臭氧发生装置制造方法

臭氧发生装置制造方法
【专利摘要】实施方式的臭氧发生装置，相对于圆筒状的高压电极，同轴地配置圆筒状的低压电极，在高压电极与低压电极之间夹着电介质施加规定的高电压而放电，通过放电产生臭氧。这里，使放电间隙长d为0.3mm～0.5mm。进而，低压电极或高压电极中的任一方形成为金属电极，另一方形成为电介质电极。并且，在与电介质电极对置的金属电极的内周面设有突起群，该突起群具有用于使该金属电极相对于电介质电极保持放电间隙长的同时保持同轴的多个突起。
【专利说明】臭氧发生装置

【技术领域】
[0001] 本发明的实施方式涉及臭氧发生装置。

【背景技术】
[0002] 通常的臭氧发生装置具备在气密容器内配置的电介质电极和金属电极。并且，在 电介质电极与金属电极之间插入了用于形成放电间隙的间隔件。这里，在电介质电极的内 面设有导电膜。
[0003] 在这样的臭氧发生装置中，从气体入口导入到气密容器内的原料气体流过在电介 质电极与金属电极之间形成的放电间隙。并且，流过放电间隙的原料气体从气体出口流出。
[0004] 与该原料气体的导入并行地，从高压电源将交流高电压经由熔丝（fuse)及高压 供电端子向电介质电极与金属电极之间施加。
[0005] 当施加了交流高电压，则在放电间隙形成电介质阻挡放电，产生臭氧。另外，电介 质阻挡放电简称为阻挡放电，或者也称为无声放电。
[0006] 由该电介质阻挡放电产生的热被供给到由金属电极和气密容器形成的冷却水流 路内的冷却水冷却。由此，抑制放电间隙的气体温度上升，能够有效地得到臭氧。
[0007] 以往的通常的臭氧发生装置中，放电间隙长d设为0. 6mm?I. 3mm。此外，作为原 料气体的空气的气压P设为〇. 17?0. 28MPa(绝对压）。
[0008] 此外，原料气体的气压p与放电间隙长d之积通常称为Pd积。通过使该Pd积固 定，放电的相似法则成立。这是因为，Pd积表示放电间隙中的气体分子数。
[0009] 例如，在放电间隙中通过的电子的倍增用气体的电离系数α与放电间隙长d之积 ad表示。
[0010] 并且，将积ad如下式那样改写。
[0011] ad= (a/p) (pd)
[0012] 这里，/p表示由单一碰撞导致的电离，pd积表示放电间隙中包含的分子数。这是 因为，有名的提供放电开始电压的Paschen法则是pd积的函数。
[0013] 以往采用的放电间隙长d如上述那样在0· 6mm以上的区域。放电间隙长d= 0· 6mm 以上的区域中，pd积相对于臭氧收获率的最优值为接近20kPa·cm的固定值。因此，臭氧 收获率的进一步提高是困难的。
[0014] 现有技术文献
[0015] 专利文献
[0016] 专利文献1:日本特开平10 - 182109号公报 发明概要
[0017] 发明要解决的课题
[0018] 因而，为了提高臭氧收获率，可以考虑将放电间隙长d设为小于0. 6mm的最优值。
[0019] 以往，为了形成放电间隙而使用不锈钢钣金制的间隔件（钣金间隔件）。
[0020] 然而，从强度的观点来看，可以使用的环状的钣金间隔件的板厚为0. 2mm左右。例 如，在希望使放电间隙长为〇.4_的情况下，实际上将空间全部填充，其使用是困难的。
[0021] 此外，虽然向钣金间隔件插入电介质电极，但在结构上，仅在两端部的2个部位能 够插入。此外，金属电极（例如不锈钢管）和电介质电极（放电管）都多少有弯曲。因此，在 钣金间隔件无法插入的中央部，放电间隙长d不成为所希望的值，结果，臭氧发生效率（g/ kWh)比理论值更低。


【发明内容】

[0022]
[0023] 因此，本发明的目的在于，提供即使在使放电间隙长小于0.6mm的情况下，也能够 将放电间隙长在长度方向上维持固定而达成更高的臭氧收获率的臭氧发生装置。
[0024] 用于解决课题的手段
[0025] 实施方式的臭氧发生装置，相对于圆筒状的高压电极，同轴地配置圆筒状的低压 电极，在高压电极与低压电极之间夹着电介质施加规定的高电压而放电，通过放电产生臭 氧。
[0026] 这里，放电间隙长d设为0. 3mm?0. 5mm。
