一种自动高效拉晶炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，特别是涉及拉晶炉。
【背景技术】
[0002]晶粒是制造半导体致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二铋，作为制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齐，晶粒里面的分子排列越整齐，致冷件的效率就越高。
[0003]晶粒是由晶棒切割而成的，这就要求晶棒里面的分子排列是整齐的。
[0004]制造晶棒时，对其里面的分子进行排列的过程就是拉晶，拉晶是在拉晶炉中进行的。
[0005]现有技术中，拉晶炉是一个具有腔室的炉体，炉体安装在摇摆装置上，晶棒的材料放置在拉晶管中，装有材料的拉晶管放置在这样的拉晶炉中，在加热、摇动的情况下进行，使里面的分子重新排列，这样的拉晶炉具有对晶棒分子排列整齐性差、拉晶效果差的缺点、还具有控制不便、浪费能源的缺点。
【发明内容】
[0006]本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种拉晶效果好、便于控制、节省能源的自动高效拉晶炉。
[0007]本实用新型的技术方案是这样实现的:一种自动高效拉晶炉，其特征是:它包括框架，在框架下面安装传动装置，传动装置连接有丝杠，在框架中间固定有水平的底托板，框架上面有放置拉晶管的放置板，放置板上有拉晶管的放置孔，在底托板和放置板之间有引导杆，还有加热盘在底托板和放置板之间，加热盘可上下滑动的套接在引导杆上，所述的丝杠穿过底托板连接加热盘。
[0008]进一步地讲，所述的加热盘上面或/和下面还有冷却盘，加热盘和冷却盘之间有隔热材料，所述的冷却盘是导热材料制成的，里面设置有盘旋的冷却腔，还有冷却液连通外部。
[0009]进一步地讲，所述的加热盘侧面还安装有偏转电极，所述的偏转电极是100—150Vo
[0010]进一步地讲，所述的底托板上面设置有振动装置，所述的振动装置的振幅是2-3毫米，频率是40赫兹。
[0011]进一步地讲，所述的加热盘、冷却盘、偏转电极、传动装置连接控制装置。
[0012]进一步地讲，所述的底托板上面有支撑拉晶管的支架。
[0013]本实用新型的有益效果是:
[0014]1、这样的拉晶炉具有拉晶效果好、便于控制、节省能源的优点；
[0015]2、所述的加热盘上面和下面还有冷却盘，所述的冷却盘是导热材料制成的，里面设置有盘旋的冷却腔，还有冷却液连通外部，所述的加热盘侧面还安装有偏转电极，所述的偏转电极是100— 150V，所述的底托板上面设置有振动装置，所述的振动装置的振幅是2-3毫米，频率是40赫兹，具有拉晶效果更好的优点；
[0016]3、所述的加热盘、冷却盘、偏转电极、传动装置连接控制装置，具有自动化程度更尚的优点；
[0017]4、所述的底托板上面有支撑拉晶管的支架，具有拉晶管中的所有材料都能拉晶，不留死角的优点。
【附图说明】
[0018]图1是本实用新型的结构示意图。
[0019]其中:1、框架 2、传动装置 3、丝杠 4、底托板 5、放置板 6、放置孔7、引导杆 8、加热盘9、冷却盘 10、隔热材料11、偏转电极 12、振动装置 13、支架。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
[0021]如图1所示，一种自动高效拉晶炉，其特征是:它包括框架1，在框架I下面安装传动装置2，传动装置2连接有丝杠3，在框架中间固定有水平的底托板4，框架上面有放置拉晶管的放置板5，放置板5上有拉晶管的放置孔6，在底托板4和放置板5之间有引导杆7，还有加热盘8在底托板4和放置板5之间，加热盘8可上下滑动的套接在引导杆7上，所述的丝杠3穿过底托板连接加热盘8。
[0022]本实用新型使用时，将装有原料的拉晶管放置在放置孔6中，拉晶管下面有底托板托着，拉晶管竖立放置，这时可以启动加热装置，加热装置在拉晶管侧面进行加热，开动传动装置，丝杠运转，加热盘下面移动，可以对拉晶管上下不同的部位进行拉晶，具有本实用新型拉晶效果好、便于控制、节省能源的优点。
