一种蓝宝石单晶生长炉视窗的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种蓝宝石单晶生长炉视窗。
【背景技术】
[0002]蓝宝石具有良好的光学、机械、化学和电性能，被广泛应用于微波电子管介质、波导激光器腔体、精密轴承、红外军事装置、高强激光窗口材料和液晶显示投影仪的散热板等方面，同时蓝宝石可用作集成电路的衬底材料，应用于LED产业和微电子电路等方面，是高价镓良好的取代材料，应用于超高速集成电路的制作中。
[0003]在蓝宝石单晶生长过程中，需要长时间保持高真空状态。而蓝宝石引晶过程中，视窗要接受长时间的辐射加热，导致视窗中的石英镜片容易出现开裂，从而造成真空不良的情况，对蓝宝石生产及生长炉都是致命的。因此，需要一种解决由于视窗中的石英镜片出现开裂而导致引起真空不良的方法或方式。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足之处，提供一种结构简单，使用方便，能有效以避免因石英镜片开裂而导致的真空不良问题的蓝宝石单晶生长炉视窗。
[0005]为了达到上述目的，本实用新型采用以下方案:
[0006]—种蓝宝石单晶生长炉视窗，包括有与生长炉连接的视窗平台，在所述视窗平台上设有能观察生长炉内部的观察通孔，其特征在于:在所述视窗平台上设有能覆盖所述观察通孔的第一视窗机构，在所述第一视窗机构外套设有第二视窗机构。
[0007]如上所述的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述的第一视窗机构包括有覆盖在所述观察通孔上的第一石英镜片，在所述第一石英镜片与视窗平台之间设有密封圈，在所述视窗平台上设有能将第一石英镜片固定在视窗平台上的固定装置。
[0008]如上所述的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述固定装置包括有设置在所述第一石英镜片上方的镜片固定盖，所述镜片固定盖通过螺钉固定连接在所述视窗平台上，在所述镜片固定盖上设有观测口。
[0009]如上所述的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述观测口的内径大于等于所述观察通孔的内径。
[0010]如上所述的任一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述的第二视窗机构包括有套上在所述第一视窗机构外的转接镜筒，所述的转接镜筒通过螺钉固定连接在所述视窗平台上，在所述转接镜筒与视窗平台之间设有密封圈，在所述转接镜筒上部设有载镜平台，在所述载镜平台上设有观测孔，在所述观测孔上方的第二石英镜片，在所述载镜平台与第二石英镜片之间设有密封圈，在所述转接镜筒上端设有能将所述第二石英镜片固定在所述载镜平台上的固定机构。
[0011]如上所述的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述固定机构包括有旋接在所述载镜平台上端的固定盖，在所述固定盖上设有便于观测的开口。
[0012]如上所述的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述观测孔的内径大于等于所述观察通孔的内径。
[0013]如上所述的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述开口的内径大于等于所述观测孔的内径。
[0014]综上所述，本实用新型相对于现有技术其有益效果是:
[0015]现有视窗结构，一旦出现石英镜片开裂情况，容易出现真空不良的情况，不能用于观察。本实用新型视窗结构，一旦出现问题，可及时挽救。同时在正常情况下，不影响观察，可拆卸。本实用新型结构简单，使用方便。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型的立体示意图。
【具体实施方式】
[0017]下面结合【附图说明】和【具体实施方式】对本实用新型作进一步描述:
[0018]如图1所示的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，包括有与生长炉连接的视窗平台1，在所述视窗平台I上设有能观察生长炉内部的观察通孔2，在所述视窗平台I上设有能覆盖所述观察通孔2的第一视窗机构3，在所述第一视窗机构3外套设有第二视窗机构4。本实用新型在使用过程中一旦出现问题，可及时挽救。同时在正常情况下，不影响观察，可拆卸
[0019]本实用新型中所述的第一视窗机构3包括有覆盖在所述观察通孔2上的第一石英晶片31，在所述第一石英晶片31与视窗平台I之间设有密封圈5，在所述视窗平台I上设有能将第一石英晶片31固定在视窗平台I上的固定装置32。
[0020]本实用新型中所述固定装置32包括有设置在所述第一石英晶片31上方的镜片固定盖321，所述镜片固定盖321通过螺钉6固定连接在所述视窗平台I上，在所述镜片固定盖321上设有观测口 322。
