱对回收的氢气质量有较大的影响。发明内容[0004]本实用新型的发明目的在于针对上述存在的问题，提供一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，能够利用因故障停车的尾气回收系统中可以正常运行的吸附柱来进行回收氢气的吸附，有效的降低正常运行的尾气回收系统中吸附柱的负荷，提升尾气处理量和回收氢气质 量，同时，在正常工况下也可以对不同系统(如还原系统和氢化系统)之间的吸附负荷做一个再分配和优化，提升回收氢吸附质量，从而达到提高产品质量的目的。[0005]本实用新型采用的技术方案如下[0006]—种多晶娃尾气回收系统吸附柱并网装置,包括回收系统I和回收系统II，所述回收系统I包含有换热器I、吸附柱I和之间连接的管道I，所述回收系统II包含有换热器II、吸附柱II和之间连接的管道II ;所述管道I和管道II通过设置带有阀门I的管道III 连通；所述管道I上设置阀门II，所述阀门II位于换热器I和管道III之间；所述管道II上设置阀门V，所述阀门V位于换热器II和管道III之间。[0007]作为优选方式，所述管道III为不锈钢钢管。[0008]作为优选方式，所述管道I上设置阀门III，所述阀门III位于管道III和吸附柱I之间。[0009]作为优选方式，所述管道II上设置阀门VI，所述阀门VI位于管道III和吸附柱II之间。[0010]作为优选方式，所述阀门I、阀门II、阀门III、阀门V和阀门VI均为球阀。[0011]作为优选方式，所述阀门I、阀门II、阀门III、阀门V和阀门VI均为不锈钢球阀。[0012]作为优选方式，所述阀门I与管道III采用法兰连接；所述阀门II和阀门III均与管道I采用法兰连接；所述阀门V和阀门VI均与管道II采用法兰连接。[0013]回收系统中的回收氢气从换热器输送至吸附柱。带有阀门I的管道III为氢气进入不同回收系统的吸附柱提供了可控制的通道；通过阀门II、阀门V和可以控制氢气进入吸附柱而不进入其他的设备(如换热器)；设置阀门III和阀门VI则可以实现选择性的单独或同时使用吸附柱I或吸附柱II，使得操作方案更加灵活；管道III、阀门I、阀门II、阀门III、阀门V和阀门VI，选用不锈钢管道和不锈钢阀门，能有效避免因氢气中的氯化氢的强腐蚀性而导致管道腐蚀和因腐蚀带来金属杂质导致氢气质量的降低；阀门I、阀门II、阀门III、阀门V和阀门VI全部采用球阀提高了操作的可靠性；阀门和管道间采用法兰连接提高了灵活性，便于维护和更换。由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是[0015]本实用新型的一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，结构简单，设计巧妙，成本低廉，实现了能够利用因故障停车的尾气回收系统中可以正常运行的吸附柱来进行回收氢气的吸附，有效的降低正常运行的尾气回收系统中吸附柱的负荷，提升尾气处理量和回收氢气质量，同时，在正常工况下也可以对回收系统I和回收系统II的吸附负荷做一个再分配和优化，提升回收氢吸附质量，从而达到提高产品质量的目的。
[0016]图I是本实用新型结构示意图。[0017]图中标记1_换热器I、2_吸附柱I、3_管道I、4_换热器II、5-吸附柱II、6-管道II、7-管道III、8-阀门I、9-阀门IKlO-阀门111、11_阀门V、12-阀门VI。
具体实施方式
[0018]
以下结合附图，对本实用新型作详细的说明。[0019]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。[0020]实施例1，一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，如图I所示，包括回收系统 I和回收系统II，所述回收系统I包含有换热器I I、吸附柱I 2和之间连接的管道I 3，所述回收系统II包含有换热器II 4、吸附柱II 5和之间连接的管道II 6 ;将管道I 3和管道II 6 通过设置带有阀门I 8的管道III 7连通，所述管道I 3上的换热器I I和管道III 7之间设置阀门II 9，所述管道II 6上的换热器II 4和管道III7之间设置阀门V 11 ;管道III的选用不锈钢钢管，阀门I 8、阀门II 9、和阀门V 11选用不锈钢球阀，与管道I 3、管道II 6和管道 III 7采用法兰连接而成。