专利名称：氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭的制作方法
在逆变器8A的1相中流动循环电流时，3相电流的和用于式9的左边则如下式，iu+iv+iw＝△i 式10因此，为了将3相电流变换为2相，必需用下面的式11代替式1。另外io是所谓的零相电流，即在3相电流平衡时为零。
将式10代入式11时，就变为io＝△i 式12因逆变器输出电压的直流偏差所流过的电流就被作为零相电流算出。由此可知，为了减少该电流，经控制使零相电流io变为零就可以。而且另一个优点是，因零相电流io是与逆变器8A、8B的输出频率无关的直流量，故容易控制电流。
图4是包含上述零相电流控制系统的控制装置的一个例子。图4中，41是用式9将3相变换为2相的3相2相变换运算装置，算出励磁电流成分id与转矩电流成分iq与零相电流成分io。零相电流成分io作为负反馈信号输入到运算装置42，生成零相电压指令υo＊，输入到将2相变换为3相的2相3相变换运算装置43，零相电流减小。
本发明的实施例1如上所述，正是为了解决在通过电抗器9A、9B并联运转逆变器8A、8B的时候，并联连接逆变器8A、8B间流着循环电流，并引起输出下降这一问题，因而其目的在于抑制并联连接的逆变器间所流动的循环电流，以防止输出下降。
在逆变器8A、8B的各相设置电流检测器20A、20B，由微机23根据电流检测器20A、20B的输出之和求出零相电流，对逆变器8A、8B的输出进行控制使上述零相电流减小。
Cr 1.5-4%Ag 0.01-0.1%煤质颗粒活性炭的粒度为1.0mm-3.0mm。
本发明的优选方案为煤质颗粒活性炭载体的粒度为1.2mm，浸渍组分的含量为(以对浸渍活性炭的重量百分比计)Cu 8-12%Hg 6-9%Cr 2-3%Ag 0.03-0.06%浸渍活性炭的制备方法如下筛取一定粒度的煤质颗粒活性炭，用CuSO4和Cr2O3的NH4OH溶液和AgNO3的乙醇溶液充分混合，在40-60℃下加入HgCl2，按活性炭水容量的70-80%液相浸渍，浸渍液的PH为8-13，浸渍后放置大于3小时，在100-150℃的条件下，于空气流中热处理2-3小时，即得该浸渍活性炭。上述浸渍，放置，热处理的过程反复进行两次。
经实验测试，此种浸渍活性炭具有较好的净化PH3AsH3的性能，在达到国际标准PH3允许浓度0.3PPmAsH3允许浓度0.05PPm的情况下具有较长的寿命。
下面结合具体实例对本发明进一步详细说明实施例一。
煤质颗粒活性炭载体的粒度为1.2mm，浸渍组分的含量为(以对浸渍活性炭的重量百分比计)9%Cu，2%Cr，0.04%Ag，6%Hg。
实验条件PH3浓度为1000PPm，AsH3浓度为1000PPm，系统压力P＝900-1000mbar，试验动力管内径为2cm，浸渍活性炭高度为1cm，气流比速V＝1L/min.cm2用瑞典VP50-RP毒物分析仪测定。
实验结果
实施例二.
煤质颗粒活性炭载体的粒度为1.2mm，浸渍组分的含量为(以对浸渍活性炭的重量百分比计)11%Cu，3%Cr，0.05%Ag，8%Hg。
实验条件PH3浓度为1000PPm，AsH3浓度为1000PPm，系统压力P＝900-1000mbar，试验动力管内径为2cm，浸渍活性炭高度为11cm，气流比速V＝0.15L/min.cm2用瑞典VP50-RP毒物分析仪测定。
实验结果在达到国际标准PH3浓度小于0.3PPm，AsH3浓度小于0.05PPm的条件下，净化时间可达到36小时。
此种浸渍活性炭可用于净化新型半导体材料MOVPE(金属有机物气相外延)技术的工艺尾气中PH3、AsH3等污染物，也可用于净化其它领域的氢气、空气气氛中PH3、AsH3等污染物。
权利要求
1.一种氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭，其特征在于，以煤质颗粒活性炭为载体，其浸渍组分有Cu、Hg、Cr、Ag，该浸渍活性炭用以净化氢气流中的磷化氢、砷化氢。
2.根据权利要求1所述的氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭，其特征在于，浸渍组分的含量为(以对浸渍活性炭的重量百分比计)Cu 7-13%Hg 5-10%Cr 1.5-4%Ag 0.01-0.1%
3.根据权利要求2所述的氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭，其特征在于，煤质颗粒活性炭的粒度为1.0mm-3.0mm。
4.根据权利要求3所述的氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭，其特征在于，浸渍组分的含量为(以对浸渍活性炭的重量百分比计)Cu 8-12%Hg 6-9%Cr 2-3%Ag 0.03-0.06%
5.根据权利要求4所述的氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭，其特征在于，煤质颗粒活性炭的粒度为1.2mm。
6.制备权利要求1所述的浸渍活性炭的一种方法，其特征在于，筛取一定粒度的煤质颗粒活性炭，用CuSO4和Cr2O3的NH4OH溶液和AgNO5的乙醇溶液充分混合，在40-60℃下加入HgCl2，按活性炭水容量的70-80%液相浸渍，浸渍液的PH为8-13，浸渍后放置大于3小时，在100-150℃的条件下，于空气流中热处理2-3小时，即得该浸渍活性炭。
7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，上述浸渍，放置，热处理的过程反复进行两次。
全文摘要
本发明涉及一种氢气流中净化PH
文档编号C01B31/08GK1076173SQ93101650
公开日1993年9月15日 申请日期1993年2月20日 优先权日1993年2月20日
发明者郭坤敏, 袁存乔, 马兰, 谢自力 申请人:中国人民解放军防化研究院