硅芯炉籽晶悬挂及卸放装置的制造方法
【技术领域】
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[0001]本实用新型涉及一种硅芯炉的配套设备，尤其涉及一种硅芯炉籽晶悬挂及卸放装置。
【背景技术】
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[0002]硅芯炉主要用于多晶硅沉积载体硅芯的拉制设备。其原理是一定直径和长度的多晶硅柱状棒料，垂直处于一定压力的氩气氛围的密闭炉筒内，多晶硅柱状棒料上端表面在高频磁场的作用下熔化为液态。籽晶盘夹持着一组籽晶在钢丝绳牵引下依靠自身重量作用自上而下，籽晶穿过高频线圈后与多晶硅柱状棒料上端液态部分熔接。而后，钢丝绳在伺服电机的牵引下，按一定速度缓慢提升，于此同时在液体张力的作用下，籽晶带动液态硅料上升、冷却、凝固，如此，提升高度达到一定尺寸时便完成一组硅芯拉制。原使用的硅芯炉，一台炉每次只能拉制一组5根硅芯便停炉取出硅芯换上新的籽晶。
【实用新型内容】:
[0003]本实用新型的目的在于提供一种提高多芯硅芯炉生产效率的硅芯炉籽晶悬挂及卸放装置。
[0004]本实用新型由如下技术方案实施:硅芯炉籽晶悬挂及卸放装置，其包括连接吊杆和圆盘形卸放架，在硅芯炉的提拉系统一侧设有的伺服电机；所述伺服电机的电机轴竖直设置；水平设置的所述圆盘形卸放架的中心孔与所述伺服电机轴通过槽键相连；在所述卸放架上设有以所述卸放架圆心为圆心的圆弧形通孔；所述连接吊杆分体活动安装在所述圆弧形通孔内；所述连接吊杆顶部设有连接头，在所述连接吊杆底部与籽晶盘通过槽键固定连接；在所述连接头下方的连接吊杆上设有所述放置圆盘，在所述放置圆盘的外沿上设有定位凹槽。
[0005]在所述圆弧形通孔的中部为拉晶位；所述拉晶位外侧的所述圆盘形卸放架为敞口结构，在所述拉晶位内侧的所述圆盘形卸放架上设有与所述连接吊杆外壁形状对应的弧形凹槽；所述拉晶位一侧的所述圆弧形通孔为籽晶放置轨道，在所述籽晶放置轨道内均匀排列设有两个以上的籽晶放置位；所述拉晶位另一侧的所述圆弧形通孔为硅芯放置轨道，在所述硅芯放置轨道内均匀排列设有与所述籽晶放置位数量对应的硅芯放置位；在每个所述籽晶放置位和所述硅芯放置位的所述圆弧形通孔边缘均设有与所述连接吊杆的放置圆盘形状对应的弧形卸放槽沿；在每个所述籽晶放置位内侧的所述卸放槽沿上竖直设有与所述定位凹槽形状对应的定位销钉，所述弧形卸放槽沿的圆心、所述定位销钉的中心和所述圆盘形卸放架的圆心置于一条直线上。
[0006]本实用新型的优点:
[0007]连接吊杆和圆盘形卸放架结构简单实用，连接吊杆的夹持及卸放切换过程流畅，手动、电动均可自如控制；特别是该装置确保了籽晶盘被夹持后籽晶与多孔高频线圈的相对应的方向性不发位移。提高了硅芯炉籽晶盘放置的准确度，缩短籽晶放置及调整时间，使硅芯炉的生产效率大幅升。
【附图说明】
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[0008]图1为连接吊杆的结构示意图。
[0009]图2为圆盘形卸放架的结构示意图。
[0010]图3为圆盘形卸放架的使用示意图。
[0011]图4为本实用新型的使用示意图。
[0012]连接吊杆1、圆盘形卸放架2、硅芯炉3、提拉系统4、伺服电机电机轴5、中心孔6、圆弧形通孔7、连接头8、籽晶盘9、放置圆盘10、定位凹槽11、拉晶位12、弧形凹槽13、籽晶放置轨道14、籽晶放置位15、硅芯放置轨道16、硅芯放置位17、弧形卸放槽沿18、定位销钉19。