[0023]进一步地讲，所述的加热盘上面或/和下面还有冷却盘9，加热盘和冷却盘之间有隔热材料10，所述的冷却盘是导热材料制成的，里面设置有盘旋的冷却腔，还有冷却液连通外部。这样在拉晶前后可以控制原料的温度，能够使拉晶的效果更好，实验证明，用这样的拉晶生产出的产品，致冷件效率提高9一 10%O
[0024]进一步地讲，所述的加热盘侧面还安装有偏转电极11，所述的偏转电极是100—150V。这样在拉晶的偏转电极中进行，原料的分子排列更整齐，能够使拉晶的效果更好，实验证明，用这样的拉晶生产出的产品，致冷件效率提高5 — 7%。
[0025]进一步地讲，所述的底托板上面设置有振动装置12，所述的振动装置的振幅是2-3毫米，频率是40赫兹。这样在拉晶的振动中进行，原料的分子排列更整齐，能够使拉晶的效果更好，实验证明，用这样的拉晶生产出的产品，致冷件效率提高3 — 5%。
[0026]进一步地讲，所述的加热盘、冷却盘、偏转电极、传动装置连接控制装置。
[0027]进一步地讲，所述的底托板上面有支撑拉晶管的支架13。这样加热盘可以较多的向下移动，避免了拉晶管下面没有进行拉晶，留有死角的现象。
[0028]以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的结构特征并不限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围内。
【主权项】
1.一种自动高效拉晶炉，其特征是:它包括框架，在框架下面安装传动装置，传动装置连接有丝杠，在框架中间固定有水平的底托板，框架上面有放置拉晶管的放置板，放置板上有拉晶管的放置孔，在底托板和放置板之间有引导杆，还有加热盘在底托板和放置板之间，加热盘可上下滑动的套接在引导杆上，所述的丝杠穿过底托板连接加热盘。
2.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征是:所述的加热盘上面或/和下面还有冷却盘，加热盘和冷却盘之间有隔热材料，所述的冷却盘是导热材料制成的，里面设置有盘旋的冷却腔，还有冷却液连通外部。
3.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征是:所述的加热盘侧面还安装有偏转电极，所述的偏转电极是100— 150V。
4.根据权利要求2所述的拉晶炉，其特征是:所述的加热盘侧面还安装有偏转电极，所述的偏转电极是100— 150V。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的拉晶炉，其特征是:所述的底托板上面设置有振动装置，所述的振动装置的振幅是2-3毫米，频率是40赫兹。
6.根据权利要求5所述的拉晶炉，其特征是:所述的加热盘、冷却盘、偏转电极、传动装置连接控制装置。
7.根据权利要求6所述的拉晶炉，其特征是:所述的底托板上面有支撑拉晶管的支架。
【专利摘要】本实用新型涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，名称是一种自动高效拉晶炉，它包括框架，在框架下面安装传动装置，传动装置连接有丝杠，在框架中间固定有水平的底托板，框架上面有放置拉晶管的放置板，放置板上有拉晶管的放置孔，在底托板和放置板之间有引导杆，还有加热盘在底托板和放置板之间，加热盘可上下滑动的套接在引导杆上，所述的丝杠穿过底托板连接加热盘，所述的加热盘上面或／和下面还有冷却盘，加热盘和冷却盘之间有隔热材料，所述的冷却盘是导热材料制成的，里面设置有盘旋的冷却腔，还有冷却液连通外部，具有拉晶效果好、便于控制、节省能源的优点。
【IPC分类】C30B15-00
【公开号】CN204589369
【申请号】CN201520268704
【发明人】陈磊, 刘栓红, 赵丽萍, 张文涛, 蔡水占, 郭晶晶, 张会超, 陈永平, 王东胜, 惠小青, 辛世明, 田红丽
【申请人】河南鸿昌电子有限公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年4月30日