密封炉腔的拉晶炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，特别是涉及拉晶炉。
【背景技术】
[0002]晶粒是制造半导体致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二铋，作为制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齐，晶粒里面的分子排列越整齐，致冷件的效率就越高。
[0003]晶粒是由晶棒切割而成的，这就要求晶棒里面的分子排列是整齐的。
[0004]制造晶棒时，对其里面的分子进行排列的过程就是拉晶，拉晶是在拉晶炉中进行的，原料盛装在拉晶管中进行拉晶，拉晶炉包括炉体和炉门，现有技术中，炉体和炉门之间不是密封连接的，这就要求拉晶时拉晶管密封着原料，否则就会使材料的成分发生变化，产生废品，用这样的拉晶炉因为需要对拉晶管密封，具有加工过程复杂、使用不便的缺点。
【发明内容】
[0005]本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种不用对拉晶管密封、使用方便、节省工艺步骤的拉晶炉一一密封炉腔的拉晶炉。
[0006]本实用新型的技术方案是这样实现的:密封炉腔的拉晶炉，包括炉体和炉门，炉体具有炉腔，在炉腔内具有安装拉晶管的卡座，所述的炉腔内还有拉晶套，拉晶套是对产品进行拉晶的部件，其特征是:所述的炉体和炉门可密闭连接，所述的炉体还连接有抽真空装置。
[0007]本实用新型的有益效果是:这样的拉晶炉具有不用对拉晶管密封、使用方便、节省工艺步骤的优点。
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型的剖面结构示意图。
[0009]其中:1、炉体 2、炉门 3、炉腔 4、卡座5、拉晶套 6、抽真空装置 7、
拉晶管。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
[0011]如图1所示，密封炉腔的拉晶炉，包括炉体I和炉门2，炉体具有炉腔3，在炉腔内具有安装拉晶管的卡座4，所述的炉腔内还有拉晶套5，拉晶套是对产品进行拉晶的部件，其特征是:所述的炉体和炉门可密闭连接，所述的炉体还连接有抽真空装置6。
[0012]所述的可密封连接是指炉门盖上后，炉体和炉门形成一个密闭的、不通气的空间。
[0013]图中7是拉晶管。
[0014]本实用新型使用时，将原料放置在拉晶管中，关闭炉门，然后可以对炉腔抽真空，由于炉体内没有空气或氧气，在拉晶过程中，不会对原料破坏，也就没有将拉晶管密封的必要，这样就会简化工艺，具有本实用新型的优点。
[0015]以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的结构特征并不限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围内。
【主权项】
1.密封炉腔的拉晶炉，包括炉体和炉门，炉体具有炉腔，在炉腔内具有安装拉晶管的卡座，所述的炉腔内还有拉晶套，拉晶套是对产品进行拉晶的部件，其特征是:所述的炉体和炉门可密闭连接，所述的炉体还连接有抽真空装置。
【专利摘要】本实用新型涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，名称是密封炉腔的拉晶炉，包括炉体和炉门，炉体具有炉腔，在炉腔内具有安装拉晶管的卡座，所述的炉腔内还有拉晶套，拉晶套是对产品进行拉晶的部件，所述的炉体和炉门可密闭连接，所述的炉体还连接有抽真空装置，这样的拉晶炉具有不用对拉晶管密封、使用方便、节省工艺步骤的优点。
【IPC分类】C30B15/00
【公开号】CN204825117
【申请号】CN201520578114
【发明人】陈磊, 刘栓红, 赵丽萍, 张文涛, 蔡水占, 郭晶晶, 张会超, 陈永平, 王东胜, 惠小青, 辛世明, 田红丽
【申请人】河南鸿昌电子有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年8月5日