一种籽晶加工用生长装置的制作方法

1.本实用新型属于籽晶生产技术领域，尤其涉及一种籽晶加工用生长装置。


背景技术：

2.目前碳化硅单晶的主流长晶方法为pvt法，在该方法中，通常使用石墨坩埚作为籽晶生长装置，坩埚盖的下底部连接有生长台座，生长台座用于粘接籽晶以进行单晶生长，在此过程中，原料在坩埚底部进行烧结并升华成气体，原料气体在向上流动的过程中与籽晶表面接触，进而结晶生长。在生产过程坩埚的固定一般采用固定夹子进行固定，操作繁琐，且固定稳定性差。


技术实现要素：

3.本实用新型实施例的目的在于提供一种籽晶加工用生长装置，旨在解决操作繁琐，且固定稳定性差的问题。
4.本实用新型实施例是这样实现的，一种籽晶加工用生长装置，所述籽晶加工用生长装置包括：基座；基座上固定设置有加热套；基座上固定连接有固定架，固定架上可升降的设置有升降架，升降架上固定连接有夹持圈，夹持圈的上下面上均周向转动设置有若干夹持杆，夹持圈上转动设置有转动环，转动环通过连接杆转动连接在夹持杆的非夹持端；持杆的非夹持端开设有条形槽，连接杆的端部嵌套在条形槽的内部。
5.优选地，所述转动环上滑动设置有定位栓，定位栓并弹簧进行向内移动穿过转动环卡在夹持圈的内部。
6.优选地，所述夹持圈的内部设置有齿槽，定位栓的端部卡在齿槽的内部。
7.优选地，所述转动环的外壁设置有防滑条。
8.优选地，所述加热套的内部设置有冷却管和加热丝，加热丝与控制器连接，冷却管盘绕在加热套的内部，且两端连接有注水管和排水管。
9.优选地，所述冷却管和加热丝均为螺旋结构，并交替设置。
10.优选地，所述基座的底部四角固定设置有支撑腿。
11.优选地，所述支撑腿螺纹嵌套在基座上。
12.本实用新型提供一种籽晶加工用生长装置，通过反向转动转动环，转动环通过连接杆带动夹持杆反向转动，夹持杆的夹持端向外移动将坩埚放开，从而使夹持方便快捷。从坩埚的外围周向进行夹持，使坩埚的夹持稳定可靠。从夹持圈上下侧对坩埚进行夹持，实现了两个平面进行夹持，双平面夹持，夹持稳定性好。夹持杆的非夹持端开设有条形槽，连接杆的端部嵌套在条形槽的内部，从而可以实现转动环相对夹持圈转动产生的径向位移。便于对转动控制。
13.本实用新型优点：结构简单，操作方便，夹持稳定，控制便捷。
附图说明
14.图1为本实用新型实施例提供的一种籽晶加工用生长装置的立体结构图；
15.图2为本实用新型实施例提供的一种籽晶加工用生长装置的俯视结构示意图；
16.图3为图2中a的剖视图；
17.图4为本实用新型实施例提供的一种籽晶加工用生长装置中夹持圈的立体结构示意图。
18.附图中：基座1，支撑腿2，调节旋钮3，加热套4，定位栓5，转动环6，夹持圈7，连接杆8，夹持杆9，坩埚10，伸缩杆11，固定架12，旋钮杆13，注水管14，排水管15，条形槽16，冷却管17，加热丝18，升降架19，籽晶架20，籽晶21。
具体实施方式
19.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
20.以下结合具体实施例对本实用新型的具体实现进行详细描述。
21.如图1-4所示，为本实用新型实施例提供的一种籽晶加工用生长装置的结构图。所述籽晶加工用生长装置包括：基座1、加热套4、升降架19和转动环6。
22.基座1，形成安装主体，可以是金属结构，内部设置有控制器，控制器为现有技术。基座1上固定设置有加热套4，加热套4的内部设置有冷却管17和加热丝18，加热丝18与控制器连接，通过控制器控制加热丝18的加热温度，控制器可以与调节旋钮3连接，通过调节旋钮3可以控制加热温度和加热时间，从而便于对加热套4的定量和定时进行加热。基座1上可以设置有显示器，通过显示器可以显示加热温度从而实现了控制，控制方便快捷。冷却管17盘绕在加热套4的内部，且两端连接有注水管14和排水管15，冷却水通过注水管14进入到冷却管17的内部进行冷却，冷却水最后从排水管15排出，从而实现冷却，从而便于对加热套4进行冷却。冷却管17和加热丝18可以均为螺旋结构，并交替设置。通过冷却管17和加热丝18可以实现温度的控制，从而实现了籽晶21生长环境温度的控制。基座1的底部四角固定设置有支撑腿2，支撑腿2的设置便于对基座1进行支撑，支撑腿2可以螺纹嵌套在基座1上，通过转动支撑腿2可以调节基座1的水平程度，从而使基座1处于水平状态。
