一种适用于过滤电子级磷酸的滤料的制作方法
【专利摘要】一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是：包括两层在PTFE滤布，所述两层PTFE滤布上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道，所述PTFE圆形通道的长度为8~12mm，所述PTFE滤布为高缜密基布，所述PTFE滤布的内表面覆有Gore膜，所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜。采用Gore膜对磷酸进行过滤,通过与PTFE滤布的复合使用，代替通常使用的化纤滤布进行过滤,可以控制微粒要求0.2μm以下，满足工厂适用于大规模集成电路加工工艺，用于小于0.09-0.20um线宽电路蚀刻。
【专利说明】一种适用于过滤电子级磷酸的滤料
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及滤料【技术领域】，具体涉及一种一种适用于过滤电子级磷酸的滤料。
【背景技术】
[0002]电子级磷酸属高纯磷酸，高纯磷酸￠#00是电子行业使用的一种超高纯化学试剂，属于微电子化学产品之一，目前世界上仅有美国、日本、韩国等少数几个国家能够生产。电子级磷酸广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻，包括:①基片涂胶前的清洗；②光刻过程中的蚀刻及最终去胶；③硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。近年来，随着我国微电子和面板产业的高速发展，世界上许多著名X晶圆代工、半导体封装以及120、一 1X0企业巨头在中国大陆投资建厂，电子化学品的需求越来越大。“十五”期问，我国电子专用超净高纯化学试剂需求量超过1万I而国内生产企业仅能提供10%。其中，国内通用型试剂市场今后的年增长率仍将维持在5% — 8%左右，电子化学品市场预计超过80亿美元，年增长率近20% ；世界电子化学品产业市场年平均净增长率为8%以上。电子级磷酸由于具有优良的性能，已成为电子工业不可缺少的电化学品之一，其需求量正逐年增长。
[0003]电子级磷酸的制备关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。因其有强酸性，传统的过滤布已不能使用电子级磷酸的技术要求。
【发明内容】
[0004]为了克服【背景技术】中的不足，本实用新型公开了一种适用于过滤电子级磷酸的滤料。
[0005]为了实现所述实用新型目的，本实用新型采用如下技术方案:一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是:包括两层在滤布，所述两层滤布上设置圆孔，所述两层？1而滤布上圆孔之间设置有？1而圆形通道，所述？1而圆形通道的长度为『12臟，所述滤布为高缜密基布，所述？1而滤布的内表面覆有膜，所述滤布的外表面附有？1而膜。
[0006]本实用新型所述圆形通道为两个以上。
[0007]本实用新型所述有机材料涂层为环氧树脂。
[0008]本实用新型所述有机材料涂层为酚醛树脂。
[0009]由于采用了上述技术方案，本实用新型具有如下有益效果:采用膜对磷酸进行过滤，通过与？I'而滤布的复合使用，代替通常使用的化纤滤布进行过滤，可以控制微粒要求0.2 V！！！以下，满足工厂适用于大规模集成电路加工工艺，用于小于0.09-0.20皿线宽电路蚀刻。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的结构示意图。
[0011]图中:1、？1冊滤布；2、？丁冊膜；3、有机材料涂层；4、？丁圆形通道；5、如6膜。
【具体实施方式】
[0012]通过下面的实施例可以详细的解释本实用新型，公开本实用新型的目的旨在保护本实用新型范围内的一切技术改进。
[0013]本实用新型提供了一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，包括两层滤布1，所述两层滤布1上设置圆孔，所述两层滤布上圆孔之间设置有圆形通道4，所述圆形通道4的长度为『12臟，所述滤布1为高缜密基布，所述？1而滤布1的内表面覆有膜5，所述滤布的外表面附有？1而膜2 ；所述膜的外表面复合有机材料涂层3。所述有机材料涂层3为环氧树脂。所述有机材料涂层3为酚醛树脂。
[0014]将本实用新型投入实际的工况使用，经实施证明，本实用新型在连续使用的情况下，可以控制微粒要求0.2 110以下，满足工厂适用于大规模集成电路加工工艺，用于小于0.09-0.2011111线宽电路蚀刻。
[0015]本实用新型未详述部分为现有技术。
【权利要求】
1.一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是:包括两层PTFE滤布(I)，所述两层PTFE滤布(I)上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道(4)，所述PTFE圆形通道(4)的长度为8?12mm，所述PTFE滤布(I)为高缜密基布，所述PTFE滤布(I)的内表面覆有Gore膜(5 )，所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜(2 )。
2.如权利要求1所述的适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是:所述圆形通道为两个以上。
3.如权利要求1所述的适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是:所述PTFE膜的外表面复合有机材料涂层(3 )。
4.如权利要求3所述的适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是:所述有机材料涂层(3)为环氧树脂。
5.如权利要求3所述的适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是:所述有机材料涂层(3)为酚醛树脂。
【文档编号】C01B25/234GK204182188SQ201420595433
【公开日】2015年3月4日 申请日期:2014年10月15日 优先权日:2014年10月15日
【发明者】王立平, 王国强, 耿瑞娟, 王东辉, 张颖 申请人:洛阳盛洁环保科技有限公司