专利名称：含杂环碘鎓盐的制作方法
技术领域：
本发明涉及适用于如阳离子性光聚合引发剂、化学放大型抗蚀剂用酸发生剂等的含杂环碘鎓盐。
背景技术：
近几年来，在光聚合领域，代替自由基聚合，关于不受氧的影响即使在空气中也可容易进行聚合的阳离子聚合的研究正在不断地进展。
阳离子光聚合，作为其光源，主要采用例如含g线(436nm)、i线(365nm)等的高压水银灯或金属卤化物灯，与乙烯基单体相比，作为例如环氧化合物、乙烯基醚化合物等的聚合方法更广为人知。
作为阳离子性光聚合引发剂，例如，己知有三芳基锍六氟锑酸盐(美国专利第4058401号公报)、4-(苯基硫代)苯基二苯基锍盐化合物(美国专利第4173476号公报)等的锍盐，例如二苯基碘鎓六氟磷酸盐、二苯基碘鎓、六氟锑酸盐(特开昭50-151996号、特开昭60-47029号公报等)等的碘鎓盐等。
然而，由于这些化合物，例如，使用高压水银灯、金属卤化物灯等作为光源时的酸发生效率低，所以，存在即使采用它们作为阳离子性光聚合引发剂，也难以生成具有高硬度的聚合物的问题。
人们还己知，这些锍盐及碘鎓盐，当其对阴离子为例如六氟磷酸盐(PF-6)等无机强酸时，与六氟锑酸盐(SbF-6)相比，光固化显著下降。然而，SbF-6毒性强，有今后可能无法再使用的可能性。
另外，在Polish J.Chem.，71，p.1236～1245(1997)中，记载了往碘鎓盐的阳离子部导入呫吨基的2-(苯基碘鎓基)呫吨-9-酮四氟硼酸盐(BF-4)及其合成例子，但是，关于该化合物是否可作为阳离子性光聚合引发剂使用，没有任何记载，另外，即使将其作为阳离子性光聚合引发剂使用，也仍不能生成具有充分硬度的聚合物。
另一方面，高压水银灯或金属卤化物灯，也经常用作如半导体用抗蚀剂、液晶用抗蚀剂、配线基板用阻焊剂、PS(PreSensitized)版、CTP(Computer ToPlate)版等的曝光用光源，但是，作为此时所用的酸发生剂，可以采用锍盐及碘鎓盐。
然而，由于这些化合物，使用如高压水银灯、金属卤化物灯等作为光源时的酸发生效率低，所以，存在不能充分提高抗蚀剂的感光度的问题。
在这里，作为酸发生效率高的锍盐，己开发出具有硫代呫吨骨架的锍盐(例如，特开平8-165290号、特开平9-12614号、特开平9-12615号、特开平10-60098号、特开平10-67812号、特开平10-101718号、特开平10-120766号、特开平10-130363号、特开平10-152554号、特开平10-168160号、特开平10-182634号、特开平10-182711号、特开平10-279616号、特开平11-269169号、特开平11-322944号公报等)。然而，由于这些锍盐在400nm或400nm以上的可见光区域有吸收波长，所以呈黄色。因此，当使用它作为聚合引发剂时，所得到的聚合物受聚合引发剂本身色调的影响而着色，例如，在涂层剂、粘合剂、涂料等中使用时，具有所得到的聚合物的透明性变差，或者所得到的聚合物的色调与目的色调有差异等缺点。
在这种情况下，即使在使用例如高压水银灯、金属卤化物灯等作为光源的情况下，研究具有酸发生效率高的新结构的阳离子部，希望开发出即使对阴离子为PF-6等仍具有充分的固化性，并且，对所得到的聚合物透明性也难以产生影响的鎓盐。
发明内容
本发明以解决上述课题为目的，提供如下发明(1)用通式[1]表示的含杂环的锍盐
[式中，R表示以通式[2]表示的基团或以通式[3]表示的基团 (式中，R3及R4分别独立且表示卤原子、可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基或者可具有卤原子或低级烷基作为取代基的芳基，X2表示氧原子或硫原子，i表示0～4的整数，j表示0～3的整数)， (式中，R5及R6分别独立且表示卤原子、可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基或者可具有卤原子或低级烷基作为取代基的芳基，X3及X4互相独立且表示氧原子或硫原子，p表示0～2的整数，q表示0～3的整数)；R1及R2分别独立且表示卤原子、可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基或者可具有卤原子或低级烷基作为取代基的芳基，m及n分别独立且表示0～5的整数；A表示卤原子，或来自无机强酸、有机酸或以下列通式[4]表示的化合物的阴离子，HM1(R7)4[4](式中，M1表示硼原子或镓原子，R7表示可具有选自卤代低级烷基、卤原子、硝基及氰基的取代基的芳基)]。
(2)通式[35]表示的碘鎓盐
[式中，R26及R27分别独立且表示可具有卤原子或者低级烷基作为取代基的芳基、以上述通式[2]表示的基团或以通式[3]表示的基团；A3表示卤原子或来自无机强酸、有机酸或以通式[4]表示的化合物的阴离子。但是，R26及R27的至少一种是以通式[2]或[3]表示的基团，另外，当R26及R27的任意一种中仅有一种是以通式[2]或[3]表示的基团时，A3是以通式[36]表示的来自无机强酸、有机酸或以通式[4]表示的化合物的阴离子，HM3F6[36](式中，M3表示磷原子、砷原子或锑原子)]。
(3)含有以通式[8]表示的锍盐的阳离子性光聚合引发剂 (式中，A1表示来自无机强酸、磺酸或以通式[4]表示的化合物的阴离子，R、R1、R2、m及n的含义同上)。
(4)含有以通式[37]表示的碘鎓盐的阳离子性光聚合引发剂 (式中，A4表示来自无机强酸、磺酸或以通式[4]表示的化合物的阴离子，R26及R27的含义同上。但是，R26及R27中的至少一种是以通式[2]或[3]表示的基团，另外，当R26及R27的任意一种中仅有一种是以通式[2]或[3]表示的基团时，无机强酸可用通式[36]表示)。
(5)一种环氧单体的聚合方法，其特征在于采用上述(3)或(4)中记载的聚合引发剂。
(6)一种乙烯基醚单体的聚合方法，其特征在于采用上述(3)或(4)中记载的聚合引发剂。
(7)含有以通式[9]表示的锍盐的抗蚀剂用酸发生剂 (式中，A2表示来自无机强酸、有机酸或以通式[4]表示的化合物的阴离子，R、R1、R2、m及n的含义同上)；以及(8)含有以通式[38]表示的碘鎓盐的抗蚀剂用酸发生剂 (式中，A5表示来自无机强酸、有机酸或以通式[4]表示的化合物的阴离子，R26及R27的含义同上。但是，R26及R27至少一种是以上述通式[2]或[3]表示的基团，另外，当R26及R27的任意一种中仅有一种是以通式[2]或[3]表示的基团时，无机强酸可用通式[36]表示)。
即，本发明人为了达到上述目的进行悉心研究的结果发现，以上述通式[1]、[8]、[9]、[35]、[37]及[38]表示的含杂环鎓盐，例如，在高压水银灯、金属卤化物灯等的波长区域，酸发生效率优良，并且，在可见光区域(400nm或400nm以上)具有良好的透明性(即，在可见光区域几乎没有吸收)，因此，用它们作为阳离子光聚合引发剂时，可得到不存在上述诸多问题的有用的阳离子性光聚合引发剂或抗蚀剂用酸发生剂或它们的合成原料，从而完成本发明。
图1表示实施例1～4涉及的紫外—可见吸收光谱的吸收曲线数据。
另外，—□—线表示实施例1的结果，—◇—线表示实施例2的结果，—△—线表示实施例3的结果，—○—线表示实施例4的结果。
图2表示比较例1～5及参考例1涉及的紫外—可见吸收光谱的吸收曲线数据。
另外，—◇—线表示比较例1的结果，—△—线表示比较例2的结果，—□—线表示比较例3的结果，…×…线表示比较例4的结果，…○…线表示比较例5的结果，—+—线表示参考例1的结果。
图3表示实施例5～8、比较例6及参考例2涉及的紫外—可见吸收光谱的吸收曲线数据。
另外，—□—线表示实施例5的结果，—◇—线表示实施例6的结果，—△—线表示实施例7的结果，—○—线表示实施例8的结果，—×—线表示比较例6的结果，—+—线表示参考例2的结果。
图4表示实施例4～5、8、比较例2及3涉及的紫外—可见吸收光谱的吸收曲线数据。
另外，—□—线表示实施例4的结果，—*—线表示实施例5的结果，—◇—线表示实施例6的结果，—○—线表示实施例8的结果，…+…线表示比较例2的结果，…△…线表示比较例3的结果。
具体实施例方式
在通式[1]～[3]、[8]及[9]中，作为以R1～R6表示的卤原子，例如，可以举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等，其中，氯原子是优选的。
作为用R1～R6表示的可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基的烷基，可以是直链状、支链状或环状的任何一种，通常可以举出碳原子数为1～18、优选为1～12、更优选为1～4的基团，具体的可以举出，例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、正己基、异己基、仲己基、叔己基、新己基、正庚基、异庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、正辛基、异辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、正壬基、异壬基、仲壬基、叔壬基、新壬基、正癸基、异癸基、仲癸基、叔癸基、新癸基、正十一烷基、异十一烷基、仲十一烷基、叔十一烷基、新十一烷基、正十二烷基、异十二烷基、仲十二烷基、叔十二烷基、新十二烷基、正十三烷基、异十三烷基、仲十三烷基、叔十三烷基、新十三烷基、正十四烷基、异十四烷基、仲十四烷基、叔十四烷基、新十四烷基、正十五烷基、异十五烷基、仲十五烷基、叔十五烷基、新十五烷基、正十六烷基、异十六烷基、仲十六烷基、叔十六烷基、新十六烷基、正十七烷基、异十七烷基、仲十七烷基、叔十七烷基、新十七烷基、正十八烷基、异十八烷基、仲十八烷基、叔十八烷基、新十八烷基、正环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基、环壬基、环癸基、环十一烷基、环十二烷基、环十三烷基、环十四烷基、环十五烷基、环十六烷基、环十七烷基、环十八烷基等，其中，例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基等是优选的，其中甲基、乙基等是最优选的。
作为上述烷基的取代基举出的卤原子，例如，可以举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等，其中，氯原子是优选的。
作为上述烷基的取代基举出的芳基，通常可以举出碳原子为6～16、优选为6～14的芳基，具体的可以举出，例如苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基等，其中，例如苯基、萘基、蒽基、菲基等是优选的。
在通式[1]～[3]、[8]、[9]、[35]、[37]及[38]中，作为用R1～R6、R26及R27表示的可具有卤原子或低级烷基作为取代基的芳基的芳基，通常可以举出碳原子数为6～16、优选为6～14的芳基，具体的可以举出，例如苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基等，其中，例如苯基、萘基、蒽基、菲基是优选的。
作为上述芳基的取代基举出的卤原子，例如，可以举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等，其中，氯原子是优选的。
作为上述芳基的取代基举出的低级烷基，可以是直链状、支链状或环状的任何一种，通常可以举出碳原子数为1～6、优选为1～4的烷基，具体的可以举出，例如与用上述R1～R6表示的可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基中碳原子数为1～6的烷基所例示同样的烷基，其中，甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基等是优选的，而最优选甲基、乙基。
在通式[2]及[3]中，X2～X4分别独立且表示氧原子或硫原子，其中，氧原子是优选的。
在通式[1]、[8]及[9]中，m及n分别独立，通常表示0～5，优选表示0～2的整数。
在通式[2]中，i通常表示0～4，优选表示0～2的整数，j通常表示0～3，优选表示0～2的整数。
在通式[3]中，p通常表示0～2，优选表示0～1的整数，q通常表示0～3，优选表示0～2的整数。
在通式[4]中，作为用R7表示的可具有选自卤代低级烷基、卤原子、硝基及氰基的取代基的芳基的芳基，通常可以举出碳原子数为6～16、优选为6～14的芳基，具体的可以举出，例如苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基等，其中，苯基是优选的。
作为用上述R7表示的芳基的取代基所举出的卤代低级烷基，可以是直链状、支链状或环状的任何一种，通常可以举出碳原子数为1～6、优选碳原子数为1～4的低级烷基中的一部分或全部氢原子被卤原子(例如氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等)取代的基团，具体的可以举出，例如氟甲基、氯甲基、溴甲基、碘甲基、二氟甲基、二氯甲基、二溴甲基、二碘甲基、三氟甲基、三氯甲基、三溴甲基、三碘甲基、三氟乙基、三氯乙基、三溴乙基、三碘乙基、五氟乙基、五溴乙基、五碘乙基、七氟丙基、七氯丙基、七溴丙基、七碘丙基、九氟丁基、九氯丁基、九溴丁基、九碘丁基、全氟戊基、全氯戊基、全溴戊基、全碘戊基、全氟己基、全氯己基、全溴己基、全碘己基、三氟环丁基、三氯环丁基、三溴环丁基、三碘环丁基、四氟环戊基、四氯环戊基、四溴环戊基、四碘环戊基、五氟环己基、五氯环己基、五溴环己基、五碘环己基等，其中，例如三氟甲基、三氯甲基、三溴甲基、三碘甲基是优选的，而最优选三氟甲基。
作为用上述R7表示的芳基的取代基所举出的卤原子，例如，可以举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等，其中，氟原子是优选的。
在通式[1]及[35]中，作为用A及A3表示的卤原子，例如，可以举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等，其中，氯原子、溴原子是优选的。
在通式[1]、[8]、[9]、[35]、[37]及[38]中，作为用A及A1～A5表示的来自无机强酸的阴离子，可以举出，例如来自硝酸、硫酸、卤代硫酸、高卤酸、通式[5]表示的无机强酸等的阴离子，HM2FK[5](式中，M2表示准金属原子或金属原子，k表示4或6的整数)。
