四氯化硅转化三氯氢硅反应器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种四氯化硅转化三氯氢硅反应器，包括筒体以及设置在筒体上、下端的上封头和下封头，在所述上封头上设置有气体出口，在所述下封头上设置有气体进口，在所述筒体内、靠近下封头一端设置有带风帽的气体分布板，在所述筒体上部设置有至少一个硅粉进管，在所述筒体内设置有至少一个测温元件。本实用新型适用于年产10万吨三氯氢硅的生产工艺，采用冷氢化技术，将四氯化硅和硅粉、氢气在本实用新型的结构中反应生成三氯氢硅，具有电耗低、生产成本低、转化率高的优点，同时可取消多晶硅生产中采用“热氢化技术”必须设置的尾气回收系统，对减少多晶硅装置的投资，降低工厂综合电耗更有利。
【专利说明】四氯化硅转化三氯氢硅反应器
【技术领域】
[0001]本实用新型属于多晶硅冷氢化生产装置，特别涉及一种四氯化硅转化三氯氢硅反应器。
【背景技术】
[0002]在国内多晶硅装置中，四氯化硅转化三氯氢硅的技术大都是采用电化学还原氢化的技术，俗称“热氢化”技术。该技术电耗高、四氯化硅转化率低、加热片需定期更换，生产成本高。
实用新型内容
[0003]本实用新型的发明目的在于:针对上述存在的问题，提供一种适用于年产10万吨
三氯氢硅生产工艺的四氯化硅转化三氯氢硅反应器。
[0004]本实用新型的技术方案是这样实现的:四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于:包括筒体以及设置在筒体上、下端的上封头和下封头，在所述上封头上设置有气体出口，在所述下封头上设置有气体进口，在所述筒体内、靠近下封头一端设置有带风帽的气体分布板，在所述筒体上部设置有至少一个硅粉进管，在所述筒体内设置有至少一个测温元件。
[0005]本实用新型所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其所述上封头呈椭圆状，所述下封头呈锥形。
[0006]本实用新型所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其所述硅粉进管与硅粉自动加料系统连接。
[0007]本实用新型所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其在所述气体出口的管路上设置有急冷液喷淋。
[0008]本实用新型所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其在所述反应器顶部上方设置有旋风分离器，所述旋风分离器的料腿插入反应器内部。
[0009]本实用新型适用于年产10万吨三氯氢硅的生产工艺，采用冷氢化技术，将四氯化娃和娃粉、氢气在本实用新型的结构中反应生成三氯氢娃，具有电耗低、生产成本低、转化率高的优点，同时可取消多晶硅生产中采用“热氢化技术”必须设置的尾气回收系统，对减少多晶硅装置的投资，降低工厂综合电耗更有利。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的结构示意图。
[0011]图中标记:1为筒体，2为上封头，3为下封头，4为气体出口，5为气体进口，6为带风帽的气体分布板，7为硅粉进管，8为测温元件。
【具体实施方式】[0012]下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。
[0013]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0014]如图1所示，一种四氯化硅转化三氯氢硅反应器，包括筒体I以及设置在筒体I上、下端的上封头2和下封头3，在所述上封头2上设置有气体出口 4，在所述下封头3上设置有气体进口 5，在所述筒体I内、靠近下封头3—端设置有带风帽的气体分布板6，在所述筒体I上部设置有两个硅粉进管7，在所述筒体I内设置有四个测温元件8，所述四个测温元件沿筒体径向分布。
[0015]其中，所述上封头2呈椭圆状，所述下封头3呈锥形，所述硅粉进管7与硅粉自动加料系统连接，在所述气体出口 4的管路上设置有急冷液喷淋，在所述反应器顶部上方设置有旋风分离器，所述旋风分离器的料腿插入反应器内部。
[0016]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于:包括筒体(I)以及设置在筒体(I)上、下端的上封头(2)和下封头(3)，在所述上封头(2)上设置有气体出口(4)，在所述下封头(3 )上设置有气体进口( 5 )，在所述筒体(I)内、靠近下封头(3 ) 一端设置有带风帽的气体分布板(6 )，在所述筒体(I)上部设置有至少一个硅粉进管(7 )，在所述筒体(I)内设置有至少一个测温元件(8)。
2.根据权利要求1所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于:所述上封头(2)呈椭圆状，所述下封头(3)呈锥形。
3.根据权利要求2所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于:所述硅粉进管(7)与硅粉自动加料系统连接。
4.根据权利要求2所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于:在所述气体出口(4)的管路上设置有急冷液喷淋。
5.根据权利要求2所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于:在所述反应器顶部上方设置有旋风分离器，所述旋风分离器的料腿插入反应器内部。
【文档编号】C01B33/107GK203513289SQ201320593245
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年9月25日 优先权日:2013年9月25日
【发明者】王彬, 周齐领, 李瑞芳, 王任, 彭斌 申请人:中国成达工程有限公司