一种单晶炉炉体结构的制作方法

1.本实用新型涉及炉体的领域，尤其涉及一种单晶炉炉体结构。


背景技术：

2.单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，炉室为双层筒状结构，两端为法兰结构，通水冷却；现有技术中的单晶炉在制作过程中，直接将水路焊接在内筒体表面，操作难度较大，易焊通，而且易导致内筒体及水路发生变形；甚至会导致后期水路发生窜水现象；而且整体结构稳定性较差，故障率高，给后期维修带来了很大的困难。因此为了使炉体的使用更稳定，使用寿命更长，需要对现有的炉体结构进行一些改进。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种结构稳定性好，使用寿命长的单晶炉炉体结构。
4.为实现上述目的，本实用新型的技术方案是提供了一种单晶炉炉体结构，包括上炉室，下炉室；所述的上炉室顶部设置有晶体提升旋转机构，所述的下炉室上端设置有炉盖，下炉室底部设置有坩埚提升旋转机构；所述的上炉室与炉盖之间设置有隔离阀室；所述的上炉室、下炉室的内筒体与外筒体之间均设置有隔水条，隔水条一侧与内筒体贴合，另一侧与外筒体贴合；所述的内筒体表面设置有若干组导向槽，所述的导向槽呈螺旋状排列并通过焊接固定设置在内筒体表面；所述的隔水条嵌入设置在导向槽内；所述的上炉室、下炉室的端面法兰内侧设置有环向的密封槽。
5.优选地：每一组所述的导向槽包括两块平行且错位设置的挡板，所述的挡板垂直于内筒体设置；所述的挡板内侧设置有弹簧片，弹簧片的上端与挡板相连接，弹簧片的下端为自由端。
6.优选地：所述的弹簧片自由状态下与挡板之间设置有夹角α，α《45
°
；所述的弹簧片中间位置设置有凸起。
7.优选地：所述的隔水条的截面设置为工字型。
8.优选地：相邻两组所述的导向槽之间的间距》150mm。
9.优选地：所述的密封槽设置为u形或燕尾状；所述密封槽的边缘均通过圆弧过渡。
10.本实用新型的有益效果如下：通过将隔水条嵌入设置在导向槽内，同样能实现隔水条贴紧内筒体表面，无需将隔水条直接焊接在内筒体上，操作方便，有效避免焊接变形给水路造成影响；将导向槽呈螺旋状排列，便于使隔水条成螺旋状缠绕在内筒体表面；将导向槽的挡板平行且错位设置以及将相邻的导向槽之间的间距设置为》150mm，避免区域集中焊接，确保内筒体结构稳定性；挡板内侧连接有弹簧片，利用弹簧的弹性对隔水条进行夹紧固定，确保隔水条贴紧内筒体；弹簧片的中间位置设置有凸起，正好与隔水条工字型截面的凹部相配合，对隔水条起到限位及固定的作用；通过在上炉室、下炉室的端面法兰内侧设置环
向的密封槽，使筒体的外表面与法兰之间形成密封，再进行焊接连接；大大提高了密封性能。
11.本实用新型结构简单紧凑，稳定性好，隔水条安装方便，且不易发生移位，有效避免焊接变形给炉体带来的影响；大大降低了水路发生窜水现象的几率；炉室的密封效果大大提高，有效避免发生渗漏现象，而且整体结构稳定性较好，减少了维修的频率，延长了炉体的使用寿命。
附图说明
12.图1是本实用新型结构示意图；
13.图2是本实用新型图1中上炉室、下炉室结构示意图；
14.图3是本实用新型图2中a的放大图；
15.图4是本实用新型图2中b的放大图；
16.图5是本实用新型图1中上炉室、下炉室的内筒体结构示意图；
17.图6是本实用新型中导向槽结构示意图；
18.图7是本实用新型中隔水条截面示意图；
19.1.上炉室；2.下炉室；3.晶体提升旋转机构；4.炉盖；5.坩埚提升旋转机构；6.隔离阀室；7.隔水条；8.内筒体；9.外筒体；10.导向槽；11.端面法兰；12.密封槽；101.挡板；102.弹簧片；103.凸起。
具体实施方式
20.下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
21.实施例1
22.一种单晶炉炉体结构，包括上炉室1，下炉室2；所述的上炉室1顶部设置有晶体提升旋转机构3，所述的下炉室2上端设置有炉盖4，下炉室2底部设置有坩埚提升旋转机构5；所述的上炉室1与炉盖4之间设置有隔离阀室6；所述的上炉室1、下炉室2的内筒体8与外筒体9之间均设置有隔水条7，隔水条7一侧与内筒体8贴合，另一侧与外筒体9贴合；所述的内筒体8表面设置有若干组导向槽10，所述的导向槽10呈螺旋状排列并通过焊接固定设置在内筒体8表面；所述的隔水条7嵌入设置在导向槽10内；所述的上炉室1、下炉室2的端面法兰11内侧设置有环向的密封槽12；使筒体的外表面与法兰之间形成密封，再进行焊接连接；大大提高了密封性能。