但是，在通式[35]、[37]及[38]中，当R26及R27的任意一种中仅有一种是用通式[2]或[3]表示的基团时，作为用A3～A5表示的来自无机强酸的阴离子，可以举出，例如来自用通式[36]表示的无机强酸的阴离子等，HM3F6[36](式中，M3表示磷原子、砷原子或锑原子)。
在通式[5]中，作为用M2表示的准金属原子，例如，可以举出硼原子、硅原子、磷原子、砷原子、锑原子等，其中，例如磷原子、砷原子、锑原子等是优选的。
作为用M2表示的金属原子，例如，可以举出钛原子、锆原子、铁原子、镍原子、铝原子、镓原子等，其中，镓原子是优选的。
在通式[1]、[9]、[35]及[38]中，作为用A、A2、A3及A5表示的来自有机酸的阴离子，例如，可以举出来自用通式[6]表示的磺酸、通式[7]表示的羧酸等的阴离子，R8-SO3H[6](式中，R8表示可具有卤原子的烷基、芳基或芳烷基)；R9-COOH[7](式中，R9表示可具有卤原子的烷基、芳基或芳烷基)。
在通式[8]及[37]中，作为用A1及A4表示的来自磺酸的阴离子，可以举出，例如来自用上述通式[6]表示的磺酸的阴离子等。
在通式[6]中，作为用R8表示的可具有卤原子的烷基的烷基，可以是直链状、支链状或环状的任何一种，通常可以举出碳原子数为1～29、优选为1～18、更优选为1～8的烷基，具体的可以举出，例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、正己基、异己基、仲己基、叔己基、新己基、正庚基、异庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、正辛基、异辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、正壬基、异壬基、仲壬基、叔壬基、新壬基、正癸基、异癸基、仲癸基、叔癸基、新癸基、正十一烷基、异十一烷基、仲十一烷基、叔十一烷基、新十一烷基、正十二烷基、异十二烷基、仲十二烷基、叔十二烷基、新十二烷基、正十三烷基、异十三烷基、仲十三烷基、叔十三烷基、新十三烷基、正十四烷基、异十四烷基、仲十四烷基、叔十四烷基、新十四烷基、正十五烷基、异十五烷基、仲十五烷基、叔十五烷基、新十五烷基、正十六烷基、异十六烷基、仲十六烷基、叔十六烷基、新十六烷基、正十七烷基、异十七烷基、仲十七烷基、叔十七烷基、新十七烷基、正十八烷基、异十八烷基、仲十八烷基、叔十八烷基、新十八烷基、正十九烷基、异十九烷基、仲十九烷基、叔十九烷基、新十九烷基、正二十烷基、异二十烷基、仲二十烷基、叔二十烷基、新二十烷基、正二十一烷基、异二十一烷基、仲二十一烷基、叔二十一烷基、新二十一烷基、正二十二烷基、异二十二烷基、仲二十二烷基、叔二十二烷基、新二十二烷基、正二十三烷基、异二十三烷基、仲二十三烷基、叔二十三烷基、新二十三烷基、正二十四烷基、异二十四烷基、仲二十四烷基、叔二十四烷基、新二十四烷基、正二十五烷基、异二十五烷基、仲二十五烷基、叔二十五烷基、新二十五烷基、正二十六烷基、异二十六烷基、仲二十六烷基、叔二十六烷基、新二十六烷基、正二十七烷基、异二十七烷基、仲二十七烷基、叔二十七烷基、新二十七烷基、正二十八烷基、异二十八烷基、仲二十八烷基、叔二十八烷基、新二十八烷基、正二十九烷基、异二十九烷基、仲二十九烷基、叔二十九烷基、新二十九烷基、环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环辛基、环壬基、环癸基、环十一烷基、环十二烷基、环十三烷基、环十四烷基、环十五烷基、环十六烷基、环十七烷基、环十八烷基、环十九烷基、环二十烷基、环二十一烷基、环二十二烷基、环二十三烷基、环二十四烷基、环二十五烷基、环二十六烷基、环二十七烷基、环二十八烷基、环二十九烷基等，其中，甲基、丁基、辛基等是优选的。
在通式[7]中，用R6表示的可具有卤原子的烷基的烷基，可以是直链状、支链状或环状的任何一种，通常可以举出碳原子数为1～29、优选为1～18、更优选为1～11的烷基，具体的可以举出，例如与上述R8表示的可具有卤原子的烷基的烷基例示同样的烷基，其中，甲基、丙基、庚基、十一烷基等是优选的。
在通式[6]及[7]中，作为用R8及R9表示的可具有卤原子的芳基的芳基，通常可以举出碳原子数为6～16、优选碳原子数为6～14的芳基，具体的可以举出，例如苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基等，其中，苯基是优选的。
作为用R8及R9表示的可具有卤原子的芳烷基的芳烷基，通常可以举出碳原子数为7～15、优选碳原子数为7～10的芳烷基，具体的可以举出，例如苄基、苯乙基、苯丙基、苯丁基、1-甲基-3-苯丙基、苯戊基、苯己基、苯庚基、苯辛基、苯壬基等，其中，苄基、苯乙基是优选的。
所谓用R8及R9表示的具有卤原子的烷基、芳基及芳烷基，是指上述烷基、芳基及芳烷基中的一部分或全部氢原子被卤原子(例如氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等)取代的化合物。
具体的可以举出，在烷基中，全部氢原子被卤原子取代的化合物或通常1～30个、优选1～16个氢原子被卤原子取代的化合物，其中，全部氢原子被卤原子取代的化合物是优选的。
在芳基中，可以举出其环中的1～5个、优选3～5个氢原子被卤原子取代的化合物，其中，环中的全部氢原子被卤原子取代的化合物是优选的。
在芳烷基中，可以举出其烷基部分的氢原子及/或芳基部分的氢原子被卤原子取代的化合物，对于烷基部分包括全部或一部分氢原子被卤原子取代的化合物，对于芳基部分可以举出环中的1～5个、优选5个氢原子被卤原子取代的化合物。
这些用R8及R9表示的可具有卤原子的烷基、芳基或者芳烷基，除卤原子以外，还可以进一步具有取代基，作为该取代基，可以举出，例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基等碳原子数为1～4的低级烷基、例如氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、氯甲基、二氯甲基、三氯甲基、溴甲基、二溴甲基、三溴甲基、碘甲基、二碘甲基、三碘甲基、三氟乙基、三氯乙基、三溴乙基、五氟乙基、五氯乙基、五溴乙基、七氟丙基、七氯丙基、九氟丁基、九氯丁基、九溴丁基、九碘丁基等碳原子数为1～4的卤代低级烷基，例如甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基等碳原子数为1～4的低级烷氧基等。
作为用通式[4]表示的化合物具体例子，例如可以举出四苯基硼酸、四[4-(三氟甲基)苯基]硼酸、四[4-(三氯甲基)苯基]硼酸、四[4-(三溴甲基)苯基]硼酸、四[4-(三碘甲基)苯基]硼酸、四[3，5-双(三氟甲基)苯基]硼酸、四[3，5-双(三氯甲基)苯基]硼酸、四[3，5-双(三溴甲基)苯基]硼酸、四[3，5-双(三碘甲基)苯基]硼酸、四(五氟苯基)硼酸、四(五氯苯基)硼酸、四(五溴苯基)硼酸、四(五碘苯基)硼酸、四苯基镓酸、四[4-(三氟甲基)苯基]镓酸、四[4-(三氯甲基)苯基]镓酸、四[4-(三溴甲基)苯基]镓酸、四[4-(三碘甲基)苯基]镓酸、四[3，5-双(三氟甲基)苯基]镓酸、四[3，5-双(三氯甲基)苯基]镓酸、四[3，5-双(三溴甲基)苯基]镓酸、四[3，5-双(三碘甲基)苯基]镓酸、四(五氟苯基)镓酸、四(五氯苯基)镓酸、四(五溴苯基)镓酸、四(五碘苯基)镓酸等，其中，例如四苯基硼酸、四[4-(三氟甲基)苯基]硼酸、四[3，5-双(三氟甲基)苯基]硼酸、四(五氟苯基)硼酸、四苯基镓酸、四[4-(三氟甲基)苯基]镓酸、四[3，5-双(三氟甲基)苯基]镓酸、四(五氟苯基)镓酸等是优选的。
作为无机强酸举出的卤代硫酸的具体例子，例如，可以举出氟硫酸、氯硫酸、溴硫酸、碘硫酸等，其中，氯硫酸、溴硫酸是优选的。
作为无机强酸举出的高卤酸的具体例子，例如，可以举出高氟酸、高氯酸、高溴酸、高碘酸等，其中，高氯酸、高溴酸、高碘酸是优选的，而高氯酸是最优选的。
作为用通式[5]表示的无机强酸的具体例子，例如，可以举出四氟硼酸、四氟铝酸、四氟铁酸、四氟镓酸、六氟磷酸、六氟砷酸、六氟锑酸、六氟硅酸、六氟镍酸、六氟钛酸、六氟锆酸等，其中，六氟磷酸、六氟砷酸、六氟锑酸是优选的。
作为用通式[36]表示的无机强酸的具体例子，例如，可以举出六氟磷酸、六氟砷酸、六氟锑酸等。
作为用通式[6]表示的磺酸的具体例子，例如，可以举出甲基磺酸、乙基磺酸、丙基磺酸、丁基磺酸、戊磺酸、己磺酸、庚磺酸、辛磺酸、壬磺酸、癸磺酸、十一烷基磺酸、十二烷基磺酸、十三烷基磺酸、十四烷基磺酸、十五烷基磺酸、十六烷基磺酸、十七烷基磺酸、十八烷基磺酸、十九烷基磺酸、二十烷基磺酸、二十一烷基磺酸、二十二烷基磺酸、二十三烷基磺酸、二十四烷基磺酸等的烷基磺酸；例如氟代甲基磺酸、二氟甲基磺酸、三氟甲基磺酸、氯代甲基磺酸、二氯甲基磺酸、三氯甲基磺酸、溴代甲基磺酸、二溴甲基磺酸、三溴甲基磺酸、碘代甲基磺酸、二碘甲基磺酸、三碘甲基磺酸、氟代乙基磺酸、二氟乙基磺酸、三氟乙基磺酸、五氟乙基磺酸、氯代乙基磺酸、二氯乙基磺酸、三氯乙基磺酸、五氯乙基磺酸、三溴乙基磺酸、五溴乙基磺酸、三碘乙基磺酸、五碘乙基磺酸、氟代丙基磺酸、三氟丙基磺酸、五氟丙基磺酸、氯代丙基磺酸、三氯丙基磺酸、七氯丙基磺酸、溴代丙基磺酸、三溴丙基磺酸、七溴丙基磺酸、三碘丙基磺酸、七碘丙基磺酸、三氟丁基磺酸、九氟丁基磺酸、三氯丁基磺酸、九氯丁基磺酸、三溴丁基磺酸、九溴丁基磺酸、三碘丁基磺酸、九碘丁基磺酸、三氟戊磺酸、全氟戊磺酸、三氯戊磺酸、全氯戊磺酸、三溴戊磺酸、全溴戊磺酸、三碘戊磺酸、全碘戊磺酸、三氟己磺酸、全氟己磺酸、三氯己磺酸、全氯己磺酸、全溴己磺酸、全碘己磺酸、三氟庚磺酸、全氟庚磺酸、三氯庚磺酸、全氯庚磺酸、全溴庚磺酸、全碘庚磺酸、三氟辛磺酸、全氟辛磺酸、三氯辛磺酸、全氯辛磺酸、全溴辛磺酸、全碘辛磺酸、三氟壬磺酸、全氟壬磺酸、三氯壬磺酸、全氯壬磺酸、全溴壬磺酸、全碘壬磺酸、三氟癸磺酸、全氟癸磺酸、三氯癸磺酸、全氯癸磺酸、全溴癸磺酸、全碘癸磺酸、三氟十一烷基磺酸、全氟十一烷基磺酸、三氯十一烷基磺酸、全氯十一烷基磺酸、全溴十一烷基磺酸、全碘十一烷基磺酸、三氟十二烷基磺酸、全氟十二烷基磺酸、三氯十二烷基磺酸、全氯十二烷基磺酸、全溴十二烷基磺酸、全碘十二烷基磺酸、三氟十三烷基磺酸、全氟十三烷基磺酸、三氯十三烷基磺酸、全氯十三烷基磺酸、全溴十三烷基磺酸、全碘十三烷基磺酸、三氟十四烷基磺酸、全氟十四烷基磺酸、三氯十四烷基磺酸、全氯十四烷基磺酸、全溴十四烷基磺酸、全碘十四烷基磺酸、三氟十五磺酸、全氟十五烷基磺酸、三氯十五烷基磺酸、全氯十五烷基磺酸、全溴十五烷基磺酸、全碘十五烷基磺酸、全氟十六烷基磺酸、全氯十六烷基磺酸、全溴十六烷基磺酸、全碘十六烷基磺酸、全氟十七烷基磺酸、全氯十七烷基磺酸、全溴十七烷基磺酸、全碘十七烷基磺酸、全氟十八烷基磺酸、全氯十八烷基磺酸、全溴十八烷基磺酸、全碘十八烷基磺酸、全氟十九烷基磺酸、全氯十九烷基磺酸、全溴十九烷基磺酸、全碘十九烷基磺酸、全氟二十烷基磺酸、全氯二十烷基磺酸、全溴二十烷基磺酸、全碘二十烷基磺酸、全氟二十-烷基磺酸、全氯二十一烷基磺酸、全溴二十-烷基磺酸、全碘二十一烷基磺酸、全氟二十二烷基磺酸、全氯二十二烷基磺酸、全溴二十二烷基磺酸、全碘二十二烷基磺酸、全氟二十三烷基磺酸、全氯二十三烷基磺酸、全溴二十三烷基磺酸、全碘二十三烷基磺酸、全氟二十四烷基磺酸、全氯二十四烷基磺酸、全溴二十四烷基磺酸、全碘二十四烷基磺酸等的卤代烷基磺酸，例如环戊磺酸、环己磺酸等环烷基磺酸，例如2-氟环戊磺酸、2-氯环戊磺酸、2-溴环戊磺酸、2-碘环戊磺酸、3-氟环戊磺酸、3-氯环戊磺酸、3-溴环戊磺酸、3-碘环戊磺酸、3，4-二氟环戊磺酸、3，4-二氯环戊磺酸、3，4-二溴环戊磺酸、3，4-二碘环戊磺酸、4-氟环己磺酸、4-氯环己磺酸、4-溴环己磺酸、4-碘环己磺酸、2，4-二氟环己磺酸、2，4-二氯环己磺酸、2，4-二溴环己磺酸、2，4-二碘环己磺酸、2，4，6-三氟环己磺酸、2，4，6-三氯环己磺酸、2，4，6-三溴环己磺酸、2，4，6-三碘环己磺酸、四氟环己磺酸、四氯环己磺酸、四溴环己磺酸、四碘环己磺酸等的卤代环烷基磺酸，例如，苯磺酸、萘磺酸、蒽磺酸、菲磺酸、芘磺酸等的芳香族磺酸，例如，2-氟苯磺酸、3-氟苯磺酸、4-氟苯磺酸、2-氯苯磺酸、3-氯苯磺酸、4-氯苯磺酸、2-溴苯磺酸、3-溴苯磺酸、4-溴苯磺酸、2-碘苯磺酸、4-碘苯磺酸、2，4-二氟苯磺酸、2，6-二氟苯磺酸、2，4-二氯苯磺酸、2，6-二氯苯磺酸、2，4-二溴苯磺酸、2，6-二溴苯磺酸、2，4-二碘苯磺酸、2，6-二碘苯磺酸、2，4，6-三氟苯磺酸、3，4，5-三氟苯磺酸、2，4，6-三氯苯磺酸、3，4，5-三氯苯磺酸、2，4，6-三溴苯磺酸、3，4，5-三溴苯磺酸、2，4，6-三碘苯磺酸、3，4，5-三碘苯磺酸、五氟苯磺酸、五氯苯磺酸、五溴苯磺酸、五碘苯磺酸、氟代萘磺酸、氯代萘磺酸、溴代萘磺酸、碘代萘磺酸、氟代蒽磺酸、氯代蒽磺酸、溴代蒽磺酸、碘代蒽磺酸等的卤代芳香族磺酸，例如对甲苯磺酸、4-异丙基苯磺酸、3，5-双(三甲基)苯磺酸、3，5-双(异丙基)苯磺酸、2，4，6-三(三甲基)苯磺酸、2，4，6-三(异丙基)苯磺酸等的烷基芳香族磺酸，例如2-三氟甲基苯磺酸、2-三氯甲基苯磺酸、2-三溴甲基苯磺酸、2-三碘甲基苯磺酸、3-三氟甲基苯磺酸、3-三氯甲基苯磺酸、3-三溴甲基苯磺酸、3-三碘甲基苯磺酸、4-三氟甲基苯磺酸、4-三氯甲基苯磺酸、4-三溴甲基苯磺酸、4-三碘甲基苯磺酸、2，6-二(三氟甲基)苯磺酸、2，6-二(三氯甲基)苯磺酸、2，6-二(三溴甲基)苯磺酸、2，6-二(三碘甲基)苯磺酸、3，5-二(三氟甲基)苯磺酸、3，5-二(三氯甲基)苯磺酸、3，5-二(三溴甲基)苯磺酸、3，5-二(三碘甲基)苯磺酸等的卤代烷基芳香族磺酸，例如苄磺酸、苯基乙磺酸、苯基丙磺酸、苯基丁磺酸、苯基戊磺酸、苯基己磺酸、苯基庚磺酸、苯基辛磺酸、苯基壬磺酸等的芳香脂肪族磺酸，例如4-氟苯基甲磺酸、4-氯苯基甲磺酸、4-溴苯基甲磺酸、4-碘苯基甲磺酸、四氟苯基甲磺酸、四氯苯基甲磺酸、四溴苯基甲磺酸、四碘苯基甲磺酸、4-氟苯基乙磺酸、4-氯苯基乙磺酸、4-溴苯基乙磺酸、4-碘苯基乙磺酸、4-氟苯基丙磺酸、4-氯苯基丙磺酸、4-溴苯基丙磺酸、4-碘苯基丙磺酸、4-氟苯基丁磺酸、4-氯苯基丁磺酸、4-溴苯基丁磺酸、4-碘苯基丁磺酸等的卤代芳香脂肪族磺酸，例如樟脑磺酸、金刚烷磺酸等的脂环式磺酸等。