[0027] 进而，低压电极或高压电极中的任一方形成为金属电极，另一方形成为电介质电 极。
[0028] 并且，在与上述电介质电极对置的上述金属电极的内周面设有突起群，该突起群 具有多个突起，该多个突起用于使该金属电极相对于上述电介质电极保持上述放电间隙长 并保持为同轴。

【专利附图】

【附图说明】
[0029] 图1是实施方式的臭氧发生装置的概要结构剖面图。
[0030] 图2是实施方式的臭氧发生装置的臭氧发生原理说明图。
[0031] 图3A是电介质电极的加工尺寸图。
[0032] 图3B是形成了突起的金属电极的加工尺寸图。
[0033] 图3C是图3B的A-A剖面图。
[0034] 图3D是在金属电极内插入了电介质电极的状态的说明图。
[0035] 图4A是突起形成的原理说明图（其1)。
[0036] 图4B是突起形成的原理说明图（之2)。
[0037] 图5A是金属电极的长度方向上的各突起群的配置位置的优化时的研宄模型的说 明图（之1)。
[0038] 图5B是金属电极的长度方向上的各突起群的配置位置的优化时的研宄模型的说 明图（之2)。
[0039] 图6A是电介质电极和金属电极的一个峰部的弯曲的状态的说明图。
[0040] 图6B是电介质电极和金属电极的两个以上峰部的弯曲的状态的说明图。
[0041] 图7A是电介质电极插入前的金属电极的状态的说明图。
[0042] 图7B是在金属电极弯曲时将电介质电极插入到金属电极中的情况下的放电间隙 的状态的说明图。
[0043] 图8A是有限要素法模型的整体图。
[0044] 图8B是有限要素法模型的端部放大图。
[0045] 图8C是有限要素法模型的剖面说明图。
[0046] 图9A是突起与电介质电极接触的情况下（接触时）的点一面接触要素模型的说 明图。
[0047] 图9B是突起没有与电介质电极接触的情况下（非接触时）的点一面接触要素模 型的说明图。
[0048] 图IOA是有限要素法模型的局部截断放大立体图。
[0049] 图IOB是点一面接触要素的配置说明图。
[0050] 图IOC是图IOB的A-A剖面图。
[0051] 图IOD是图IOB的B-B剖面图。
[0052] 图IOE是图IOB的C一C剖面图。
[0053] 图IlA是采用有限要素法模型的解析状态的说明图（之1)。
[0054] 图IlB是采用有限要素法模型的解析状态的说明图（之2)。
[0055] 图IlC是采用有限要素法模型的解析状态的说明图（之3)。
[0056] 图12A是金属电极18的Y方向位移量的说明图。
[0057] 图12B是电介质电极17的Y方向位移量的说明图。
[0058] 图13是有限要素法模型的部分剖面立体图。
[0059] 图14是脱离量的说明图。
[0060] 图15是长度L3与最大脱离量的关系的说明图。
[0061] 图16是金属电极弯曲为正弦曲线状的情况的长度L3与最大脱离量的关系的说明 图。
[0062] 图17A是电介质电极插入前的金属电极的状态的说明图。
[0063] 图17B是插入前的电介质电极的状态的说明图。
[0064] 图17C是伴随着金属电极的弯曲的、电介质电极插入时的摩擦的问题的说明图 (之 1)。
[0065] 图17D是伴随着金属电极的弯曲的、电介质电极插入时的摩擦的问题的说明图 (之 2)。
[0066] 图18是表示放电间隙与臭氧收获率的关系的图。
[0067] 图19是表示变更了放电间隙长d时由突起31产生的反作用力的合计值（N)的图。
[0068] 图20是突起的高度与接触到电介质电极的突起的数量（接触点数）之间的关系 的说明图。
[0069] 图21是突起的高度=0. 39mm的情况下的突起的接触状态的说明图。
[0070] 图22是突起的高度=0. 41mm的情况下的接触状态的说明图。
[0071] 图23A是突起的高度=0. 41mm的情况下的接触状态的模拟结果的说明图。
[0072] 图23B是突起的高度=0. 41mm的情况下的接触状态的实际状态的说明图。
[0073] 图24A是构成突起群的突起的数量=3的情况的说明图。
[0074] 图24B是构成突起群的突起的数量=4的情况的说明图。