[0013]【具体实施方式】:如图1至图4所示，硅芯炉籽晶悬挂及卸放装置，其包括连接吊杆I和圆盘形卸放架2，在硅芯炉3的提拉系统4 一侧设有的伺服电机；伺服电机轴5竖直设置；水平设置的圆盘形卸放架2的中心孔6与伺服电机轴5通过槽键相连；在圆盘形卸放架2上设有以圆盘形卸放架2圆心为圆心的圆弧形通孔7;连接吊杆I分体活动安装在圆弧形通孔7内；连接吊杆I顶部设有连接头8，在连接吊杆I底部与籽晶盘9通过槽键固定连接，在每个籽晶盘9上设置五个籽晶；在连接头8下方的连接吊杆I上设有放置圆盘10，在放置圆盘10的外沿上设有定位凹槽11 ;在圆弧形通孔7的中部为拉晶位12 ;拉晶位12外侧的圆盘形卸放架2为敞口结构，在拉晶位12内侧的圆盘形卸放架2上设有与提拉系统4外壁形状对应的弧形凹槽13 ;拉晶位12 —侧的圆弧形通孔7为籽晶放置轨道14，在籽晶放置轨道14内均匀排列设有两个籽晶放置位15 ;拉晶位12另一侧的圆弧形通孔7为硅芯放置轨道16，在硅芯放置轨道16内均匀排列设有与籽晶放置位15数量对应的硅芯放置位17 ;在每个籽晶放置位15和硅芯放置位17的圆弧形通孔7边缘均设有与连接吊杆I的放置圆盘10形状对应的弧形卸放槽沿18 ;在每个籽晶放置位15内侧的弧形卸放槽沿18上竖直设有与定位凹槽11形状对应的定位销钉19，弧形卸放槽沿18的圆心、定位销钉19的中心和圆盘形卸放架2的圆心置于一条直线上，保证圆盘形卸放架2的籽晶放置位15旋转至拉晶位12时，提拉系统4抓取的连接吊杆I底端的籽晶盘9上籽晶与硅芯炉的高频线圈的孔相对应。
[0014]使用说明:使用时圆盘形卸放架2的拉晶位12对应设置在提拉系统4侧部，拉晶位12处弧形凹槽13便于提拉系统4上下位移进行拉晶操作；在两个籽晶放置位15上和提拉系统4底端分别设置一根连接吊杆1，籽晶放置位15上的定位销钉19准确卡接在定位凹槽11内；在提拉系统4下方设置一根连接吊杆1，进行硅芯拉制；当拉制完成后，通过所述伺服电机驱动圆盘形卸放架2旋转，将完成硅芯拉制的连接吊杆I卸放到硅芯放置轨道16最内侧的硅芯放置位17上，并将籽晶放置轨道14内最外侧的籽晶放置位15旋转到提拉系统4下方；由提拉系统4抓起下方的连接吊杆I ;再通过所述伺服电机旋转圆盘形卸放架2将拉晶位12对准提拉系统4下方再次进行硅芯拉制，重复上述动作将籽晶放置位15内的连接吊杆I下方的籽晶全部拉制完成；实现一次性放置籽晶成功，最终实现单炉籽晶不做停炉调整生产15根及以上硅芯的目标。
【主权项】
1.硅芯炉籽晶悬挂及卸放装置，其特征在于，其包括连接吊杆和圆盘形卸放架，在水平设置的所述圆盘形卸放架的中心孔与原伺服电机轴通过槽键相连；在所述卸放架上设有以所述卸放架圆心为圆心的圆弧形通孔；所述连接吊杆分体活动安装在所述圆弧形通孔内；所述连接吊杆顶部设有连接头，在所述连接吊杆底部与籽晶盘通过槽键固定连接；在所述连接头下方的连接吊杆上设有放置圆盘，在所述放置圆盘的外沿上设有定位凹槽。
2.根据权利要求1所述的硅芯炉籽晶悬挂及卸放装置，其特征在于，在所述圆弧形通孔的中部为拉晶位；所述拉晶位外侧的所述圆盘形卸放架为敞口结构，在所述拉晶位内侧的所述圆盘形卸放架上设有与所述连接吊杆外壁形状对应的弧形凹槽；所述拉晶位一侧的所述圆弧形通孔为籽晶放置轨道，在所述籽晶放置轨道内均匀排列设有两个以上的籽晶放置位；所述拉晶位另一侧的所述圆弧形通孔为硅芯放置轨道，在所述硅芯放置轨道内均匀排列设有与所述籽晶放置位数量对应的硅芯放置位；在每个所述籽晶放置位和所述硅芯放置位的所述圆弧形通孔边缘均设有与所述连接吊杆的放置圆盘形状对应的弧形卸放槽沿；在每个所述籽晶放置位内侧的所述卸放槽沿上竖直设有与所述定位凹槽形状对应的定位销钉，所述弧形卸放槽沿的圆心、所述定位销钉的中心和所述圆盘形卸放架的圆心置于一条直线上。
【专利摘要】本实用新型公开了一种硅芯炉籽晶悬挂及卸放装置，其包括连接吊杆和圆盘形卸放架，在硅芯炉原提拉系统一侧的伺服电机轴上设置水平设置的圆盘形卸放架的中心孔与伺服电机轴通过槽键相连；在卸放架上设有以卸放架圆心为圆心的圆弧形通孔；连接吊杆分体活动安装在圆弧形通孔内；连接吊杆顶部设有连接头，在连接吊杆底部与籽晶盘通过槽键固定连接；在连接头下方的连接吊杆上设有放置圆盘，在放置圆盘的外沿上设有定位凹槽。优点在于：连接吊杆和圆盘形卸放架结构简单实用，连接吊杆的夹持及卸放切换过程流畅，手动、电动均可自如控制；使得硅芯炉的生产生产效率大幅提升。
【IPC分类】C30B28-06, C30B29-06
【公开号】CN204342919
【申请号】CN201420735841
【发明人】龙加祥, 王小龙
【申请人】内蒙古神舟硅业有限责任公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2014年11月29日