作为用通式[7]表示的羧酸的具体例子，例如，可以举出甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、异丁酸、戊酸、异戊酸、三甲基乙酸、己酸、庚酸、辛酸、壬酸、癸酸、十一烷酸、十二烷酸、十三烷酸、肉豆蔻酸、十五烷酸、棕榈酸、十七烷酸、硬脂酸、十九烷酸、二十烷酸、二十一烷酸、二十二烷酸、二十三烷酸等的脂肪族饱和羧酸，例如氟醋酸、氯醋酸、溴醋酸、碘醋酸、二氟醋酸、二氯醋酸、二溴醋酸、二碘醋酸、三氟醋酸、三氯醋酸、三溴醋酸、三碘醋酸、2-氟丙酸、2-氯丙酸、2-溴丙酸、2-碘丙酸、三氟丙酸、三氯丙酸、五氟丙酸、五氯丙酸、五溴丙酸、五碘丙酸、2，2-二(三氟甲基)丙酸、2，2-二(三氯甲基)丙酸、2，2-二(三溴甲基)丙酸、2，2-二(三碘甲基)丙酸、三氟丁酸、三氯丁酸、五氟丁酸、七氯丁酸、七氟丁酸、七溴丁酸、七碘丁酸、七氟异丁酸、七氯异丁酸、七溴异丁酸、七碘异丁酸、三氟戊酸、5H-全氟戊酸、5H-全氯戊酸、5H-全溴戊酸、5H-全碘戊酸、九氟戊酸、九氯戊酸、九溴戊酸、九碘戊酸、三氟己酸、三氯己酸、全氟己酸、全氯己酸、全溴己酸、全碘己酸、7-氯十二氟庚酸、7-氯十二氯庚酸、7-氯十二溴庚酸、7-氯十二碘庚酸、三氟庚酸、三氯庚酸、7H-全氟庚酸、7H-全氯庚酸、7H-全溴庚酸、7H-全碘庚酸、三氟辛酸、三氯辛酸、十五氟辛酸、十五氯辛酸、十五溴辛酸、十五碘辛酸、三氟壬酸、三氯壬酸、9H-十六氟壬酸、9H-十六氯壬酸、9H-十六溴壬酸、9H-十六碘壬酸、全氟壬酸、全氯壬酸、全溴壬酸、全碘壬酸、三氟癸酸、三氯癸酸、十九氟癸酸、十九氯癸酸、十九溴癸酸、十九碘癸酸、三氟十一烷酸、三氯十一烷酸、全氟十一烷酸、全氯十一烷酸、全溴十一烷酸、全碘十一烷酸、三氟十二烷酸、三氯十二烷酸、全氟十二烷酸、全氯十二烷酸、全溴十二烷酸、全碘十二烷酸、三氟十三烷酸、三氯十三烷酸、全氟十三烷酸、全氯十三烷酸、全溴十三烷酸、全碘十三烷酸、三氟十四烷酸、三氯十四烷酸、全氟十四烷酸、全氯十四烷酸、全溴十四烷酸、全碘十四烷酸、三氟十五烷酸、三氯十五烷酸、全氟十五烷酸、全氯十五烷酸、全溴十五烷酸、全碘十五烷酸、全氟十六烷酸、全氯十六烷酸、全溴十六烷酸、全碘十六烷酸、全氟十七烷酸、全氯十七烷酸、全溴十七烷酸、全碘十七烷酸、全氟十八烷酸、全氯十八烷酸、全溴十八烷酸、全碘十八烷酸、全氟十九烷酸、全氯十九烷酸、全溴十九烷酸、全碘十九烷酸、全氟二十烷酸、全氯二十烷酸、全溴二十烷酸、全碘二十烷酸、全氟二十一烷酸、全氯二十一烷酸、全溴二十一烷酸、全碘二十一烷酸、全氟二十二烷酸、全氯二十二酸、全溴二十二酸、全碘二十二酸、全氟二十三烷酸、全氯二十三烷酸、全溴二十三烷酸、全碘二十三烷酸等的卤代饱和脂肪族羧酸，例如乙二醇、乳酸、丙三醇、3-羟基-2-甲基丙酸等的羟基脂肪族羧酸，例如3-羟基-2-(三氟甲基)丙酸、3-羟基-2-(三氯甲基)丙酸、3-羟基-2-(三溴甲基)丙酸、3-羟基-2-(三碘甲基)丙酸、2-羟基-2-(三氟甲基)丁酸、2-羟基-2-(三氯甲基)丁酸、2-羟基-2-(三溴甲基)丁酸、2-羟基-2-(三碘甲基)丁酸等的卤代羟基脂肪族羧酸，例如环己烷羧酸、樟脑酸、金刚烷酸等脂环式羧酸，例如4-氟环己烷羧酸、4-氯环己烷羧酸、4-溴环己烷羧酸、4-碘环己烷羧酸、五氟环己烷羧酸、五氯环己烷羧酸、五溴环己烷羧酸、五碘环己烷羧酸、4-(三氟甲基)环己烷羧酸、4-(三氯甲基)环己烷羧酸、4-(三溴甲基)环己烷羧酸、4-(三碘甲基)环己烷羧酸等的卤代脂环式羧酸，例如安息香酸、萘酸、蒽酸、芘酸、二萘嵌苯酸、戊芬酸等芳香族羧酸，例如氟代安息香酸、氯代安息香酸、溴代安息香酸、碘代安息香酸、二氟代安息香酸、二氯代安息香酸、二溴代安息香酸、二碘代安息香酸、三氟代安息香酸、三氯代安息香酸、三溴代安息香酸、三碘代安息香酸、四氟代安息香酸、四氯代安息香酸、四溴代安息香酸、四碘代安息香酸、五氟代安息香酸、五氯代安息香酸、五溴代安息香酸、五碘代安息香酸、氟代萘酸、氯代萘酸、溴代萘酸、碘代萘酸、全氟代萘酸、全氯代萘酸、全溴代萘酸、全碘代萘酸、氟代蒽酸、氯代蒽酸、溴代蒽酸、碘代蒽酸、全氟代蒽酸、全氯代蒽酸、全溴代蒽酸、全碘代蒽酸等卤代脂肪族羧酸，例如甲苯甲酸、2，4，6-三(异丙基)安息香酸等的烷基安息香酸，例如2-三氟甲基安息香酸、2-三氯甲基安息香酸、2-三溴甲基安息香酸、2-三碘甲基安息香酸、3-三氟甲基安息香酸、3-三氯甲基安息香酸、3-三溴甲基安息香酸、3-三碘甲基安息香酸、4-三氟甲基安息香酸、4-三氯甲基安息香酸、4-三溴甲基安息香酸、4-三碘甲基安息香酸、2-氟-4-(三氟甲基)安息香酸、2-氯-4-(三氯甲基)安息香酸、2-溴-4-(三溴甲基)安息香酸、2，3，4-三氟-6-(三氟甲基)安息香酸、2，3，4-三氯-6-(三氯甲基)安息香酸、2，3，4-三溴-6-(三溴甲基)安息香酸、2，3，4-三碘-6-(三碘甲基)安息香酸、2-碘-4-(三碘甲基)安息香酸、2，4-二(三氟甲基)安息香酸、2，4-二(三氯甲基)安息香酸、2，4-二(三溴甲基)安息香酸、2，4-二(三碘甲基)安息香酸、2，6-二(三氟甲基)安息香酸、2，6-二(三氯甲基)安息香酸、2，6-二(三溴甲基)安息香酸、2，6-二(三碘甲基)安息香酸、3，5-二(三氟甲基)安息香酸、3，5-二(三氯甲基)安息香酸、3，5-二(三溴甲基)安息香酸、3，5-二(三碘甲基)安息香酸、2，4，6-三(三氟甲基)安息香酸、2，4，6-三(三氯甲基)安息香酸、2，4，6-三(三溴甲基)安息香酸、2，4，6-三(三碘甲基)安息香酸、2-氯-6-氟-3-甲基安息香酸、三氟甲基萘酸、三氯甲基萘酸、三溴甲基萘酸、三碘甲基萘酸、二(三氟甲基)萘酸、二(三氯甲基)萘酸、二(三溴甲基)萘酸、二(三碘甲基)萘酸、三(三氟甲基)萘酸、三(三氯甲基)萘酸、三(三溴甲基)萘酸、三(三碘甲基)萘酸、三氟甲基蒽酸、三氯甲基蒽酸、三溴甲基蒽酸、三碘甲基蒽酸等卤代烷基芳香族羧酸，例如茴香酸、藜芦酸、邻-藜芦酸等烷氧基芳香族羧酸，例如4-三氟甲氧基安息香酸、4-三氯甲氧基安息香酸、4-三溴甲氧基安息香酸、4-三碘甲氧基安息香酸、4-五氟甲氧基安息香酸、4-五氯甲氧基安息香酸、4-五溴甲氧基安息香酸、4-五碘甲氧基安息香酸、3，4-二(三氟甲氧基)安息香酸、3，4-二(三氯甲氧基)安息香酸、3，4-二(三溴甲氧基)安息香酸、3，4-二(三碘甲氧基)安息香酸、2，5-二(2，2，2-三氟乙氧基)安息香酸、2，5-二(2，2，2-三氯乙氧基)安息香酸、2，5-二(2，2，2-三溴乙氧基)安息香酸、2，5-二(2，2，2-三碘乙氧基)安息香酸等的卤代烷氧基芳香族羧酸，例如水杨酸、邻-焦儿茶酸、β-二羟基苯甲酸、龙胆酸、γ-二羟基苯甲酸、原儿茶酸、α-二羟基苯甲酸、没食子酸等羟基芳香族羧酸，例如香草酸、异香草酸等羟基烷氧基芳香族羧酸，例如三硝基安息香酸等硝基芳香族羧酸，例如氨茴酸等氨基芳香族羧酸，例如三硝基安息香酸等的硝基芳香族羧酸，例如邻氨基苯甲酸等的氨基芳香族羧酸，例如α-甲苯甲酸、氢化肉桂酸、氢化阿托酸、3-苯基丙酸、4-苯基丁酸、5-苯基戊酸、6-苯基己酸、7-苯基庚酸、6-(2-萘基)己酸等芳香脂肪族羧酸，例如尿黑酸等羟基芳香脂肪族羧酸，例如扁桃酸、二苯基乙醇酸、阿卓乳酸、托品酸、阿卓甘油酸等芳香族羟基烷基羧酸，例如2-甲酰基乙酸、乙酰乙酸、3-苯甲酰基丙酸、4-甲酰基丁酸、3-氧代戊酸、5-氧代戊酸、3，5-二氧代戊酸、6-甲酰基己酸、2-氧代-1-环己酸、4-(2-氧代丁基)安息香酸、对-(3-甲酰基丙基)安息香酸、4-甲酰基苯基乙酸、β-氧代环己烷丙酸、丙酮酸等氧代羧酸等。
作为用通式[2]表示的基团，例如，可以举出以下列通式[10]及[12]表示的基团，其中优选由通式[10]表示的基团。
(式中，R3、R4、i及j的含义同上)。
作为用通式[10]表示的基团，具体的可以举出，例如呫吨-9-酮-2-基、呫吨-9-酮-4-基等，其中，呫吨-9-酮-2-基是优选的。
作为用通式[12]表示的基团，具体的可以举出，例如呫吨-9-酮-2-基、呫吨-9-酮-4-基等。
作为用通式[3]表示的基团，例如可以举出用下列通式[14]及[15]表示的基团， (式中，R5、R6、p及q的含义同前)，其中用通式[14]表示的基团是优选的。
作为用通式[14]表示的基团，具体的可以举出，例如香豆素-7-基、香豆素-5-基、4-甲氧基香豆素-7-基、4-甲氧基香豆素-5-基、6-甲基香豆素-7-基、6-甲基香豆素-5-基等，其中，香豆素-7-基是优选的。
作为用通式[15]表示的基团，具体的可以举出，例如香豆素-2-硫代-7-基、香豆素-2-硫代-5-基、4-甲氧基香豆素-2-硫代-7-基、4-甲氧基香豆素-2-硫代-5-基、6-甲基香豆素-2-硫代-7-基、6-甲基香豆素-2-硫代-5-基等。
作为用通式[1]表示的锍盐，例如，可以举出用下列通式[16]、[18]、[20]及[21]表示的锍盐， (式中，R1～R6、A、i、j、m、n、p及q的含义同上)；其中，用通式[16]、通式[20]表示锍盐是优选的。
作为用通式[35]表示的碘鎓盐，例如，可以举出用下列通式[39]～[43]表示的碘鎓盐，
(式中，R28表示卤原子或低级烷基，u表示0～5的整数，R1～R6、X2～X4、A3、i、j、m、n、p及q的含义同上)；其中，用通式[39]～[41]表示的是优选的，而用通式[39]及[40]表示的是更优选的。
在通式[42]及[43]中，作为用R28表示的卤原子，可以举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等。
作为用通式[28]表示的低级烷基，可以是直链状、支链状或环状的任何一种，通常可以举出碳原子数为1～6、优选为1～4的低级烷基，具体的可以举出，例如用上述R1～R6表示的可具有卤原子或低级烷基作为取代基的芳基的取代基中所举出的与低级烷基的例示相同的基团，其中，例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基等是优选的，而甲基、乙基是更优选的。
u通常表示0～5、优选表示0～1的整数。
作为用通式[16]表示的化合物优选的具体例子，例如，可以举出二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍氯化物、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍氟化物、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍高氯酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍四氟硼酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍六氟砷酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍六氟锑酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍四(五氟苯基)硼酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍四苯基镓酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍四(五氟苯基)镓酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍全氟辛磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍苯磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍对甲苯磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍4-十二烷基苯磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍4-氟苯磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍2，4-二氟苯磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍五氟苯磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍4-三氟甲基苯磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍3，5-二(三氟甲基)苯磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍乙酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍七氟丁酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍全氟辛酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍全氟十二酸盐、二(4-甲基苯基)-(呫吨-9-酮-2-基)-锍六氟磷酸盐、二(4-甲基苯基)-(呫吨-9-酮-2-基)-锍四苯基硼酸盐、二(4-甲基苯基)-(呫吨-9-酮-2-基)-锍三氟甲磺酸盐、二(4-甲基苯基)-(呫吨-9-酮-2-基)-锍九氟丁酸盐、二(4-甲基苯基)-(呫吨-9-酮-2-基)-锍对甲苯磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-4-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-4-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-4-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-4-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-4-基)-锍对甲苯磺酸盐，其中，例如二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍对甲苯磺酸盐是优选的，而二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍六氟磷酸盐等是更优选的。