[0075] 图24C是构成突起群的突起的数量=5的情况的说明图。
[0076] 图24D是构成突起群的突起的数量=5的情况的说明图。
[0077]图25是突起的数量=3的情况下的斥力计算条件的说明图。
[0078] 图26是突起数和反作用力合计的平均值的说明图。
[0079] 图27是对突起数=3的情况下的反作用力的平衡进行说明的图。
[0080] 图28是用于对电介质电极与金属电极的同轴度进行研宄的图。
[0081] 图29是对突起的数量与最小间隙比突起高度小的程度之间的关系进行说明的 图。
[0082] 图30A是用于说明更具体的突起的形状的、金属电极的突起群的形成部附近的局 部截断立体图。
[0083] 图30B是图30A的A方向向视放大剖面图。
[0084] 图31是实施方式的变形例的说明图。

【具体实施方式】
[0085] 接下来，参照附图对实施方式进行说明。
[0086] 图1是实施方式的臭氧发生装置的概要结构剖面图。
[0087] 实施方式的臭氧发生装置10构成为电介质阻挡放电式的臭氧发生装置。
[0088] 臭氧发生装置10大致具备：臭氧发生装置主体11、将臭氧发生装置主体11以气 密状态进行收纳的收纳容器12、以及经由高压绝缘子13向收纳容器12内的臭氧发生装置 主体11供给臭氧发生用电力的高压电源（高压交流电源）14。
[0089] 收纳容器12内的臭氧发生装置主体11配置有：多个电介质电极17,经由与高压 绝缘子13电连接的连接板15及熔丝16提供臭氧发生用电力；以及圆筒状的不锈钢钢制的 金属电极18,与电介质电极17的外周面分别对置，保持规定的放电间隙长d且保持为同轴 状态。
[0090] 这里，图1中，电介质电极17从左右两方向被同轴地插入到金属电极18内。并且， 电介质电极17由于被供给高压电源，因此作为高电位侧电极发挥功能。
[0091] 此外，在金属电极18的与电介质电极17对置的面的相反面侧，与金属电极18 - 体地形成有冷却水流路19。即，作为整体，成为蜂窝状的金属电极集合体18A。这里，金属 电极集合体18A接地，金属电极18作为低电位侧电极发挥功能。
[0092] 在该金属电极18的背面设置的冷却水流路19配置在，设置于收纳容器12的将冷 却水导入的冷却水入口 21与将冷却水导出的冷却水出口 22之间。
[0093] 进而，收纳容器12设有将原料气体导入的气体入口 23以及将未反应的原料气体 和臭氧（O3)导出的气体出口 24。
[0094] 图2是实施方式的臭氧发生装置的臭氧发生原理说明图。
[0095] 如上所述，在收纳容器12内，配置有圆筒状的电介质电极17。对置于该电介质电 极17的外周面，以保持规定的放电间隙长d的状态配置有圆筒状的金属电极18。
[0096] 这里，对电介质电极的详细结构进行说明。
[0097] 电介质电极17,作为具有耐热性及耐电压性的电介质，具备由热膨胀系数小的石 英玻璃等形成且形成为圆筒状（试验管状）的圆筒状电介质25。在圆筒状电介质25的内 周面，形成有作为导电电极（高电位侧电极）的电极皮膜层26。该电极皮膜层26与经熔丝 16连接于高压电源14的高压供电端子27连接。
[0098] 在上述结构中，圆筒状电介质25由石英玻璃、硼硅酸盐玻璃，高硅玻璃、铝硅酸盐 玻璃、陶瓷等形成。
[0099] 此外，电极皮膜层26将金、银、铜、不锈钢、铬、锡、锌、镍碳（Ni-C)或者铝通过溅 射、喷镀、蒸镀、无电解镀、电解镀、塗料涂敷等形成。
[0100] 在上述结构中，与放电间隙长d的距离相当的放电间隙长d被设定为，比以往的通 常的臭氧发生装置的放电间隙长即〇. 6mm短的0. 3mm?0. 5mm。
[0101] 接着，对为了设定为间隙长d= 0. 30mm?0. 50mm、对金属电极18的突起31的形 成方法进行详细说明。
[0102] 以下的说明中，根据实验结果，在放电间隙长d的范围内，以臭氧收获率更高的放 电间隙长d= 0. 40mm的情况为主来说明。
[0103] 在形成本实施方式的金属电极18时，在不锈钢管的内周面形成例如4个凸状的突 起31〇
