一种扩散炉sic桨固定结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及扩散炉SIC桨的固定结构。
【背景技术】
[0002]目前各种扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变和控制半导体的内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。
[0003]SIC桨的作用是在扩散炉设备运行过程中，通过推舟机构的传动，实现将待工艺的石英舟送入炉体内，以及将已工艺的石英舟从炉体内取出的动作。由于SIC桨为一端固定的长悬臂型结构，使得SIC桨的悬臂端存在下垂现象，且在当石英舟放置到SIC桨上后，由于石英舟重力作用，使得下垂变形加剧，从而大大增加了设备发生机械碰撞的几率。这对于配备了昂贵石英炉体的扩散炉设备来说，Sic桨的固定结构毫无疑问成为了一个非常关键的技术点。本发明提出了一种通过调节螺杆调节，能够有效解决Sic桨下垂的SIC桨固定结构。
【发明内容】
[0005]本发明为了解决上述现有技术的问题，提出一种扩散炉SIC桨的固定结构，包括:用于固定调节SIC桨水平位置的调节组件、将调节组件固定在设备上的固定组件；所述固定组件包括:支撑板，位于支撑板上方且与其相互平行的连接板，连接支撑板的尾端和连接板首端的竖直板，所述支撑板自首端至尾端设有可供Sic桨穿过的开口，所述竖直板上设有可供SIC桨穿过且上下移动的通孔，所述通孔底部与开口连通；调节组件包括:由上半框和下半框组成的框状压桨座，分别设置在框状压桨座上下的上固定座和下固定座，所述上、下固定座垂直于SIC桨轴线的两侧分别向外延伸形成凸台，所述凸台上设有带内螺纹的通孔；所述调节组件至少设有两组，通过螺栓穿过通孔固定在支撑板的上方以及连接板的下方。
[0006]优选的，所述上半框与下半框对于SIC桨两侧的连接边之间设有间隙。
[0007]优选的，所述上半框与下半框的连接边的相对面上设有定位孔，一定位销的两端分别位于上、下半框的定位孔内。
[0008]优选的，所述上固定座上设有沉头孔，下固定座上设有螺纹孔，所述上固定座与上半框通过螺钉固定，所述下固定座通过螺钉穿过螺纹孔抵紧下半框的下表面。
[0009]本发明通过至少两组调节组件间隔固定在SIC桨的尾端，可以在生产过程中调节SIC桨的水平位置，有效防止SIC桨的下垂和变形，并且本发明的调节组件设有压桨座，与SIC桨之间连接比较紧密，不必担心松脱等问题。
【附图说明】
[0010]图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明安装示意图。
【具体实施方式】
[0011]以下结合附图和实施例，说明本发明的结构原理。
[0012]如图1所示，本发明的扩散炉SIC桨的固定结构，主要包括两大部件:一是用于固定调节SIC桨水平位置的调节组件，二是将调节组件固定在设备上的固定组件。
[0013]调节组件设有两组，每组调节组件包括一对上半框11和下半框12，上、下半框分别位于SIC桨30的上下，组成框状的压桨座围绕在SIC桨30的外围，压桨座上下还分别设有上固定座13和下固定座14，上、下固定座垂直于SIC桨30轴线的两侧分别向外延伸形成凸台，凸台上设有带内螺纹的通孔，可供螺栓15穿过将调节组件固定在固定组件上。
[0014]上、下固定座通过凸台相互连接，将位于它们之间的压桨座以及SIC桨固定在其内，而压桨座的上、下半框位于SIC桨左右两侧的连接边之间设有间隙，即上半框位于上方的左连接边与下半框位于下方的左连接边之间并不是完全连接的，存在一定的间隙，可以防止压桨座的尺寸误差影响上、下固定座对于SIC桨的紧固作用，此外，上固定座上设有沉头孔，下固定座上还设有螺纹孔，上固定座与上半框通过螺钉固定，下固定座通过螺钉穿过螺纹孔抵紧下半框的下表面，可以确保SIC桨被牢牢夹紧在压桨座中。
[0015]为了防止在调节或安装过程中，压桨座的上、下半框之间以及上、下半框分别与上、下固定座之间松脱，在上半框11与下半框12的连接边的相对面上设有定位孔，然后再将定位销16的两端分别插入上、下半框的定位孔内，使上、下半框的位置可以上下对齐，不发生偏呙。