作为用通式[18]表示的化合物的优选具体例子，例如，可以举出二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍氯化物、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍氟化物、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍高氯酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍四氟硼酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍六氟砷酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍六氟锑酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍四(五氟苯基)硼酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍四苯基镓酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍全氟辛磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍苯磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍对甲苯磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍乙酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍七氟丁酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍全氟辛酸盐、二(4-甲基苯基)-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍六氟磷酸盐、二(4-甲基苯基)-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍四苯基硼酸盐、二(4-甲基苯基)-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍三氟甲磺酸盐、二(4-甲基苯基)-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍九氟丁酸盐、二(4-甲基苯基)-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍对甲苯磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-4-基)-锍六氟磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-4-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-4-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-4-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-4-基)-锍对甲苯磺酸盐等，其中，例如二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(呫吨-9-硫代-2-基)-锍对甲苯磺酸盐是优选的。
作为用通式[20]表示的化合物的优选具体例子，例如，可以举出二苯基-(香豆素-7-基)-锍氯化物、二苯基-(香豆素-7-基)-锍氟化物、二苯基-(香豆素-7-基)-锍高氯酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍四氟硼酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍六氟砷酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍六氟锑酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍四(五氟苯基)硼酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍四苯基镓酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍四苯基镓酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍四(五氟苯基)镓酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍全氟辛磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍苯磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍对甲苯磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍4-十二烷基苯磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍4-氟苯磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍2，4-二氟苯磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍五氟苯磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍4-三氟甲基苯磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍3，5-二(三氟甲基)苯磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍乙酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍七氟丁酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍全氟辛酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍全氟十二酸盐、二(4-甲基苯基)-(香豆素-7-基)-锍六氟磷酸盐、二(4-甲基苯基)-(香豆素-7-基)-锍四苯基硼酸盐、二(4-甲基苯基)-(香豆素-7-基)-锍三氟甲磺酸盐、二(4-甲基苯基)-(香豆素-7-基)-锍九氟丁酸盐、二(4-甲基苯基)-(香豆素-7-基)-锍对甲苯磺酸盐、二苯基-(4-甲氧基香豆素-7-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(4-甲氧基香豆素-7-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(4-甲氧基香豆素-7-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(4-甲氧基香豆素-7-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(4-甲氧基香豆素-7-基)-锍对甲苯磺酸盐、二苯基-(6-甲基香豆素-7-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(6-甲基香豆素-7-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(6-甲基香豆素-7-基)-锍三氟甲苯磺酸盐、二苯基-(6-甲基香豆素-7-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(6-甲基香豆素-7-基)-锍对甲苯磺酸盐、二苯基-(香豆素-5-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(香豆素-5-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(香豆素-5-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(香豆素-5-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(香豆素-5-基)-锍对甲苯磺酸盐等，其中，例如二苯基-(香豆素-7-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(香豆素-7-基基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(香豆素-7-基)-锍对甲苯磺酸盐是优选的，而二苯基-(香豆素-7-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基(香豆素-7-基)-锍六氟磷酸盐等是更优选的。
作为用通式[21]表示的化合物的优选具体例子，例如，可以举出二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍氯化物、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍氟化物、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍高氯酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍四氟硼酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍六氟砷酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍六氟锑酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍四(五氟苯基)硼酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍四氟镓酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍全氟辛酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍苯磺酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍对甲苯磺酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍乙酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍五氟丁酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍全氟辛酸盐、二(4-甲基苯基)-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍六氟磷酸盐、二(4-甲基苯基)-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍四苯基硼酸盐、二(4-甲基苯基)-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍三氟甲磺酸盐、二(4-甲基苯基)-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍九氟丁磺酸盐、二(4-甲基苯基)-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍对甲苯磺酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-5-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-5-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-5-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-5-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-5-基)-锍对甲苯磺酸盐等，其中，例如二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍六氟磷酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍四苯基硼酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍三氟甲磺酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍九氟丁磺酸盐、二苯基-(香豆素-2-硫代-7-基)-锍对甲苯磺酸盐等是优选的。