[0021]实施例2，一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，如图I所示，包括回收系统 I和回收系统II，所述回收系统I包含有换热器I I、吸附柱I 2和之间连接的管道I 3，所述回收系统II包含有换热器II 4、吸附柱II 5和之间连接的管道II 6 ;将管道I 3和管道II 6通过设置带有阀门I 8的管道III 7连通，所述管道I 3上的换热器I I和管道III 7之间设置阀门II 9，所述管道II 6上的换热器II 4和管道III7之间设置阀门V 11 ;再将管道I 3上的管道III 7和换热器I 2之间设置阀门III10，将管道II 6上的管道III 7和吸附柱II 5之间设置阀门VI 12，管道III 7的选用不锈钢钢管，阀门I 8、阀门II 9、阀门III10、阀门V 11和阀门VI 12选用不锈钢球阀，与管道I 3、管道II 6和管道III 7采用法兰连接而成。[0022]以 上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，包括回收系统I和回收系统II，所述回收系统I包含有换热器I (I)、吸附柱I (2)和之间连接的管道I (3)，所述回收系统II包含有换热器II (4)、吸附柱II (5)和之间连接的管道II (6)，其特征在于所述管道I (3)和管道II (6)通过设置带有阀门I (8)的管道III(7)连通；所述管道I (3)上设置阀门II (9)， 所述阀门II (9)位于换热器I(I)和管道III (7)之间；所述管道II (6)上设置阀门V (11)， 所述阀门V (11)位于换热器II (4)和管道III (7)之间。
2.如权利要求I所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，其特征在于所述管道 111(7)为不锈钢钢管。
3.如权利要求I所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，其特征在于所述管道 I (3)上设置阀门111(10)，所述阀门III(IO)位于管道111(7)和吸附柱I (2)之间。
4.如权利要求I或3所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，其特征在于所述管道II (6 )上设置阀门VI (12 )，所述阀门VI (12 )位于管道III (7 )和吸附柱II (5 )之间。
5.如权利要求4所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，其特征在于所述阀门 I (8)、阀门II (9)、阀门III(10)、阀门V (11)和阀门VI (12)均为球阀。
6.如权利要求5所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，其特征在于所述阀门 I (8)、阀门II (9)、阀门III(10)、阀门V (11)和阀门VI(12)均为不锈钢球阀。
7.如权利要求5或6所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，其特征在于所述阀门I (8)与管道111(7)采用法兰连接；所述阀门II (9)和阀门III(IO)均与管道I (3)采用法兰连接；所述阀门V (11)和阀门VK12)均与管道II (6)采用法兰连接。
专利摘要本实用新型公开了一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，包括回收系统Ⅰ和回收系统Ⅱ，所述回收系统Ⅰ包含有换热器Ⅰ(1)、吸附柱Ⅰ(2)和之间连接的管道Ⅰ(3)，所述回收系统Ⅱ包含有换热器Ⅱ(4)、吸附柱Ⅱ(5)和之间连接的管道Ⅱ(6)，所述管道Ⅰ(3)和管道Ⅱ(6)通过设置带有阀门Ⅰ(8)的管道Ⅲ(7)连通；所述管道Ⅰ(3)上设置阀门Ⅱ(9)，所述阀门Ⅱ(9)位于换热器Ⅰ(1)和管道Ⅲ(7)之间；所述管道Ⅱ(6)上设置阀门Ⅴ(11)，所述阀门Ⅴ(11)位于换热器Ⅱ(4)和管道Ⅲ(7)之间。该吸附柱并网装置成本低廉，有效的降低正常运行的尾气回收系统中吸附柱的负荷，提升尾气处理量和回收氢气质量。
文档编号C01B3/56GK202654903SQ20122018831
公开日2013年1月9日 申请日期2012年4月28日 优先权日2012年4月28日
发明者罗邦彦 申请人:四川瑞能硅材料有限公司