[0021]本实用新型中固定装置32连接方便，安装拆卸简单。
[0022]本实用新型中所述观测口 322的内径大于等于所述观察通孔2的内径。
[0023]本实用新型中所述的第二视窗机构4包括有套上在所述第一视窗机构3外的转接镜筒41，所述的转接镜筒41通过螺钉6固定连接在所述视窗平台I上，在所述转接镜筒41与视窗平台I之间设有密封圈5，在所述转接镜筒41上部设有载镜平台42，在所述载镜平台42上设有观测孔43，在所述观测孔43上方的第二石英镜片44，在所述载镜平台42与第二石英镜片44之间设有密封圈5，在所述转接镜筒41上端设有能将所述第二石英镜片44固定在所述载镜平台42上的固定机构45。
[0024]本实用新型中所述固定机构45包括有旋接在所述载镜平台42上端的固定盖451，在所述固定盖451上设有便于观测的开口 452。本实用新型中在载镜平台42上端外壁设有外连接螺纹，在固定盖451内壁设有内连接螺纹，所述固定盖451螺纹连接在载镜平台42上。
[0025]本实用新型中固定机构45连接方便，安装拆卸简单。
[0026]本实用新型中所述观测孔43的内径大于等于所述观察通孔2的内径。
[0027]本实用新型中所述开口的内径大于等于所述观测孔43的内径。
[0028]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征以及本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种蓝宝石单晶生长炉视窗，包括有与生长炉连接的视窗平台(I)，在所述视窗平台(I)上设有能观察生长炉内部的观察通孔(2)，其特征在于:在所述视窗平台(I)上设有能覆盖所述观察通孔(2)的第一视窗机构(3)，在所述第一视窗机构(3)外套设有第二视窗机构⑷。2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述的第一视窗机构(3)包括有覆盖在所述观察通孔(2)上的第一石英镜片(31)，在所述第一石英镜片(31)与视窗平台(I)之间设有密封圈(5)，在所述视窗平台(I)上设有能将第一石英镜片(31)固定在视窗平台(I)上的固定装置(32)。3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述固定装置(32)包括有设置在所述第一石英镜片(31)上方的镜片固定盖(321)，所述镜片固定盖(321)通过螺钉(6)固定连接在所述视窗平台(I)上，在所述镜片固定盖(321)上设有观测口(322)。4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述观测口(322)的内径大于等于所述观察通孔(2)的内径。5.根据权利要求1-4所述的任一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述的第二视窗机构(4)包括有套上在所述第一视窗机构(3)外的转接镜筒(41)，所述的转接镜筒(41)通过螺钉(6)固定连接在所述视窗平台(I)上，在所述转接镜筒(41)与视窗平台(I)之间设有密封圈(5)，在所述转接镜筒(41)上部设有载镜平台(42)，在所述载镜平台(42)上设有观测孔(43)，在所述观测孔(43)上方的第二石英镜片(44)，在所述载镜平台(42)与第二石英镜片(44)之间设有密封圈(5)，在所述转接镜筒(41)上端设有能将所述第二石英镜片(44)固定在所述载镜平台(42)上的固定机构(45)。6.根据权利要求5所述的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述固定机构(45)包括有旋接在所述载镜平台(42)上端的固定盖(451)，在所述固定盖(451)上设有便于观测的开口(452)。7.根据权利要求6所述的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述观测孔(43)的内径大于等于所述观察通孔(2)的内径。8.根据权利要求6所述的一种蓝宝石单晶生长炉视窗，其特征在于所述开口(452)的内径大于等于所述观测孔(43)的内径。
【专利摘要】本实用新型公开了一种蓝宝石单晶生长炉视窗，包括有与生长炉连接的视窗平台，在所述视窗平台上设有能观察生长炉内部的观察通孔，其特征在于：在所述视窗平台上设有能覆盖所述观察通孔的第一视窗机构，在所述第一视窗机构外套设有第二视窗机构。本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足之处，提供一种结构简单，使用方便，能有效以避免因石英镜片开裂而导致的真空不良问题的蓝宝石单晶生长炉视窗。
【IPC分类】C30B29/20, C30B15/00
【公开号】CN204918836
【申请号】CN201520519317
【发明人】谭伯杨, 翟剑庞, 黄镜蓁
【申请人】中山兆龙光电科技有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年7月16日