作为用通式[39]表示的化合物的优选具体例子，例如，可以举出二(呫吨-9-酮-2-基)-碘鎓氟化物、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓氟化物、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓高氯酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四氟硼酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟砷酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟锑酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四苯基硼酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四苯基镓酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四(五氟苯基)镓酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓三氟甲磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓九氟丁磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓全氟辛磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓苯磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓对甲苯磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓4-十二烷基苯磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓4-氟苯磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓2，4-二氟苯磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓五氟苯磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓4-三氟甲基苯磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓3，5-二(三氟甲基)苯磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓乙酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓五氟丁酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓全氟辛酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓全氟十二酸盐等，其中，例如二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘锍四苯基硼酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓三氟甲磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓九氟丁磺酸盐、二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓对甲苯磺酸盐等是优选的，而二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸盐是更优选的。
作为用通式[40]表示的化合物的优选的具体例子，例如，可以举出二(香豆素-7-基)碘鎓氯化物、二(香豆素-7-基)碘鎓氟化物、二(香豆素-7-基)碘鎓高氯酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓四氟硼酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓六氟磷酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓六氟砷酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓六氟锑酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓四苯基硼酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓四苯基镓酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓四(五氟苯基)镓酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓三氟甲磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓九氟丁磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓全氟辛磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓苯磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓对甲苯磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓4-十二烷基苯磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓4-氟苯磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓2，4-二氟苯磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓五氟苯磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓4-三氟甲基苯磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓3，5-二(三氟甲基)苯磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓乙酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓五氟丁酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓全氟辛酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓全氟十二酸盐等，其中，例如二(香豆素-7-基)碘鎓六氟磷酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓四苯基硼酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓三氟甲磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓九氟丁磺酸盐、二(香豆素-7-基)碘鎓对甲苯磺酸盐等是更优选的。
作为用通式[41]表示的化合物的优选具体例子，例如，可以举出(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓氯化物、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓氟化物、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四氟硼酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟砷酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟锑酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四氟镓酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四苯基硼酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四苯基镓酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四(五氟苯基)镓酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓三氟甲磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓九氟丁磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓全氟辛磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓苯磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓对甲苯磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓4-十二烷基苯磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓4-氟苯磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓2，4-二氟苯磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓五氟苯磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓4-三氟甲基苯磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓3，5-二(三氟甲基)苯磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓乙酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓五氟丁酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓全氟辛酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓全氟十二酸盐等，其中，例如(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓四苯基硼酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓三氟甲磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓九氟丁磺酸盐、(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓对甲苯磺酸盐等是优选的，而(香豆素-7-基)-(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸盐是更优选的。
作为用通式[42]表示的化合物的优选具体例子，例如，可以举出2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮六氟磷酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮六氟砷酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮六氟锑酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮四氟硼酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮四{3，5-二(三甲基)苯基}硼酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮四(五氟苯基)硼酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮四苯基镓酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮三氟甲磺酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮九氟丁磺酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮全氟辛磺酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮苯磺酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮对甲苯磺酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮对十二烷基苯磺酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮4-氟苯磺酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮2，4-二氟苯磺酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮五氟苯磺酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮乙酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮五氟丁磺酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮全氟辛酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮全氟十二酸盐等，其中，例如2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮六氟磷酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮四苯基硼酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮三氟甲磺酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮九氟丁磺酸盐、2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮对甲苯磺酸盐是优选的，而2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮六氟磷酸盐是更优选的。
作为用通式[43]表示的化合物的优选具体例子，例如，可以举出7-(苯基碘鎓)香豆素六氟磷酸盐、7-(苯基碘鎓)香豆素六氟砷酸盐、7-(苯基碘鎓)香豆素六氟锑酸盐、7-(苯基碘鎓)香豆素四苯基硼酸盐、7-(苯基碘鎓)香豆素三氟甲磺酸盐、7-(苯基碘鎓)香豆素九氟丁磺酸盐、7-(苯基碘鎓)香豆素对甲苯磺酸盐、7-(对-甲基苯基碘鎓)香豆素六氟磷酸盐、7-(对-甲基苯基碘鎓)香豆素六氟砷酸盐、7-(对-甲基苯基碘鎓)香豆素六氟锑酸盐、7-(对-甲基苯基碘鎓)香豆素四苯基硼酸盐、7-(对-甲基苯基碘鎓)香豆素三氟甲磺酸盐、7-(对-甲基苯基碘鎓)香豆素九氟丁磺酸盐、7-(对-甲基苯基碘鎓)香豆素对甲苯磺酸盐等，其中，例如7-(苯基碘鎓)香豆素六氟磷酸盐是优选的。
用通式[1]表示的锍盐，如可由下列[A]、[B]、[C]法合成得到。
(式中，M表示金属原子，X及X’表示卤原子，R、R1、R2、A、m及n的含义同上)。