[0104] 并且，使与4个突起31的顶端内切的内切圆的直径D比作为放电管的电介质电极 17的直径稍大。结果，通过向金属电极18插入圆筒状的电介质电极17,从而通过4个突起 31而使放电间隙长d成为所希望的值（上述例子的情况为0. 4_)。
[0105] 以下，将用于在构成金属电极18的不锈钢管上形成突起31的加工称作间隔 (spacing)加工。
[0106] 如上所述，电介质电极17是在内周面（内侧）形成有电极皮膜层26的管状（试 验管状）的电介质（玻璃或陶瓷）。
[0107] 图3A是电介质电极的加工尺寸图。
[0108] 图3B是形成了突起的金属电极的加工尺寸图。
[0109] 图3C是图3B的A-A剖面图。
[0110] 图3D是向金属电极内插入了电介质电极的状态的说明图。
[0111] 图3B?图3D中，为了容易理解，将突起31相对于作为金属电极18的不锈钢管的 直径夸张地图示。
[0112] 如图3A所示，将电介质电极（放电管）17的外径设为D1，并假设电介质电极17在 制造上有±0. 15mm的偏差。
[0113] 这里，将突起31的顶端与在金属电极18内插入的电介质电极17之间的隙间设为 α。考虑到制造上的偏差，为了使所制造的全部的电介质电极17能够插入到金属电极18 内，需要如图3Β及图3C所示那样，对具有突起31的金属电极18进行加工，以使得与全部 的突起31的顶端内切的内切圆CI的直径D满足⑴式。
[0114] D= (D1+0. 15)+a[mm] (I)
[0115] 当向如上述那样加工的金属电极18内插入电介质电极17时，即使金属电极18或 者电介质电极17中发生了在制造时设想的弯曲，也如图3D所示那样，长度方向中央部CP 处的放电间隙长d在设计范围内。
[0116] 接着，对突起31的形成方法进行说明。
[0117] 图4A是突起形成的原理说明图（之1)。
[0118] 图4B是突起形成的原理说明图（之2)。
[0119] 首先，如图4A所示，向构成金属电极18的不锈钢管之中插入模具（淬火钢）41。 并且，例如，在同一圆周上形成4处突起31的情况下，将可动型的冲头（punch)Pl、P2配置 在错开90度的位置。进而，在与冲头P1、P2分别对置的位置，分别配置固定型的冲头P11、 P12〇
[0120] 接着，将可动型的冲头Pl向箭头Al方向按压，将冲头P2向箭头A2方向按压。
[0121] 结果，冲头P1、P2、P11、P12全部与金属电极18抵接。于是，原样继续对冲头Pl及 冲头P2的按压。结果，缓慢形成突起31，如图4B所示那样，使形成的突起31的顶端碰撞到 模具41。
[0122] 此时，考虑到按压停止后的返回量来设定模具41的尺寸。通过该设定，能够得到 所希望的突起31的高度（例如，0. 40mm)。
[0123] 以上是对突起31的形成方法的说明，但该情况下，最优的突起31需要是怎样的突 起、即求取突起31的设计最优值成为重要的课题。
[0124] 以下，对求取突起31的设计最优值时应考虑的事项进行研宄。
[0125] 本实施方式中，如图3所示，在金属电极18的长度方向两端部CT1、CT2以及长度 方向中央部CP这3处的同一圆周上分别配置有由多个（图3中为4个）突起31构成的突 起群。即，对1个金属电极18,形成了合计12个（3处X4个）突起31。
[0126] 本实施方式中，对以下3点进行研宄。
[0127] (1)金属电极的长度方向上的各突起群的配置位置的优化
[0128] 在将突起群设置在金属电极18的长度方向两端部CTl、CT2以及长度方向中央部 CP这3处的情况下，设置在长度方向中央部CP的突起群最优选的是设置在放电区域的中 央。
[0129] 另一方面，设置在金属电极18的长度方向两端部CT1、CT2的突起群的位置（距放 电区域的两端的距离）具有选择的自由度。
[0130] 相对于此，在从突起31抵接的位置远离的部位，存在放电间隙长d与突起31的高 度不同的情况。特别是在金属电极18或电介质电极17弯曲了的情况下，放电间隙长d与 突起31的高度不同。