[0016]固定组件包括一块支撑板21，支撑板21的上方设有与其相互平行的连接板22，再通过一块竖直板23连接支撑板21的尾端和连接板首端，形成一个阶梯形，连接板和竖直板可以为一体成型结构，作为一个整体，支撑板21自首端至尾端设有可供SIC桨30穿过的开口，竖直板上设有可供SIC桨30穿过且上下移动的通孔，通孔底部与开口连通。SIC桨30穿过开口和通孔，然后通过两个调节组件固定在固定组件上。
[0017]安装时，将导轨连接板安装于推舟机构导轨的滑块上，T型连接竖板固定于导轨连接板之上，T型连接横板固定于T型连接竖板之上。
[0018]固定组件的连接板固定在T型连接横板下方，第一组调节组件套装在SIC桨30的尾部通过两个螺栓穿过凸台上的通孔固定在连接板的下方。第二组调节组件与第一组调节组件间隔开一定距离套装在SIC桨30上，固定在支撑板21的上方。
[0019]当需要调节SIC桨30的水平位置时，例如需要通过第一组调节组件将SIC桨的尾部向下调整，通过第二组调节组件将SIC桨30的前端向上调，调节第一组调节组件的螺栓，使固定座、压桨座通过通孔内螺纹与螺栓作用，相对于螺栓向下移，从而达到将SIC桨30的尾部向下调整的目的。采取同样的方法再将第二组调节组件相对于其螺栓向上移，使SIC保持在水平位置，下垂变形可解决。
[0020]应当理解的是，上述针对具体实施例的描述较为详细，并不能因此而认为是对本发明专利保护范围的限制，本发明的专利保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种扩散炉Sic桨的固定结构，其特征在于，包括:用于固定调节SIC桨水平位置的调节组件、将调节组件固定在设备上的固定组件； 所述固定组件包括:支撑板，位于支撑板上方且与其相互平行的连接板，连接支撑板的尾端和连接板首端的竖直板，所述支撑板自首端至尾端设有可供Sic桨穿过的开口，所述竖直板上设有可供SIC桨穿过且上下移动的通孔，所述通孔底部与开口连通； 调节组件包括:由上半框和下半框组成的框状压桨座，分别设置在框状压桨座上下的上固定座和下固定座，所述上、下固定座垂直于SIC桨轴线的两侧分别向外延伸形成凸台，所述凸台上设有带内螺纹的通孔； 所述调节组件至少设有两组，通过螺栓穿过通孔固定在支撑板的上方以及连接板的下方。2.如权利要求1所述的固定结构，其特征在于，所述上半框与下半框对于SIC桨两侧的连接边之间设有间隙。3.如权利要求1所述的固定结构，其特征在于，所述上半框与下半框的连接边的相对面上设有定位孔，一定位销的两端分别位于上、下半框的定位孔内。4.如权利要求1所述的固定结构，其特征在于，所述上固定座上设有沉头孔，下固定座上设有螺纹孔，所述上固定座与上半框通过螺钉固定，所述下固定座通过螺钉穿过螺纹孔抵紧下半框的下表面。5.如权利要求1所述的固定结构，其特征在于，所述支撑板与竖直板为一体成型结构。
【专利摘要】本发明公开了一种扩散炉SIC桨的固定结构，包括：用于固定调节SIC桨水平位置的调节组件、将调节组件固定在设备上的固定组件；所述固定组件包括：支撑板，位于支撑板上方且与其相互平行的连接板，连接支撑板的尾端和连接板首端的竖直板，所述支撑板自首端至尾端设有可供SIC桨穿过的开口，所述竖直板上设有可供SIC桨穿过且上下移动的通孔，所述通孔底部与开口连通；调节组件包括：由上半框和下半框组成的框状压桨座，分别设置在框状压桨座上下的上固定座和下固定座，所述上、下固定座垂直于SIC桨轴线的两侧分别向外延伸形成凸台，所述凸台上设有带内螺纹的通孔；所述调节组件至少设有两组，通过螺栓穿过通孔固定在支撑板的上方以及连接板的下方。本发明结构巧妙，成本低廉，可以有效防止SIC桨变形下垂的问题。
【IPC分类】C30B31/14
【公开号】CN105154981
【申请号】CN201510529381
【发明人】肖岳南, 罗伟斌, 田净
【申请人】深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年8月26日