通式[35]表示的碘鎓盐，如可由下列[D]、[E]、[F]法合成得到。
(式中，R29及R30中的任意一种表示用通式[2]表示的基团，而另一种表示用通式[3]表示的基团，R31表示低级烷基或卤代低级烷基，R32表示低级烷基或卤代低级烷基，M’表示碱金属原子，A6表示卤原子、硫酸氢离子或来自全氟烷基羧酸的阴离子，A3表示目的阴离子，R28、M及u的含义同上)。
作为用M表示的金属原子，例如，可以举出银原子、锂原子、钠原子、钾原子、铷原子、铯原子等，其中银原子是优选的。
作为用X及X’表示的卤原子，例如，可以举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等。
作为用M’表示的碱金属原子，例如，可以举出锂原子、钠原子、钾原子、铷原子、铯原子等，其中，例如锂原子、钠原子、钾原子等是优选的。
作为用R31及R32表示的低级烷基，可以是直链状、支链状或环状的任何一种，通常可以举出碳原子数为1～6、优选为1～4的烷基，具体的可以举出，例如与上述R1～R6表示的可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基中碳原子为1～6的烷基的例示相同的烷基，其中，例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基等是优选的，而甲基、乙基是更优选的。
作为用R31及R32表示的卤代低级烷基，可以是直链状、支链状或环状的任何一种，通常可以举出碳原子数为1～6、优选为1～4的上述R31表示的低级烷基的一部分或全部氢原子被卤原子(例如氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等)取代的烷基，具体的可以举出，例如与用上述R7表示的、作为可具有选自卤代低级烷基、卤原子、硝基及氰基的取代基的芳基的取代基所列举的卤代低级烷基的例示相同的烷基，其中，三氟甲基、五氟乙基是优选的。
作为用A6表示的卤原子，例如，可以举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等，其中，氯原子、溴原子是优选的。
作为用A6表示的来自全氟烷基羧酸的阴离子，例如，可以举出来自三氟乙酸、五氟丙酸的阴离子。
作为用通式[46]表示的过酸，例如，可以举出过乙酸、过丙酸、三氟过乙酸等，这些既可以使用市场销售产品，也可以使用按照常规方法来进行适当的合成而制得的产品，所述常规方法如使过氧化氢与乙酸酐、丙酸酐、三氟乙酸酐等无水羧酸酐反应的方法等。
用通式[23]、[25]、[44]、[48]、[50]及[52]表示的化合物，既可以使用市场销售产品，也可以使用按照常规方法，进行适当的合成而制得的产品。
即，本发明的锍盐的合成方法详细说明如下。
在[A]法中，把用常规方法(参照Ber.，23，1844(1890)，J.Chem.Soc.(C)，2424(1969)等)合成的通式[22]表示的亚砜，溶解在乙醚、异丙醚、四氢呋喃、1，2-二甲氧基乙烷等醚类、例如己烷、庚烷等烃类、例如苯、硝基苯等芳香烃类，或者它们与如二氯甲烷、二溴甲烷、1，2-二氯乙烷、氯仿等的卤代烃类的混合溶剂中，再于-80～30℃，往其中添加相对于通式[22]表示的亚砜为1～10倍摩尔(下面在涉及[A]、[B]及[C]法的记载中，所谓“倍摩尔”意指相对于通式[22]表示的亚砜等原料化合物添加了多少倍的摩尔数)的通式[23]表示的化合物、1～3倍摩尔的三氟甲磺酸酐或1～3倍摩尔的三氟甲磺酸以及1～3倍摩尔的三氟乙酸酐，然后，在-80～30℃搅拌并反应0.5～10小时，得到通式[24]表示的化合物。然后，把得到的通式[24]表示的化合物溶解在甲醇、乙醇、异丙醇等醇溶液中，用阴离子交换树脂处理后，往其中添加0.9～1.5倍摩尔的酸(HA)，除去醇后，再次溶解在例如二氯甲烷、1，2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、甲基异丁酮、甲乙酮等的有机溶剂中，水洗后减压浓缩，得到通式[1]表示的本发明的化合物。或者，把得到的通式[24]表示的化合物，溶解在例如二氯甲烷、1，2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、甲基异丁酮、甲乙酮等有机溶剂中，添加0.9～1.5倍摩尔的酸盐(MA)的水溶液，于5～30℃搅拌0.5～10小时后，除去水层，水洗后减压浓缩，得到通式[1]表示的化合物。
在[B]法中，把通式[22]表示的亚砜，溶解在例如乙醚、异丙醚、四氢呋喃、1，2-二甲醚等醚类，或它们与例如二氯甲烷、二溴甲烷、1，2-二氯乙烷、氯仿等卤代烃类、例如苯、甲苯、二甲苯等芳香烃类等溶剂的混合溶剂中，于-70～50℃，如果需要，在例如三甲基甲硅烷基三氟甲磺酸、三甲基甲硅烷基氯化物等催化剂存在下，再往其中添加0.5～3倍摩尔的通式[25]表示的格利雅(RMgX)试剂，于-70～50℃，搅拌并反应0.5～10小时。反应终止后，把反应液于0～30℃，用例如氢溴酸水溶液、盐酸水溶液、氢碘酸水溶液等卤氢酸水溶液(HX’)处理，由此得到通式[26]表示的化合物。把得到的化合物，溶解在例如甲醇、乙醇、异丙醇等醇类中，用氧化银处理后，往里添加0.9～1.5倍摩尔的酸(HA)，除去醇类，再溶于例如二氯甲烷、1，2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、甲基异丁酮、甲乙酮等有机溶剂中，水洗后减压浓缩，得到通式[1]表示的本发明的化合物。或者，把得到的用通式[26]表示的化合物，溶解在例如二氯甲烷、1，2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、甲基异丁酮、甲乙酮等有机溶剂中，添加0.9～1.5倍摩尔的酸盐(MA)的水溶液，于5～30℃搅拌0.5～10小时后，除去水层，水洗后减压浓缩，得到用通式[1]表示的化合物。
在[C]法中，在用通式[22]表示的化合物中，使1～50倍摩尔的用通式[23]表示的化合物及1～10倍摩尔的例如卤化铝(例如，氯化铝、溴化铝、碘化铝等)、卤化硼(例如，三氟化硼、三溴化硼等)、三卤化金属(例如，三氯化铁、三溴化铁、三溴化钛、三氯化锡、三溴化锡等)等的路易斯酸，于-20～180℃搅拌并反应0.5～24小时，用如氢溴酸水溶液、盐酸水溶液、氢碘酸水溶液等氢卤酸水溶液(HX)处理，由此，得到用通式[26]表示的化合物。然后，把得到的化合物，溶解在例如甲醇、乙醇、异丙醇等醇类中，用氧化银处理后，往里添加0.9～1.5倍摩尔的酸(HA)，除去醇类，再溶于二氯甲烷、1，2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、甲基异丁酮、甲乙酮等有机溶剂中，水洗后减压浓缩，得到用通式[1]表示的本发明的化合物。或者，把得到的用通式[26]表示的化合物，溶解在例如二氯甲烷、1，2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、甲基异丁酮、甲乙酮等有机溶剂中，添加0.9～1.5倍摩尔的酸盐(MA)的水溶液，于5～30℃搅拌0.5～10小时后，除去水层，水洗后减压浓缩，得到用通式[1]表示的本发明化合物。
还有，采用上述[A]、[B]及[C]法得到的用通式[24]及[26]表示的化合物，也包括在本发明的用通式[1]表示的锍盐中。
另外，本发明的碘鎓盐合成方法详细说明如下。
在[D]法中，把用通式[44]表示的含杂环的芳香族化合物，溶解在例如乙酸酐、丙酸酐等羧酸酐类，或它们与例如二氯甲烷、二溴甲烷、1，2-二氯乙烷、氯仿等卤代烃类的溶剂的混合溶剂中，再往其中于-70～30℃，添加相对于用通式[44]表示的化合物为0.4～0.6倍摩尔的(下面在[D]、[E]及[F]法涉及的记载中，所谓“倍摩尔”，意指相对于用通式[44]表示的化合物等原料化合物为多少倍的摩尔数)碘酸盐(M`IO3)后，再于-70～30℃，用0.5～10小时的时间滴加1～10倍摩尔的例如浓硫酸等化合物(HA6)或它们与乙酸酐、丙酸酐、三氟乙酸酐等羧酸酐类的混合酸后，-70～30℃，搅拌反应0.5～10小时。反应终止后，把反应液于0～30℃注入到冰水中，然后用二氯甲烷、二溴乙烷、1，2-二氯乙烷、氯仿等卤代烃类萃取，浓缩，得到用通式[45]表示的化合物。然后，把得到的用通式[45]表示的化合物，溶解在例如二氯甲烷、二溴乙烷、1，2-二氯乙烷、氯仿等卤代烃类中，往里注入1～10倍摩尔的化合物(MA3’)的水溶液，于0～30℃搅拌反应0.5～10小时后，得到具有目的对阴离子A3’的用通式[35-1]表示的碘鎓盐。
在[E]法中，通过用通式[52]表示的碘化含杂环芳香族化合物和通式[46]表示的过酸反应，合成用通式[47]表示的化合物。然后，把得到的用通式[47]表示的化合物溶解在例如乙酸酐、丙酸酐等羧酸酐类中，或它们与例如二氯甲烷、二溴甲烷、1，2-二氯乙烷、氯仿等卤代烃类等的溶剂的混合溶剂中，再往其中于-80～30℃添加1～10倍摩尔的通式[48]表示的含杂环芳香烃化合物后，再于-80～30℃，用0.5～10小时的时间滴加1～10倍摩尔的化合物(HA6)后，于-80～30℃搅拌反应0.5～10小时，得到用通式[49]表示的化合物。然后，把得到用通式[49]表示的化合物溶解在例如二氯甲烷、二溴乙烷、1，2-二氯乙烷、氯仿等卤代烃类中，往里注入1～10倍摩尔的化合物(MA3’)的溶液，于0～30℃搅拌反应0.5～10小时，得到具有目的对阴离子A3’的通式[35-2]表示的碘鎓盐。
在[F]法中，通过用通式[50]表示的碘化芳香化合物和用通式[46]表示的过酸反应，合成用通式[51]表示的化合物。然后，把得到的用通式[44]表示的含杂环芳香族化合物溶解在例如乙酸酐、丙酸酐等羧酸酐类，或它们与例如二氯甲烷、二溴甲烷、1，2-二氯乙烷、氯仿等卤代烃类等溶剂的混合溶剂中，再往其中于-80～30℃添加1～10倍摩尔的通式[51]表示的化合物后，再于-80～30℃，用0.5～10小时的时间滴加1～10倍摩尔的化合物(HA6)后，于-80～30℃搅拌反应0.5～10小时，得到用通式[53]表示的化合物。然后，把得到用通式[53]表示的化合物溶解在例如二氯甲烷、二溴乙烷、1，2-二氯乙烷、氯仿等卤代烃类中，往里注入1～10倍摩尔的化合物(MA3’)的溶液，于0～30℃搅拌反应0.5～10小时，得到具有目的对阴离子A3’的通式[35-3]表示的碘鎓盐。
还有，采用上述[D]、[E]及[F]法得到的用通式[45]、[49]及[53]表示的化合物，也包括在本发明的用通式[35]表式的碘鎓盐中。
用通式[1]表示的本发明的锍盐及用通式[35]表示的本发明的碘鎓盐中，用A及A3表示的阴离子为卤原子的物质，作为合成各种本发明的阴离子盐的原料是有用的，阴离子来为自无机强酸、磺酸及用上述通式[4]表示的化合物的物质，作为阳离子性光聚合引发剂是有用的，另外，阴离子为来自无机强酸、有机酸及用上述通式[4]表示的化合物的物质，作为液晶面板、各种半导体元件、配线基板的制造时使用的抗蚀剂组合物及构成PS版、CTP版等印刷材料的酸发生剂可发挥优良的效果。
<1>首先，对本发明的锍盐及碘鎓盐用作阳离子性光聚合引发剂的情况加以说明。
作为适用于作阳离子性光聚合引发剂的本发明的锍盐，例如用下列通式[8]表示的锍盐是优选的，其中，A1为来自用通式[4]表示的化合物及用通式[5]表示的化合物是优选的，
(式中，A1表示来自无机强酸、磺酸或用上述通式[4]表示的化合物的阴离子，R、R1、R3、m及n的含义同前)。
作为适用于阳离子性光聚合引发剂的本发明的碘鎓盐，例如，可以举出用通式[37]表示的碘鎓盐， (式中，A4表示来自无机强酸、磺酸或用通式[4]表示的化合物的阴离子，R26、R27及其他的定义同以上所述)；其中，A4为来自用通式[4]表示的化合物及用通式[5]表示的化合物是优选的。
本发明的锍盐及碘鎓盐(下面，两者称作鎓盐)通过光照射产生酸。此时，如果反应体系内存在各种环氧单体或乙烯基醚单体，则迅速开始聚合。
若想将本发明的以通式[8]或[37]表示的鎓盐用作聚合引发剂，使环氧单体或乙烯基醚单体聚合或共聚，则只要在适当的溶剂中或在无溶剂的条件下，如果需要在惰性气体氛围气中，按照常规方法，使如本发明的通式[8]或[37]表示的鎓盐和这些各种单体进行聚合反应即可。
作为环氧单体，例如，可以举出用通式[27]或通式[29]表示的环氧单体 [式中，R10及R11分别独立并表示氢原子、低级烷基、芳基或羧基，R12表示氢原子、烷基、卤代低级烷基、羟基低级烷基、芳基、低级烷氧基羰基、羧基、用通式[28]表示的基团-CH2-E-R13[28]
(式中，E表示氧原子或-OCO-基，R13表示烷基、低级链稀基或芳基)、环氧乙基或环氧环己基；另外，R10和R12结合，也可与相邻的碳原子一起形成脂肪族环]； (式中，R14～R16分别独立并表示低级亚烷基链，s表示0或1的整数)。
在通式[27]中，作为用R10及R11表示的低级烷基，可以是直链状、支链状或环状的任何一种，通常可以举出碳原子数为1～6、优选为1～3的低级烷基，具体的可以举出，例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、正己基、异己基、仲己基、叔己基、新己基、环丙基、环丁基、环戊基、环己基等。
在通式[27]及[28]中，作为用R10～R13表示的芳基，通常可以举出碳原子数为6～15、优选为6～10的芳基，具体的可以举出，例如苯基、萘基、蒽基、菲基等。
作为用R12及R13表示的烷基，可以是直链状、支链状或环状的任何一种，通常可以举出碳原子数为1～18、优选为1～16的烷基，具体的可以举出，例如与R10及R11表示的低级烷基的例示相同的基团、正庚基、异庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、正辛基、异辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、正壬基、异壬基、仲壬基、叔壬基、新壬基、正癸基、异癸基、仲癸基、叔癸基、新癸基、正十一烷基、异十一烷基、仲十一烷基、叔十一烷基、新十一烷基、正十二烷基、异十二烷基、仲十二烷基、叔十二烷基、新十二烷基、正十三烷基、异十三烷基、仲十三烷基、叔十三烷基、新十三烷基、正十四烷基、异十四烷基、仲十四烷基、叔十四烷基、新十四烷基、正十五烷基、异十五烷基、仲十五烷基、叔十五烷基、新十五烷基、正十六烷基、异十六烷基、仲十六烷基、叔十六烷基、新十六烷基、正十七烷基、异十七烷基、仲十七烷基、叔十七烷基、新十七烷基、正十八烷基、异十八烷基、仲十八烷基、叔十八烷基、新十八烷基、环庚基、环辛基、环壬基、环癸基等。