[0131] 因而，考虑到即使在金属电极18或电介质电极17弯曲了的情况下、也存在使放电 间隙长d与突起31的高度之差为最小的突起群的位置，从而对金属电极18的长度方向上 的各突起群的最优的配置位置进行了研宄。
[0132] (2)突起顶端与电介质电极之间的间隔的优化
[0133] 在电介质电极17或金属电极18弯曲了的情况下，当将电介质电极17向金属电极 18内插入时，电介质电极17及金属电极18分别弹性变形。
[0134] 结果，在突起31中发生反作用力。突起31发生反作用力的结果是，电介质电极17 向金属电极18插入时产生摩擦力。这里，为了减小摩擦力，需要使突起31的顶端的内切圆 CI(参照图3)的直径D比电介质电极17的直径Dl大一些。另一方面，若使内切圆CI的直 径D过大，则放电间隙长d会变化，因此存在上限。
[0135] 于是，对于使内切圆CI的直径D比电介质电极17的直径Dl大一些时的量（突起 顶端与放电管的间隔）的最优值进行了研宄。
[0136] (3)突起数的优化
[0137] 如上述那样，在本实施方式中，1个突起群的突起31的数量是4个。为了将电介质 电极17在金属电极18内同轴地保持，突起数需要设置至少3个以上。另一方面，其上限受 金属电极18的尺寸限制，若过多则加工中的性价比降低。
[0138] 于是，对于突起31的数量，从电介质电极17或金属电极18弯曲时的电介质电极 17的插入摩擦力的观点出发，在突起31的数量为3个?10个的范围内对突起31的个数的 最优值进行了研宄。
[0139] 首先，对金属电极的长度方向上的各突起群的配置位置的优化进行研宄。
[0140] 图5A是金属电极的长度方向上的各突起群的配置位置的优化时的研宄模型的说 明图（之1)。
[0141] 图5B是金属电极的长度方向上的各突起群的配置位置的优化时的研宄模型的说 明图（之2)。
[0142] 本实施方式中，假设突起群如上所述，设置在金属电极18的长度方向两端部CT1、 CT2以及长度方向中央部CP这3处。
[0143] 金属电极18的长度方向上的各突起群的配置位置的优化是指，在图5A、图5B中求 取长度Li、L2、L3、L4的最优值的问题。
[0144] 该情况下，由于对称性，L1=L2,L3=L4。因此，长度方向中央部的支承点成为放 电空间的中央。由此，未知数仅是L3( =L4)，成为求取长度L3与全长L之比的问题。
[0145] 这里，针对电介质电极17及金属电极18,对弯曲进行考察。
[0146] 图6A是电介质电极及金属电极的1个峰部的弯曲的状态的说明图。
[0147] 图6B是电介质电极及金属电极的2个以上峰部的弯曲的状态的说明图。
[0148] 电介质电极17及金属电极18通常多少会有弯曲。在经验上，作为弯曲的状态，基 本上是具有一个峰部（一次成分）的弯曲的情况。另一方面，基本上没有具有两个以上峰 部的弯曲的情况（二次成分以上）。此外，一个峰部的情况的弯曲程度设为振幅δ1，两个 峰部的情况的弯曲程度设为振幅S2，
[0149] 贝丨Jδ1 >>δ2，
[0150] 通常，
[0151] δη>>δη+1〇
[0152] 假设将弯曲的状态下的峰部的数量设为η时将弯曲成分称作η次成分，则上述经 验规则能够换言为"二次成分的振幅S2比一次成分的振幅δ1小。"。按照该经验规则，峰 部的一次成分即振幅S1最大。弯曲的管通常具有一次成分（振幅δ1)到η次成分（δη)。
[0153] 但是，实际上，如图6Β所示那样，弯曲的一次成分（相当于振幅δ1)大到支配弯 曲整体的程度。因此，即使忽视二次以上的成分（包含振幅S2)也没问题。
[0154] 另外，即使以少数的比例观测到2个以上的峰部，该管也只是不包含弯曲的一次 成分（振幅S1)。此外，如上所述，由于二次成分（振幅δ2)本来就比一次成分小，因此可 以认为对放电间隙长d的不均一的影响量较小。
[0155] 基于以上内容，在本实施方式中，设为管的弯曲为"1个峰部"的情况进行研宄。
[0156] 首先，描述当长度L3F适当时会产生怎样的问题。
[0157] 图7A是电介质电极插入前的金属电极的状态的说明图。
[0158] 图7B是在金属电极弯曲时将电介质电极插入到金属电极中的情况下的放电间隙 的状态的说明图。
