本申请涉及cvd设备，具体地涉及一种碳化硅外延设备用加热器定位治具及使用方法。
背景技术：
1、cvd设备常用于沉积薄膜，成膜时其内的加热器工作，通常加热器的温度很高，如进行碳化硅外延时温度高达2000℃，由于cvd设备长期处于高温的状态下，为了保证成膜的产品质量需要定期的维护加热器或更换加热器。目前在进行侧壁加热器维护时基本徒手作业，即操作人员手拿着电极安装在加热器上，组合好后手拿着组件装配在腔体上。在进行石墨件安装时，以前直接用拧紧工具拧，每个人的拧紧程度有差异。该方式下存在加热器与电极之间定位不准，尤其是螺丝拧紧的时候最容易出现偏差，加热器与电极位置关系未正确定位时会影响发热功率和加热器的使用寿命。还存在电极与腔体之间安装存在误差，装配在腔体上位置不准确，还容易使加热器变形；如果安装位置不准确的话会影响腔体内部的温度均匀性；另外，加热器本身比较脆弱，当安装手法不一样时，对加热器的使用寿命有影响，cvd设备进行工艺时，由于重复高温变形，拧紧程度有差异的话会导致石墨加热器个电极接触不良，存在加热差异。
技术实现思路
1、为克服上述缺点，本申请的目的在于提供一种碳化硅外延设备用加热器定位治具及使用方法。该定位治具可快速可靠的对加热器(侧壁加热器)进行维护或更换。
2、为了达到以上目的，本申请采用如下技术方案：
3、一种碳化硅外延设备用加热器的定位治具，该碳化硅外延设备包括反应腔，所述反应腔包括外壳体及位于外壳体顶部的喷淋部件，所述外壳体内设置沿其轴向配置的加热器组件，所述加热器组件包括至少一个加热器，且每个加热器配置有一对电极，所述电极的第一端固定连接所述加热器，第二端用于电性连接外部电源，
4、所述定位治具包括提手部件，所述提手部件的两侧分别具有固定部，所述固定部上设置有压紧部件，所述固定部用于穿入所述电极的所述第二端，所述压紧部件用于抵接固定所述第二端。通过提手组件可保证加热器的电极的相对位置，便于后续安装到反应腔上时的位置，还可以防止转运途中加热器受力不均匀而变形。因电极采用石墨材质，容易受力不均容易损坏。电极的第二端处于靠近喷淋部件侧，大致处于同一平面。
5、在一实施方式中，该固定部呈u型或为一侧具有开口的槽，用于穿入电极的第二端。
6、在一实施方式中，该定位治具还包括底板、支撑组件及支撑平台；
7、所述支撑组件包括复数支撑杆；
8、所述支撑平台上设置有电极定位块，其用于固定电极的第二端；
9、所述底板的一侧上设置有底部定位块，所述底部定位块呈中空的环状，所述底板上设置有安装孔，复数所述支撑杆的一端嵌入所述安装孔，另一端连接所述支撑平台。
10、在一实施方式中，该底板的远离底部定位块侧设置有滚轮组件。
11、在一实施方式中，该底部定位块的端部设置凹槽。
12、在一实施方式中，该定位治具还包括至少一个中间定位块，其配置于所述底部定位块上。
13、在一实施方式中，该压紧部件为螺栓，其用于抵接嵌入所述固定部的电极。
14、本申请实施例还提供一种上述定位治具的使用方法，其用于第一加热器的装配，该装配包括如下步骤：
15、将第一加热器放置于底部定位块上，并将第一电极的第二端固定在电极固定块上，
16、旋转所述第一加热器使得其连接端的穿孔对准所述第一电极的第一端的孔，
17、利用连接件将第一加热器与第一电极的第一端固定，完成加第一加热器与第一电极装配完成。
18、本申请实施例还提供一种上述定位治具的使用方法，其用于第二加热器的装配，该装配包括如下步骤：
19、在底板的底部定位块上安装一个中间定位块，
20、将第二加热器放置于底部定位块上，将第二电极的第二端固定在电极固定块上；
21、旋转所述第二加热器，使得其连接端的穿孔对准第二电极的第一端的孔，并利用连接件将第二加热器与第二电极固定，完成第二加热器与第二电极装配完成。
22、本申请实施例还提供一种上述定位治具的使用方法，其用于第二加热器的装配，该装配包括如下步骤：
23、在底部定位块上依次层叠2个两个中间定位块，
24、将第三加热器放置于上层的中间定位块上，
25、将第三电极的第二端固定在电极固定块上；
26、旋转所述第三加热器，使得其连接端的穿孔对准第三电极的第一端的孔，并利用连接件将第三加热器与第三电极的第一端固定，完成第三加热器与第三电极装配完成。
27、有益效果
28、通过本申请实施方式提出的加热器定位治具可以实现加热器准确定位，确保加热器与电极之间的位置关系，可以提高加热器(侧壁加热器)的使用寿命。并且可以保证每层加热器之间的关系，确保加热器的内部相对位置，从而可以提高内部的温度均匀性。通过提手组件可保证加热器的电极的相对位置，便于后续安装到反应腔上时的位置，还可以防止转运途中加热器受力不均匀而变形。
1.一种碳化硅外延设备用加热器的定位治具，其特征在于，
2.如权利要求1所述的一种碳化硅外延设备用加热器定位治具，其特征在于，
3.如权利要求1或2所述的一种碳化硅外延设备用加热器定位治具，其特征在于，
4.如权利要求3所述的一种碳化硅外延设备用加热器定位治具，其特征在于，
5.如权利要求3所述的一种碳化硅外延设备用加热器定位治具，其特征在于，
6.如权利要求3所述的一种碳化硅外延设备用加热器定位治具，其特征在于，
7.如权利要求1所述的一种碳化硅外延设备用加热器定位治具，其特征在于，
8.一种碳化硅外延设备用加热器的定位治具的使用方法，其特征在于，
9.一种碳化硅外延设备用加热器的定位治具的使用方法，其特征在于，
10.一种碳化硅外延设备用加热器的定位治具的使用方法，其特征在于，