在通式[27]中，作为用R12表示的卤代低级烷基，例如，可以举出上述R10及R11表示的低级烷基中的一部分或全部氢原子被卤化(例如，氟化、氯化、溴化、碘化等)的碳原子数为1～6、优选为1～3的基团，具体的可以举出，例如氟甲基、氯甲基、溴甲基、碘甲基、二氟甲基、二氯甲基、三氟甲基、三氯甲基、三溴甲基、三碘甲基、五氟乙基、五氯乙基、五溴乙基、五碘乙基、七氟丙基、七氯丙基、七溴丙基、七碘丙基、九氟丁基、九氯丁基、九溴丁基、九碘丁基、全氯戊基、全氟己基、全氯己基等。
作为用R12表示的羟基低级烷基，可以举出，例如，上述R10及R11表示的低级烷基末端的氢原子被羟基取代的基团。
作为用R12表示的低级烷氧基羰基，可以是直链状、支链状或环状的任用一种，通常可以举出碳原子数为2～7、优选为2～4的基团，具体的可以举出，例如甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、异丙氧基羰基、正丁氧基羰基、异丁氧基羰基、仲丁氧基羰基、叔丁氧基羰基、正戊氧基羰基、异戊氧基羰基、仲戊氧基羰基、叔戊氧基羰基、新戊氧基羰基、正己氧基羰基、异己氧基羰基、仲己氧基羰基、叔己氧基羰基、新己氧基羰基、环丙氧基羰基、环丁氧基羰基、环戊氧基羰基、环己氧基羰基等。
在通式[28]中，用R13表示的低级链烯基，可以是直链状、支链状或环状的任用一种，通常可以举出碳原子数为2～6、优选为2～3的基团，具体的可以举出，例如乙烯基、烯丙基、1-丙烯基、异丙烯基、1-丁烯基、2-丁烯基、3-丁烯基、2-甲基烯丙基、1-戊烯基、2-戊烯基、3-戊烯基、4-戊烯基、2-甲基-2-丁烯基、1-己烯基、2-己烯基、3-己烯基、4-己烯基、5-己烯基、2-甲基-2-戊烯基、1-环丁烯基、1-环戊烯基、1-环己烯基等。
R10和R12结合，与相邻的碳原子一起形成脂肪族环时，可以举出形成碳原子数为5～10的饱和脂肪族环的情况。作为这些环的具体例子，例如，可以举出环戊环、环己环、环庚环、环辛环、环壬环、环癸环等。另外，这些脂肪族环还可以与苯环、荼环等芳香环缩合。
在通式[29]中，作为用R14～R16表示的低级亚烷基链，通常可以举出碳原子数为1～6、优选为1～4的基团，具体的可以举出，例如亚甲基、亚乙基、三亚乙基、四亚甲基、五亚甲基、六亚甲基等。
作为乙烯醚单体，可以举出，例如用通式[31]表示的单体等， [式中，R19表示氢原子或低级烷基，R20表示烷基、式[32]
表示的基团或通式[33]表示的基团-(R21-O)t-R22[33](式中，R21表示亚烷基，R22表示氢原子或乙烯基，t表示1～3的整数)]。
在通式[31]中，作为用R19表示的低级烷基，可以是直链状、支链状或环状的任用一种，通常可以举出碳原子数为1～6的基团，具体的可以举出，例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、2-甲基丁基、1-乙基丙基、正己基、异己基、仲己基、叔己基、新己基、2-甲基戊基、3-甲基戊基、1，2-二甲基丁基、2，2-二甲基丁基、1-乙基丁基、2-乙基丁基、环丙基、环丁基、环戊基、环己基等。
作为用R20表示的烷基，可以是直链状、支链状或环状的任用一种，通常可以举出碳原子数为1～15、优选为1～12的基团，具体的可以举出，例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、正己基、异己基、仲己基、叔己基、新己基、正庚基、异庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、正辛基、异辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、正壬基、异壬基、仲壬基、叔壬基、新壬基、正癸基、异癸基、仲癸基、叔癸基、新癸基、正十一烷基、异十一烷基、仲十一烷基、叔十一烷基、新十一烷基、正十二烷基、异十二烷基、仲十二烷基、叔十二烷基、新十二烷基、正十三烷基、异十三烷基、仲十三烷基、叔十三烷基、新十三烷基、正十四烷基、异十四烷基、仲十四基、叔十四烷基、新十四烷基、正十五烷基、异十五烷基、仲十五烷基、叔十五烷基、新十五烷基、环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基、环壬基、环癸基等。
在通式[33]中，作为用R21表示的亚烷基，可以是直链状、支链状或环状的任用一种，通常可以举出碳原子数为2～10、优选为2～8的基团，具体的可以举出，例如亚甲基、亚乙基、亚丙基、亚丁基、亚戊基、亚己基、亚庚基、亚辛基、亚壬基、亚癸基等直链状亚烷基，例如乙叉、丙叉、异丙叉、1-甲基亚丙基、2-甲基亚丙基、1，1-二甲基亚乙基、1，2-二甲基亚乙基、乙基亚乙基、1-甲基亚丁基、1，1-二甲基亚丙基、2，2-二甲基亚丙基、2-乙基亚丙基、1-甲基亚戊基、2-甲基亚戊基、1，3-二甲基亚丁基、3-乙基亚丁基、1-甲基亚己基、1-甲基亚戊基、1，4-二乙基亚丁基、2，4-二甲基亚庚基、1-甲基亚辛基、1-甲基亚壬基等支链状亚烷基，例如环亚丙基、1，3-环亚丁基、1，3-环亚戊基、1，4-环亚己基、1，5-环亚庚基、1，5-环亚辛基、1，5-环亚壬基、1，6-环亚癸基等环状亚烷基等。
作为用通式[27]表示的环氧单体的具体例子，例如，可以举出环氧乙烷、1，2-环氧丙烷、1，2-环氧丁烷、2，3-环氧丁烷、1，2-环氧戊烷、2，3-环氧戊烷、1，2-环氧己烷、1，2-环氧庚烷、1，2-环氧辛烷、1，2-环氧壬烷、1，2-环氧癸烷、1，2-环氧十一烷、1，2-环氧十二烷、1，2-环氧十三烷、1，2-环氧十四烷、1，2-环氧十六烷、1，2-环氧十七烷、1，2-环氧十八烷等环氧烷烃类，例如2，3-环氧-1，1，1-三氟丙烷、2，3-环氧-1-氯丙烷等环氧卤代烷烃类，例如2，3-环氧丙醇等环氧醇类，例如甲基缩水甘油醚、乙基缩水甘油醚、丙基缩水甘油醚、丁基缩水甘油醚、戊基缩水甘油醚、己基缩水甘油醚、庚基缩水甘油醚、辛基缩水甘油醚、壬基缩水甘油醚、癸基缩水甘油醚、十一烷基缩水甘油醚、十二烷基缩水甘油醚等烷基缩水甘油醚类，例如苯基缩水甘油醚、萘基缩水甘油醚等芳基缩水甘油醚类，例如烯丙基缩水甘油基等链烯基缩水甘油醚类，例如甲基丙烯酸缩水甘油基等缩水甘油酯类，2，3-环氧乙基苯、α，α`-环氧联苯、2，3-环氧-2，3-二氢-1，4-萘醌、环氧琥珀酸、乙基2，3-环氧-3-苯基丁酸盐、1，2，3，4-二环氧丁烷、1，2-环氧-5-(环氧乙基)环己烷等。
作为用通式[29]表示的环氧单体的具体例子，例如二(3，4-环氧环己基)己二酸、3，4-环氧环己基-3，4-环氧环己羧酸等。
作为用通式[31]表示的乙烯基醚单体的具体例子，例如，可以举出甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚、丙基乙烯基醚、异丁基乙烯基醚、2-乙基己基乙烯基醚、十八烷基乙烯基醚、十二烷基乙烯基醚、环己基乙烯基醚等烷基乙烯基醚类，例如羟乙基乙烯基醚、羟丁基乙烯基醚、二(己二醇)单乙烯基醚、1，4-环己烷二甲醇单乙烯基醚等羟基烷基乙烯基醚，例如，1，4-丁二醇二乙烯基醚、1，6-己二醇二乙烯基醚、1，4-环己二甲醇二乙烯基醚、二(乙二醇)二乙烯基醚、三(乙二醇)二乙烯基醚、二(丙二醇)二乙烯基醚、三(丙二醇)二乙烯基醚等二乙烯基醚类、碳酸丙二酯、丙烯基醚等。
它们既可以分别单独使用，也可以2种以上适当组合后使用。
作为上述聚合方法，例如，可以举出溶液聚合、本体聚合、悬浮聚合、乳液聚合等。
作为聚合溶剂，例如，可以举出氯仿、二氯甲烷、1，2-二氯乙烷等卤代羟类，例如甲苯、苯、二甲苯等烃类，例如N，N-二甲基甲酰胺、二甲亚砜等。
这些溶剂既可以分别单独使用，也可以2种以上适当组合后使用。
聚合最好是在惰性气体的环境下进行。作为惰性气体，例如，可以举出氮气、氩气等。
本发明的用通式[8]或[37]表示的鎓盐的用量，因所使用的单体种类而异，但对单体通常为0.1～200重量％，优选为1～50重量％。
聚合时的单体浓度，也因所使用的单体种类而异，但通常为1～100重量％(无溶剂)、优选为10～80重量％。聚合温度通常为-78～120℃、优选为-20～50℃。
聚合时间，因反应温度或反应的本发明鎓盐及单体或它们的浓度等反应条件而异，但通常1～50小时。
反应后的后处理，按照该领域通常采用的后处理法进行即可。
<2>其次，对用本发明的鎓盐作为化学放大型抗蚀剂组合物用的酸发生剂使用的情况进行说明。
作为酸发生剂使用的本发明的锍盐，例如，通式[9] (式中，A2表示来自无机强酸、有机酸或用上述通式[4]表示的化合物的阴离子，R、R1、R2、m及n的含义同上)表示的物质(用通式[1]表示的锍盐中，A表示的阴离子相当于来自无机强酸、有机酸或用上述通式[4]表示的化合物的阴离子)是优选的。
作为用作酸发生剂的本发明碘鎓盐，例如，可以举出用通式[38]表示的物质等。
(式中，A5表示来自无机强酸、有机酸或用上述通式[4]表示的化合物的阴离子，R26、R27及其他的定义同上述)。
本发明的用通式[9]及[38]表示的鎓盐，也可以作为酸发生剂单独使用，但与其他的酸发生剂组合使用，可期待更高的效果。特别是与作为产生弱酸的酸发生剂、烷基悬垂的例如重氮二磺化合物等组合使用时，本发明的鎓盐作为酸发生剂可以发挥非常优秀的效果。
作为组合使用的重氮二磺化合物，例如，可以举出用通式[30]表示的化合物等。
(式中，R17及R18分别独立并表示烷基)。
在通式[30]中，作为用R17表示的烷基，可以是直链状、支链状或环状的任何一种，通常可以举出碳原子数为1～8、优选为3～8的烷基，其中，支链状或环状是优选的，具体的可以举出，例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、正己基、异己基、仲己基、叔己基、新己基、3-甲基戊基、2-甲基戊基、1，2-二甲基丁基、正庚基、异庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、正辛基、异辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基等。
作为用R18表示的烷基，可以是直链状、支链状或环状的任何一种，通常可以举出碳原子数为3～8的烷基，其中，支链状或环状是优选的，具体的可以举出异丙基、异丁基、仲丁基、叔丁基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、异己基、仲己基、叔己基、新己基、3-甲基戊基、2-甲基戊基、1，2-二甲基丁基、异庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、异辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基等。
作为用通式[30]表示的重氮二磺化合物的具体例子，例如，可以举出二(1-甲基乙基磺酰)重氮甲烷、二(1，1-二甲基乙基磺酰)重氮甲烷、二(环己基磺酰)重氮甲烷、甲基磺酰-1-甲基乙基磺酰重氮甲烷、甲基磺酰-1，1-二甲基乙基磺酰重氮甲烷、甲基磺酰环己磺酰重氮甲烷、乙基磺酰-1-甲基乙基磺酰重氮甲烷、乙基磺酰-1，1-二甲基乙基磺酰重氮甲烷、乙基磺酰环己磺酰重氮甲烷、二(辛基磺酰)重氮甲烷、甲基乙基磺酰-1，1-二甲基乙基磺酰重氮甲烷、1-甲基乙基磺酰环己磺酰重氮甲烷、1，1-二甲基乙基磺酰环己磺酰重氮甲烷等。
本发明的用通式[9]及[38]表示的鎓盐用量，在单独使用时，相对于化学放大型抗蚀剂组合物中的树脂量通常为0.1～10重量％、优选为0.5～5重量％；与其他酸发生剂组合使用时，相对于树脂量通常为0.05～5重量％、优选为0.1～3重量％。其他酸发生剂的用量，相对于树脂量通常为1～10重量％、优选为3～7重量％。
本发明的用通式[9]及[38]表示的鎓盐，例如，用高压水银灯光、金属卤化物灯光、远紫外线光、KrF激发物激光、ArF激发物激光、F2激发物激光(157nm)、电子束(EB)、软X线等的照射也产生酸。因此，本发明的用通式[9]及[38]表示的鎓盐，作为高压水银灯、金属卤化物灯光、远紫外线光、KrF激发物激光、ArF激发物激光、F2激发物激光(157nm)、电子束(EB)或软X线等的照射用，特别是高压水银灯、金属卤化物灯光照射用的抗蚀剂的酸发生剂是有用的。
本发明的用通式[8]、[9]、[37]及[38]表示的鎓盐，由于其阳离子部含杂环，与以往的鎓盐相比，吸收波长区域高，通过如高压水银灯光、金属卤化物灯光、远紫外线、KrF激发物激光、ArF激发物激光、F2激发物激光、电子束、X线、放射线等的照射可以提高酸的发生效率。特别是由于这些化合物，在例如高压水银灯光、金属卤化物灯光等波长区域有吸收波长，所以，如用它们作光源，无需添加以往使用的增敏剂也可以有效的产生酸。
另外，本发明的鎓盐，由于在400nm或400nm以上几乎没有吸收波长，所以，在可见光区域透明性好，因此，如果将其作为涂布剂、粘合剂、涂料等的阳离子光聚合引发剂使用时，可以达到对所得到的聚合物的透明性没有影响的效果。
另外，在本发明的用通式[37]及[38]表示的碘鎓盐中，阳离子部含有2个杂环的物质，在将高压水银灯或金属卤化物灯作为光源使用时，由于光的吸收效率更加提高，所以，当将它们作为光源使用时，可更加高效的产生酸。
另外，本发明的用通式[8]、[9]、[37]及[38]表示的鎓盐不会产生，以往锍盐及碘鎓盐所具有的、当其对阴离子为PF6-等时，光固化显著下降的问题，即使采用具有这些对阴离子的物质，仍可以得到具有高硬度的聚合物。
相对于此，虽然作为本发明的类似化合物的2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮四氟硼酸盐(BF4-)是在阳离子部含有1个杂环的碘鎓盐，但是，由于阴离子是来自无机强酸中的弱酸的BF-，所以，当将高压水银灯或金属卤化物灯作为光源使用时，具有如酸的发生效率低，有必要添加增敏剂等的缺点。
因此，将上述通式[8]及[37]表示的鎓盐作为阳离子性光聚合引发剂使用时，可以生成具有良好的透明性及高硬度的聚合物，而将通式[9]及[38]表示的鎓盐作为抗蚀剂用酸发生剂使用时，可制得高敏感度的抗蚀剂组合物。
下面通过实施例，更具体的说明本发明，但本发明不受其限定。
实施例实施例1 二苯基-(香豆素-7-基)-锍三氟甲磺酸盐的合成把二苯基亚砜20.2g(0.1mol)及香豆素17.5g(0.12mol)溶解在二氯甲烷160ml中，于-70～-60℃往里滴加三氟甲磺酸酐，缓慢升至室温，搅拌反应2小时。反应终止后，将其用160ml水清洗5次，减压浓缩后，把得到的粗产物用柱色谱法进行精制，得到淡黄色玻璃状物的目的物32.1g(收率67％)。