[0159] 如图7A所示，在金属电极18弯曲的状态下直接将电介质电极17插入到金属电极 18中的情况下，成为图7B所示的状态。
[0160] 即，图7B中，如虚线圆内所示，在突起31与电介质电极17抵接的部分，放电间隙 长d变得与突起31的高度相等。另一方面，如实线圆内所示，在突起31与电介质电极17 不抵接的部分，放电间隙长d变得与突起31的高度不同。
[0161] 将此时的突起31与电介质电极17不抵接的各部分中的放电间隙长d与突起31 的高度之差的大小称作脱离量。该脱离量的程度依赖于与突起31的形成位置相当的距放 电空间端部的长度（距离）L3。
[0162] 因而，作为制品设计，需要求取使放电间隙长d的脱离量最少的长度（距离）L3。
[0163] 这里，更具体地进行研宄。
[0164] 以下，将电介质电极17及金属电极18分别作为管（pipe)来处理，利用有限要素 法求出了脱离量和脱离量最少的突起311的最优位置。
[0165] 该情况下，在计算上，仅考虑电介质电极17及金属电极18的剖面，分别设为用直 线及函数y=f(X)表示的曲线来处理。
[0166] 并且，将用函数y=f(x)表示的曲线与直线所间隔的量称作"翘曲量"。
[0167] 将由金属电极18的弯曲所引起的翘曲量y记作金属电极18的长度方向的函数 f(X)，则现实的表现金属电极的弯曲方法的函数f(X)可以考虑各种情况。
[0168] 以下，作为代表例，对抛物线的情况和正弦曲线的情况进行研宄。
[0169] ⑷抛物线的情况
[0170] 抛物线的情况下，表现金属电极的弯曲方法的函数f (X)例如用（2)式表示。
[0171][数学式1]
[0172]f(X)=_a(X2-Lx)+a(L32_L·L3) (2)
[0173] 其中，a是正的值。
[0174] X=L3时，（2)式变得如下。
[0175][数学式2]
[0176] f(L3) =-a(L32-L·L3) = 0 (3)
[0177]SP，突起31的位置上的翘曲量是零。
[0178] 翘曲量在正侧取最大值是指
[0179][数学式3]
[0180] X=-C4) 2
[0181] 的情况。
[0182][数学式4]

【权利要求】
1. 一种臭氧发生装置，相对于圆筒状的高压电极，同轴地配置圆筒状的低压电极，在上 述高压电极与上述低压电极之间夹着电介质施加规定的高电压而放电，通过上述放电产生 臭氧，其中， 放电间隙长d为0. 3mm?0. 5mm， 上述低压电极或上述高压电极中的任一方形成为金属电极，另一方形成为电介质电 极， 在与上述电介质电极对置的上述金属电极的内周面设有突起群，该突起群具有多个突 起，该多个突起用于使该金属电极相对于上述电介质电极保持上述放电间隙长并保持为同 轴。
2. 如权利要求1所述的臭氧发生装置， 上述突起群至少设置在放电空间的长度方向的中央部、以及分别距上述放电空间的两 端为规定距离L3的位置这3处。
3. 如权利要求2所述的臭氧发生装置， 上述规定距离L3规定为，使上述放电空间中的放电间隙长相对于预先设定的基准放 电间隙长的脱离量为最小。
4. 如权利要求1所述的臭氧发生装置， 上述突起群具备4个或5个或6个上述突起。
5. 如权利要求4所述的臭氧发生装置， 构成上述突起群的上述突起配置在同一圆周上或具有规定宽度的圆环状的区域内。
6. 如权利要求1?5的任一项所述的臭氧发生装置， 相对于上述放电间隙长d，设上述突起的高度为（d - α )的情况下，使 0. 01 < α < 0. 10mm。
7. 如权利要求1?5的任一项所述的臭氧发生装置， 上述电介质电极被插入上述金属电极内， 上述金属电极形成有多个移动抑制用突起，该移动抑制用突起，其高度比上述突起的 高度高，与插入的上述电介质电极的顶端抵接而限制上述电介质电极向插入方向的移动。
【文档编号】C01B13/11GK104520230SQ201380041828
【公开日】2015年4月15日 申请日期:2013年3月14日 优先权日:2012年8月9日
【发明者】高桥良一, 村田隆昭, 纳田和彦, 久保贵恵 申请人:株式会社东芝