一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料旋流洗涤系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料旋流洗涤系统。
【背景技术】
[0002]硅片切割是电子工业主要原材料一硅片(晶圆)生产的上游关键技术，切割的质量与规模直接影响到整个产业链的后续生产。在电子工业中，对硅片的需求主要表现在太阳能光伏发电和集成电路等半导体产业上。晶体硅片是制作光伏太阳能电池的主要材料，每生产I丽的太阳能电池组件需要17吨左右的原料。Clean Edge预计，全球太阳能发电市场的规模将从2005年的110亿美元猛进增到2015年的510亿美元，以芯片著名的“硅谷”将被“太阳谷”所取代。显然太阳能产业的迅猛发展需要更多的硅原料及切割设备来支撑。
[0003]硅片加工工艺流程一般经过晶体生长、切断、外径滚磨、平边、切片、倒角、研磨、腐蚀、抛光、清洗、包装等阶段。在整个切割过程中，切割液(PEG)具有重要作用，然而，随着人们对环境保护的重视，如何处理切割液在切割完毕后所产生的废砂浆，日益成为人们研宄的重点。
[0004]晶硅线切割废砂浆是一种灰黑色粘稠固液混合体，含有碳化硅，硅粉，铁，聚乙二醇，水杂质等。略有吸湿性，不易挥发，化学性质稳定，能溶于水，难燃，按危险化学废弃物运输，密封贮存。
[0005]如何利用晶硅线切割废浆料，再生切割液(聚乙二醇)、碳化硅、陶瓷细粉材料，是近年来急需解决的问题。
【实用新型内容】
[0006]为解决上述存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料旋流洗涤系统，用于对废砂浆中的碳化硅及硅粉进行再生处理，提高再生效率。
[0007]为达到上述目的，本实用新型的技术方案是:
[0008]一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料旋流洗涤系统，包括:旋流砂浆配制罐，内设搅拌机，其进料口接碳化硅及硅粉浆料；除杂进料罐，内设搅拌机；旋流进料罐，内设搅拌机；一~五级底流罐，间隔排布，内部分别设有搅拌机；第一 ~第六旋流器，分别设置于所述旋流进料罐及一 ~五级底流罐上方；一纯净水箱，分别通过管道与旋流砂浆配制罐、除杂进料罐、旋流进料罐、一 ~五级底流罐连接，且所述管道上设置有控制阀；所述除杂进料罐出料口通过一砂浆泵与第一旋流器进料口连接；第一旋流器底部出料口与旋流进料罐进料口连接，旋流进料罐出料口通过一砂浆泵与第二旋流器进料口连接；第二旋流器底部出料口与一级底流罐进料口连接，顶部溢流口与除杂进料罐进料口连接；一级底流罐出料口通过一砂浆泵与第三旋流器进料口连接，第三旋流器顶部溢流口与旋流进料罐进料口连接，底部出料口与三级底流罐进料口连接；所述旋流砂浆配制罐出料口通过一旋流砂浆输送泵与二级底流罐进料口连接，二级底流罐出料口通过一砂浆泵与第四旋流器进料口连接，第四旋流器底部出料口与所述三级底流罐进料口连接，顶部溢流口与所述一级底流罐进料口连接；三级底流罐出料口通过一砂浆泵与第五旋流器进料口连接，第五旋流器底部出料口与所述四级底流罐进料口连接，顶部溢流口与所述二级底流罐进料口连接；四级底流罐出料口通过一砂浆泵与第六旋流器进料口连接，第六旋流器底部出料口与所述五级底流罐进料口连接，顶部溢流口与所述三级底流罐进料口连接。
[0009]进一步，所述旋流砂浆配制罐出料口通过所述旋流砂浆输送泵与其进料口形成循环连接。
[0010]另，所述控制阀为球阀。
[0011]本实用新型有益效果在于:
[0012]对含有碳化硅及硅粉的浆料进行六级逆流洗涤，洗涤后，得到的浆料中碳化硅含量在96%以上，单质硅含量< 1%的产品，明显提升再生效率，降低生产成本。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型实施例所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料旋流洗涤系统结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]参见图1，本实用新型所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料旋流洗涤系统，包括:旋流砂浆配制罐1，内设搅拌机2，其进料口接碳化硅及硅粉浆料；除杂进料罐3，内设搅拌机2 ;旋流进料罐4，内设搅拌机2 ~五级底流罐51~55，间隔排布，内部分别设有搅拌机2 ;第一 ~第六旋流器61~66，分别设置于所述旋流进料罐4及一 ~五级底流罐51-55上方；一纯净水箱7，分别通过管道与旋流砂浆配制罐1、除杂进料罐3、旋流进料罐4、一 ~五级底流罐51~55连接，且所述管道上设置有控制阀71 ;所述除杂进料罐3出料口通过一砂浆泵8与第一旋流器61进料口连接；第一旋流器61底部出料口与旋流进料罐4进料口连接，旋流进料罐4出料口通过一砂浆泵8与第二旋流器62进料口连接；第二旋流器62底部出料口与一级底流罐51进料口连接，顶部溢流口与除杂进料罐3进料口连接；一级底流罐51出料口通过一砂浆泵8与第三旋流器63进料口连接，第三旋流器63顶部溢流口与旋流进料罐4进料口连接，底部出料口与三级底流罐53进料口连接；所述旋流砂浆配制罐I出料口通过一旋流砂浆输送泵9与二级底流罐52进料口连接，二级底流罐52出料口通过一砂浆泵8与第四旋流器64进料口连接，第四旋流器63底部出料口与所述三级底流罐53进料口连接，顶部溢流口与所述一级底流罐51进料口连接；三级底流罐53出料口通过一砂浆泵8与第五旋流器65进料口连接，第五旋流器65底部出料口与所述四级底流罐54进料口连接，顶部溢流口与所述二级底流罐52进料口连接；四级底流罐54出料口通过一砂浆泵8与第六旋流器66进料口连接，第六旋流器66底部出料口与所述五级底流罐55进料口连接，顶部溢流口与所述三级底流罐53进料口连接。