23.基座1上固定连接有固定架12，固定架12可以是钢材质的l型结构，形成安装主体。固定架12上可升降的设置有升降架19，升降架19上固定连接有夹持圈7，夹持圈7的上下面上均周向转动设置有若干夹持杆9，夹持杆9的一端向内转动从而外围夹持住坩埚10。夹持杆9可以设置三个，从而确定一个圆平面。当然夹持杆9的数量具体不受限制。夹持圈7上转动设置有转动环6，转动环6通过连接杆8转动连接在夹持杆9的非夹持端。转动转动环6，转动环6通过连接杆8带动夹持杆9转动，从而使夹持杆9的夹持端向内靠拢从而将坩埚10从外围夹持住。反向转动转动环6，转动环6通过连接杆8带动夹持杆9反向转动，夹持杆9的夹持端向外移动将坩埚10放开，从而使夹持方便快捷。从坩埚10的外围周向进行夹持，使坩埚10的夹持稳定可靠。从夹持圈7上下侧对坩埚10进行夹持，实现了两个平面进行夹持，双平面夹持，夹持稳定性好。夹持杆9的非夹持端开设有条形槽16，连接杆8的端部嵌套在条形槽16的内部，从而可以实现转动环6相对夹持圈7转动产生的径向位移。便于对转动控制。转动环
6上滑动设置有定位栓5，定位栓5并通过弹簧进行向内移动穿过转动环6可以卡在夹持圈7的内部，夹持圈7的内部可以设置有齿槽，定位栓5的端部卡在齿槽的内部，从而增加了定位的稳定性。从而实现了夹持圈7和转动环6的位置固定。固定架12连接有伸缩杆11，伸缩杆11的下端伸入到坩埚10的内部并连接有籽晶架20，籽晶架20夹持有籽晶21，从而进行生产。转动环6的外壁设置有防滑条，防滑条可以是橡胶材质制成。防滑条的设置避免了转动环6转动的打滑。
24.本实用新型上述实施例中提供了一种籽晶加工用生长装置，将坩埚10放置在加热套4的内部，将籽晶21夹持在籽晶架20内部并伸入到生长液的内部，手动转动转动环6，转动环6通过连接杆8带动夹持杆9转动，从而使夹持杆9的夹持端向内靠拢从而将坩埚10从外围夹持住。通过加热丝18，或者冷却水控制坩埚10的温度，从而达到籽晶21的生长温度。籽晶21生长完成后，反向转动转动环6，转动环6通过连接杆8带动夹持杆9反向转动，夹持杆9的夹持端向外移动将坩埚10放开。
25.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种籽晶加工用生长装置，其特征在于，所述籽晶加工用生长装置包括：基座；基座上固定设置有加热套；基座上固定连接有固定架，固定架上可升降的设置有升降架，升降架上固定连接有夹持圈，夹持圈的上下面上均周向转动设置有若干夹持杆，夹持圈上转动设置有转动环，转动环通过连接杆转动连接在夹持杆的非夹持端；持杆的非夹持端开设有条形槽，连接杆的端部嵌套在条形槽的内部。2.根据权利要求1所述的一种籽晶加工用生长装置，其特征在于，所述转动环上滑动设置有定位栓，定位栓通过弹簧进行向内移动穿过转动环卡在夹持圈的内部。3.根据权利要求2所述的一种籽晶加工用生长装置，其特征在于，所述夹持圈的内部设置有齿槽，定位栓的端部卡在齿槽的内部。4.根据权利要求1所述的一种籽晶加工用生长装置，其特征在于，所述转动环的外壁设置有防滑条。5.根据权利要求1所述的一种籽晶加工用生长装置，其特征在于，所述加热套的内部设置有冷却管和加热丝，加热丝与控制器连接，冷却管盘绕在加热套的内部，且两端连接有注水管和排水管。6.根据权利要求5所述的一种籽晶加工用生长装置，其特征在于，所述冷却管和加热丝均为螺旋结构，并交替设置。7.根据权利要求1所述的一种籽晶加工用生长装置，其特征在于，所述基座的底部四角固定设置有支撑腿。8.根据权利要求7所述的一种籽晶加工用生长装置，其特征在于，所述支撑腿螺纹嵌套在基座上。

技术总结
本实用新型适用于籽晶生产技术领域，提供了一种籽晶加工用生长装置，所述籽晶加工用生长装置包括：基座；基座上固定设置有加热套；基座上固定连接有固定架，固定架上可升降的设置有升降架，升降架上固定连接有夹持圈，夹持圈的上下面上均周向转动设置有若干夹持杆，夹持圈上转动设置有转动环，转动环通过连接杆转动连接在夹持杆的非夹持端；持杆的非夹持端开设有条形槽，连接杆的端部嵌套在条形槽的内部。本实用新型优点：结构简单，操作方便，夹持稳定，控制便捷。控制便捷。控制便捷。


技术研发人员：陈志谋
受保护的技术使用者：扬州申威光电器材有限公司
技术研发日：2021.07.07
技术公布日：2022/2/18