23.具体而言，每一组所述的导向槽10包括两块平行且错位设置的挡板101，避免区域集中焊接；述的挡板101垂直于内筒体8设置，确保内筒体结构稳定性；所述的挡板101内侧设置有弹簧片102，弹簧片102的上端与挡板101相连接，弹簧片102的下端为自由端；利用弹簧的弹性对隔水条进行夹紧固定，确保隔水条贴紧内筒体；所述的弹簧片102自由状态下与挡板101之间设置有夹角α，α《45
°
，夹紧效果较好；所述的弹簧片102中间位置设置有凸起103，正好与隔水条工字型截面的凹部相配合，对隔水条起到限位及固定的作用；所述的隔水条7的截面设置为工字型，增大了隔水条7与内筒体8、外筒体9接触面积，增强了冷却效
果；相邻两组所述的导向槽10之间的间距为200mm，间隔焊接不易导致筒体变形或焊通，该间距设置便于隔水条安装成型；所述的密封槽12设置为u形或燕尾状；密封效果较好；所述密封槽12的边缘均通过圆弧过渡；有效防止密封槽的棱角损坏密封条。
24.本实用新型结构简单紧凑，稳定性好，隔水条安装方便，且不易发生移位，有效避免焊接变形给炉体带来的影响；大大降低了水路发生窜水现象的几率；炉室的密封效果大大提高，有效避免发生渗漏现象，而且整体结构稳定性较好，减少了维修的频率，延长了炉体的使用寿命。
25.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种单晶炉炉体结构，包括上炉室(1)，下炉室(2)；所述的上炉室(1)顶部设置有晶体提升旋转机构(3)，所述的下炉室(2)上端设置有炉盖(4)，下炉室(2)底部设置有坩埚提升旋转机构(5)；所述的上炉室(1)与炉盖(4)之间设置有隔离阀室(6)；其特征在于：所述的上炉室(1)、下炉室(2)的内筒体(8)与外筒体(9)之间均设置有隔水条(7)，隔水条(7)一侧与内筒体(8)贴合，另一侧与外筒体(9)贴合；所述的内筒体(8)表面设置有若干组导向槽(10)，所述的导向槽(10)呈螺旋状排列并通过焊接固定设置在内筒体(8)表面；所述的隔水条(7)嵌入设置在导向槽(10)内；所述的上炉室(1)、下炉室(2)的端面法兰(11)内侧设置有环向的密封槽(12)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体结构，其特征在于：每一组所述的导向槽(10)包括两块平行且错位设置的挡板(101)，所述的挡板(101)垂直于内筒体(8)设置；所述的挡板(101)内侧设置有弹簧片(102)，弹簧片(102)的上端与挡板(101)相连接，弹簧片(102)的下端为自由端。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉炉体结构，其特征在于：所述的弹簧片(102)自由状态下与挡板(101)之间设置有夹角α，α<45
°
；所述的弹簧片(102)中间位置设置有凸起(103)。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体结构，其特征在于：所述的隔水条(7)的截面设置为工字型。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体结构，其特征在于：相邻两组所述的导向槽(10)之间的间距>150mm。6.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体结构，其特征在于：所述的密封槽(12)设置为u形或燕尾状；所述密封槽(12)的边缘均通过圆弧过渡。

技术总结
本实用新型公开了一种单晶炉炉体结构，特点是所述的上炉室顶部设置有晶体提升旋转机构，下炉室底部设置有坩埚提升旋转机构；所述的上炉室与炉盖之间设置有隔离阀室；所述的上炉室、下炉室的内筒体与外筒体之间均设置有隔水条，隔水条一侧与内筒体贴合，另一侧与外筒体贴合；所述的内筒体表面设置有若干组导向槽，所述的导向槽呈螺旋状排列并通过焊接固定设置在内筒体表面；所述的隔水条嵌入设置在导向槽内；所述的上炉室、下炉室的端面法兰内侧设置有环向的密封槽。优点是大大降低了水路发生窜水现象的几率；炉室的密封效果大大提高，有效避免发生渗漏现象，而且整体结构稳定性较好，减少了维修的频率，延长了炉体的使用寿命。延长了炉体的使用寿命。延长了炉体的使用寿命。


技术研发人员：张乐
受保护的技术使用者：光科真空科技（泰兴）有限公司
技术研发日：2022.05.20
技术公布日：2022/11/10