[0015]进一步，所述旋流砂浆配制罐I出料口通过所述旋流砂浆输送泵9与其进料口形成循环连接。
[0016]另，所述控制阀71为球阀。
[0017]本实用新型所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料旋流洗涤系统工作流程如下:
[0018]砂浆配制:
[0019]在旋流砂浆配制罐I中，进行旋流砂浆配制。首先向罐中注入12M3的旋流水。启动搅拌机2，将经过5次压滤后的滤饼配制的含有碳化硅及硅粉的悬浮液，用泵输送到旋流砂浆配制罐I中，检测砂浆悬浮液固含量在15%?25%之间。
[0020]旋流操作:
[0021]根据逆流洗涤的原理，采用第一 ~第六旋流器61~66，对碳化硅及硅粉的混合物浆料进行六级逆流洗涤。经过洗涤后，可以得到的浆料中碳化硅含量在96%以上，单质硅含量
(I %的产品。
[0022]需要说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制。尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围中。
【主权项】
1.一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料旋流洗涤系统，其特征在于，包括: 旋流砂浆配制罐，内设搅拌机，其进料口接碳化硅及硅粉浆料； 除杂进料罐，内设搅拌机； 旋流进料罐，内设搅拌机； 一 ~五级底流罐，间隔排布，内部分别设有搅拌机； 第一 ~第六旋流器，分别设置于所述旋流进料罐及一 ~五级底流罐上方； 一纯净水箱，分别通过管道与旋流砂浆配制罐、除杂进料罐、旋流进料罐、一 ~五级底流罐连接，且所述管道上设置有控制阀； 所述除杂进料罐出料口通过一砂楽泵与第一旋流器进料口连接； 第一旋流器底部出料口与旋流进料罐进料口连接，旋流进料罐出料口通过一砂浆泵与第二旋流器进料口连接； 第二旋流器底部出料口与一级底流罐进料口连接，顶部溢流口与除杂进料罐进料口连接; 一级底流罐出料口通过一砂浆泵与第三旋流器进料口连接，第三旋流器顶部溢流口与旋流进料罐进料口连接，底部出料口与三级底流罐进料口连接； 所述旋流砂浆配制罐出料口通过一旋流砂浆输送泵与二级底流罐进料口连接，二级底流罐出料口通过一砂浆泵与第四旋流器进料口连接，第四旋流器底部出料口与所述三级底流罐进料口连接，顶部溢流口与所述一级底流罐进料口连接； 三级底流罐出料口通过一砂浆泵与第五旋流器进料口连接，第五旋流器底部出料口与所述四级底流罐进料口连接，顶部溢流口与所述二级底流罐进料口连接； 四级底流罐出料口通过一砂浆泵与第六旋流器进料口连接，第六旋流器底部出料口与所述五级底流罐进料口连接，顶部溢流口与所述三级底流罐进料口连接。
2.根据权利要求1所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料旋流洗涤系统，其特征在于，所述旋流砂浆配制罐出料口通过所述旋流砂浆输送泵与其进料口形成循环连接。
3.根据权利要求1所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料旋流洗涤系统，其特征在于，所述控制阀为球阀。
【专利摘要】一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料旋流洗涤系统，包括：旋流砂浆配制罐、除杂进料罐、旋流进料罐、一~五级底流罐、第一~第六旋流器、一纯净水箱，第一~第六旋流器分别设置于所述旋流进料罐及一~五级底流罐上方；纯净水箱分别通过管道与旋流砂浆配制罐、除杂进料罐、旋流进料罐、一~五级底流罐连接；所述除杂进料罐出料口通过一砂浆泵与第一旋流器进料口连接；第一旋流器底部出料口与旋流进料罐进料口连接；第二旋流器底部出料口与一级底流罐进料口连接；一级底流罐出料口与第三旋流器进料口连接。所述系统对含有碳化硅及硅粉的浆料进行六级逆流洗涤，洗涤后，得到的浆料中碳化硅含量在96％以上，单质硅含量≤1％的产品，明显提升再生效率，降低生产成本。
【IPC分类】C01B33-037, C01B31-36
【公开号】CN204454606
【申请号】CN201520105749
【发明人】黄志斌, 唐彦文
【申请人】徐州吉兴新材料有限公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2015年2月13日