1H NMR(CDCl3)δppm6.53(1H，d，Ar-H)，7.55(1H，d，Ar-H)，7.71～7.79(11H，m，Ar-H)，8.02(1H，d，Ar-H)，8.49(1H，s，Ar-H)，实施例2 二苯基-(香豆素-7-基)-锍六氟磷酸盐的合成把实施例1中得到的(香豆素-7-基)-二苯基锍三氟甲磺酸盐24.0g(0.05mol)溶于二氯甲烷200ml，往里添加六氟磷酸钾18.4g(0.1mol)及水200ml，于室温搅拌2小时。然后进行分液，往得到的二氯甲烷层中再次添加六氟磷酸钾9.2g(0.05mol)及水100ml，于室温搅拌2小时。然后进行分液，把得到的二氯甲烷层用200ml水进行洗涤，减压浓缩干燥，得到淡黄色玻璃状物的目的物23.8g(收率98％)。
1H NMR(CDCl3)δppm6.63(1H，d，Ar-H)，7.55(1H，d，Ar-H)，7.69～7.82(11H，m，Ar-H)，7.92(1H，d，Ar-H)，8.19(1H，s，Ar-H)，实施例3 二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍三氟甲磺酸盐的合成把二苯基亚砜20.2g(0.1mol)及呫吨-9-酮19.6g(0.1mol)溶于二氯甲烷320ml，于-70～-60℃往里滴加三氟甲磺酸酐28.2g(0.1mol)，缓慢升至室温，搅拌反应4小时。反应终止后，将其用160ml水清洗4次，减压浓缩后，把得到的粗产物用柱色谱法进行精制，得到淡褐色玻璃状物的目的物30.7g(收率58％)。
1H NMR(CDCl3)δppm7.49(1H，t，Ar-H)，7.60(1H，d，Ar-H)，7.72～7.86(11H，m，Ar-H)，7.94(1H，d，Ar-H)，8.25(1H，t，Ar-H)，8.48(1H，d，Ar-H)，实施例4 二苯基-(呫吨-9-酮-2-基)-锍六氟磷酸盐的合成代替实施例2中使用的二苯基-(香豆素-6-基)-锍三氟甲磺酸盐来使用二苯基-(呫吨-9-酮-2基)-锍三氟甲磺酸盐26.5g(0.05mol)以外，与实施例2进行同样的操作，得到淡褐色玻璃状物的目的物24.6g(收率94％)。
1H NMR(CDCl3)δppm7.27(1H，t，Ar-H)，7.59(1H，d，Ar-H)，7.72～7.89(11H，m，Ar-H)，7.94(1H，d，Ar-H)，8.25(1H，t，Ar-H)，8.48(1H，d，Ar-H)，实施例5 二(香豆素-7-基)-碘鎓-六氟磷酸盐的合成把香豆素14.6g(0.1mol)溶于50ml乙酸酐，于0℃往里添加碘酸钾10.7g(0.05mol)。然后，于0～7℃用2小时往其中滴加浓硫酸25g(0.25mol)和乙酸酐30g的混合酸，缓慢升至室温，搅拌反应5小时。反应终止后，把反应液注入200ml冰水中，添加六氟化磷酸钾18.4g(0.1mol)。往里注入100ml二氯甲烷，于室温搅拌2小时。滤取析出的结晶，得到淡黄色结晶8.0g。把得到的结晶溶于60ml丙酮，缓慢注入100ml乙酸乙酯，使结晶析出。滤取，于50℃真空干燥2小时，得到淡黄色结晶的目的物6.5g(收率23％)。
熔点227～228℃(分解)1H NMR(CDCl3)δppm6.64(2H，d，Ar-H)，7.56(2H，d，Ar-H)，8.06(2H，d，Ar-H)，8.42(2H，d，Ar-H)，8.61(2H，s，Ar-H)，实施倒6 二(呫吨-9-酮-2-基)-碘鎓六氟磷酸盐的合成把呫吨-9-酮19.6g(0.1mol)悬浮在100ml乙酸酐中，于0℃往其中添加碘酸钾10.7g(0.05mol)。然后，于0～7℃用2小时往其中滴加浓硫酸25g(0.25mol)和乙酸酐30g的混合酸，缓慢升至室温，搅拌反应6小时。反应终止后，把反应液注入200ml冰水中，往里注入100ml二氯甲烷，使不溶物溶解。往其中添加六氟磷酸钾18.4g(0.1mol)，于室温搅拌2小时。滤取析出的结晶，得到黄褐色结晶8.0g。把得到的结晶溶于100ml丙酮，缓慢注入100ml乙酸乙酯，使结晶析出。滤取，于50℃真空干燥2小时，得到黄褐色结晶的目的物6.6g(收率20％)。
熔点223℃(分解)1H NMR(CDCl3)δppm7.53(2H，t，Ar-H)，7.69(2H，d，Ar-H)，7.85～7.94(4H，m，Ar-H)，8.20(2H，d，Ar-H)，8.75(2H，d，Ar-H)，9.23(2H，s，Ar-H)，实施例7. 7-(苯基碘鎓)香豆素六氟磷酸盐的合成使香豆素7.3g(0.05mol)及碘苯二乙酸酯16.1g(0.05mol)悬浮在80ml乙酸酐中，于0～7℃用1小时往里滴加浓硫酸10g(0.1mol)，缓慢上升至室温，搅拌反应8小时。反应终止后，把反应液注入200ml冰水中，往里添加二氯甲烷150ml，使不溶物溶解。往其中添加六氟化磷酸钾18.4g(0.1mol)，于室温搅拌2小时。然后，进行分液，把得到的二氯甲烷层用100ml水洗涤2次。把得到的二氯甲烷层通过减压进行半浓缩，滤取析出的结晶，于50℃真空干燥2小时，得到淡黄色结晶的目的物2.4g。(收率10％)。
熔点211℃(分解)1H NMR(CDCl3)δppm6.64(1H，d，Ar-H)，7.57(3H，t，Ar-H)，7.68(1H，t，Ar-H)，8.05(1H，d，Ar-H)，8.25(2H，d，Ar-H)，8.41(1H，d，Ar-H)，8.63(1H，s，Ar-H)
实施例8. 2-(苯基碘鎓)呫吨-2-酮六氟磷酸盐的合成使呫吨-9-酮9.8g(0.05mol)及碘苯二乙酸酯16.1g(0.05mol)悬浮在乙酸酐80ml中，于0～7℃用1小时往里滴加浓硫酸10g(0.1mol)，缓慢上升至室温，搅拌反应8小时。反应终止后，把反应液注入200ml冰水中，添加150ml甲苯，使不溶物溶解，进行分液。往水层添加六氟化磷酸钾18.4g(0.1mol)，于室温搅拌2小时。滤取析出的结晶，于50℃真空干燥2小时，得到淡黄色结晶目的物16.1g(收率59％)。
熔点222℃(分解)1H NMR(CDCl3)δppm7.51～7.58(3H，m，Ar-H)，7.69(2H，t，Ar-H)，7.83(1H，d，Ar-H)，7.93(1H，t，Ar-H)，8.20(1H，d，Ar-H)，8.36(2H，d，Ar-H)，8.62(1H，d，Ar-H)，9.05(1H，s，Ar-H)比较例1 二苯基-(硫代呫吨-9-酮-2-基)-锍三氟甲磺酸盐的合成把二苯基亚砜20.2g(0.1mol)及硫代呫吨-9-酮21.2g(0.1mol)悬浮于二氯甲烷320ml，于-70～-60℃往里滴加三氟甲磺酸酐28.2g(0.1mol)，缓慢升至室温，搅拌反应3小时。反应终止后，将其用320ml水清洗5次，把得到的二氯甲烷层通过减压浓缩干燥，把得到的粗产物用柱色谱法进行精制，得到黄色玻璃状物的目的物18.6g(收率34％)。
1H NMR(CDCl3)δppm7.40～7.83(11H，m，Ar-H)，7.93(1H，q，Ar-H)，8.02(1H，d，Ar-H)，8.27(1H，q，Ar-H)，8.54(1H，d，Ar-H)，8.60(1H，d，Ar-H)，8.68(1H，s，Ar-H)比较例2 二苯基-(硫代呫吨-9-酮-2-基)-锍六氟磷酸盐的合成代替实施例2中使用的二苯基-(香豆素-6-基)-锍三氟甲磺酸盐来使用二苯基-(硫代呫吨-9-酮-2基)-锍三氟甲磺酸盐13.7g(0.025mol)以外，与实施例2进行同样的操作，得到黄色玻璃状物的目的物13.0g(收率96％)。
1H NMR(CDCl3)δppm7.45～7.85(11H，m，Ar-H)，7.96(1H，q，Ar-H)，7.98(1H，d，Ar-H)，8.08(1H，q，Ar-H)，8.52(1H，d，Ar-H)，8.60(1H，d，Ar-H)，8.73(1H，s，Ar-H)
比较例3 二苯基-(7-氯硫代呫吨-9-酮-2-基)-锍六氟磷酸盐的合成把二苯基亚砜20.2g(0.1mol)及2-氯硫代呫吨-9-酮24.6g(0.1mol)悬浮在二氯甲烷320ml中，于-70～-60℃往其中滴加三氟甲磺酸酐28.2g(0.1mol)，缓慢升至室温，搅拌反应3小时。反应终止后，用320ml水洗涤5次，往得到的二氯甲烷层添加六氟磷酸钾18.4g(0.1mol)及水200ml，于室温搅拌2小时，然后进行分液，再往二氯甲烷层添加六氟磷酸钾9.2g(0.05mol)及水100ml，于室温搅拌2小时。然后，进行分液，把得到的二氯甲烷层用200ml水进行洗涤，减压浓缩干燥，把得到的粗产物用柱色谱法进行精制，得到淡黄色玻璃状物目的物4.0g(收率7％)。
1H NMR(CDCl3)δppm7.79～7.95(11H，m，Ar-H)，8.05(1H，q，Ar-H)，8.14(1H，d，Ar-H)，8.31(1H，d，Ar-H)，8.37(1H，s，Ar-H)，8.73(1H，s，Ar-H)比较例4 二苯基-(5，7-二乙基硫代呫吨-9-酮-2-基)-锍三氟甲磺酸盐的合成把二苯基亚砜20.2g(0.1mol)及2，4-二乙基硫代呫吨-9-酮26.8g(0.1mol)溶解在二氯甲烷中，于-70～-60℃往里滴加三氟甲磺酸酐28.2g(0.1mol)，缓慢升至室温，搅拌反应4小时。反应终止后，用160ml水清洗4次，减压浓缩后，把得到的粗产物用柱色谱法精制，得到黄色玻璃状物的目的物38.6g(收率64％)。
1H NMR(CDCl3)δppm1.28(3H，t，CH3)，1.38(3H，t，CH3)，2.80(2H，q，CH2)，2.93(2H，q，CH2)，7.46(1H，s，Ar-H)，7.70～7.85(11H，m，Ar-H)，8.07(1H，w，Ar-H)，8.28(1H，s，Ar-H)，8.66(1H，s，Ar-H)比较例5 二苯基-(5，7-二乙基硫代呫吨-9-酮-2-基)-锍六氟磷酸盐的合成除了代替实施例2中使用的二苯基-(香豆素-6-基)-锍三氟甲磺酸盐来使用二苯基-(5，7-二乙基硫代呫吨-9-酮-2-基)-锍三氟甲磺酸盐30.1(0.05mol)以外，与实施例2进行同样的操作，得到黄色玻璃状物的目的物29.0g(收率97％)。
1H NMR(CDCl3)δppm1.32(3H，t，CH3)，1.36(3H，t，CH3)，2.77(2H，q，CH2)，2.91(2H，q，CH2)，7.46(1H，s，Ar-H)，7.72～7.85(11H，m，Ar-H)，8.05(1H，w，Ar-H)，8.28(1H，s，Ar-H)，8.71(1H，s，Ar-H)比较例6 2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮四氟硼酸酯的合成把呫吨-9-酮9.8g(0.05mol)及碘苯二乙酸酯16.1g(0.05mol)悬浮在乙酸酐80ml中，于0～7℃用1小时往其中滴加浓硫酸10g(0.1mol)，温度缓慢升至室温，搅拌反应8小时。反应终止后。把反应液注入200ml冰水中，添加150ml甲苯，使不溶物溶解。进行分液，往水层添加四氟硼酸钾12.6g(0.1mol)，于室温搅拌2小时。滤取析出的结晶，于50℃真空干燥2小时，得到橙色结晶的2-(苯基碘鎓)呫吨-9-酮四氟硼酸酯11.4g(收率47％)。
熔点229～231℃(分解)1H NMR(CDCl3)δppm7.51～7.56(3H，Q，Ar-H)，7.66～7.73(2H，m，Ar-H)，7.83(1H，d，Ar-H)，7.93(1H，t，Ar-H)，8.20(1H，d，Ar-H)，8.36(2H，d，Ar-H)，8.62(1H，d，Ar-H)，9.06(1H，s，Ar-H)实施例9 紫外—可见吸收光谱的测定制备实施例1～8及比较例1～6的化合物的0.0016(w/v)％乙腈溶液(约3×10-5mol/l)，测定紫外—可见吸收光谱。另外，作为参考，同样测定三苯基锍六氟磷酸盐(参考例1)、二苯基碘鎓六氟磷酸盐(参考例2)的吸收光谱。将表示极大吸收波长(nm)及在该波长的分子吸光系数(ε)、以及在300nm、350nm、400nm的分子吸光系数(ε)的结果示于表1。另外，涉及锍盐的吸收曲线数据示于图1及图2，涉及碘鎓盐的吸收曲线数据示于图3。
还有，图1中的各曲线分别表示如下。
—□—线本发明涉及的锍盐(实施例1)—◇—线本发明涉及的锍盐(实施例2)—△—线本发明涉及的锍盐(实施例3)—○—线本发明涉及的锍盐(实施例4)图2中的各曲线分别表示如下。
—◇—线比较例1的化合物—△—线比较例2的化合物
—□—线比较例3的化合物…×…线比较例4的化合物…○…线比较例5的化合物—+—线参考例1的化合物图3中的各曲线分别表示如下。
—□—线本发明涉及的碘鎓盐(实施例5)—◇—线本发明涉及的碘鎓盐(实施例6)—△—线本发明涉及的碘鎓盐(实施例7)—○—线本发明涉及的碘鎓盐(实施例8)—×—线比较例6的化合物—+—线参考例2的化合物表1
从图1及2的结果可知，作为现有的锍盐的二苯基锍六氟磷酸盐(参考例1)，几采没有300nm及300nm以上的吸收，另外，具有硫代呫吨骨架的锍六氟磷酸盐(比较例1～5)，由于在400nm及400nm以上的区域有吸收，所以呈黄色。因此，这些化合物，例如采用以紫外区域(300nm～)以上的波长作为有效波长的高压水银灯光作为光源的阳离子性光聚合引发剂，进行单体聚合时，采用三苯基锍六氟磷酸盐(参考例1)时，存在例如酸发生效率恶化的问题，而采用具有硫代呫吨骨架的锍六氟磷酸盐(比较例1～5)时，虽然如酸发生效率好，但这些化合物本身在可见区域呈黄色，所以，得到的聚合物也带黄色，存在透明性低等问题。
相对于此，本发明的锍盐，在300nm～360nm区域有吸收，在400nm或400nm以上无吸收，所以，如将其用作以高压水银灯作为光源的阳离子性光聚合引发剂，进行单体的聚合，则有效地产生酸，另外，所得到的聚合物在可见区域形成透明性良好的化合物。
另外，从图3的结果可知，作为现有的碘鎓盐的二苯基碘鎓六氟磷酸盐在300nm或300nm以上几乎没有吸收，而本发明的碘鎓盐，在300nm或300nm以上有吸收，而在400nm或400nm以上几乎没有吸收，所以，与本发明的锍盐同样，如将其用作以高压水银灯作为光源的阳离子性光聚合引发剂，进行单体的聚合，则有效地产生酸，另外，所得到的聚合物在可见区域显示高透明性。
实施例10 光固化试验把3，4-环氧环己基甲基-3，4-环氧环己羧酸酯7g、环己烯化氧3g、及作为阳离子性光聚合引发剂的实施例2～4中得到的化合物的50％(w/w)碳酸丙酯溶液0.20g加以混合。把该溶液在玻璃板上涂布，使膜厚达到40±10μm，用50W/cm高压水银灯照射60秒。测定刚刚固化后和1日后的铅笔硬度。另外，也同时进行作为比较例的三苯基锍六氟磷酸盐的光固化试验。其结果示于表2。
表2
从表2可知，实施例2的锍盐和、三苯基锍六氟磷酸盐、实施例5、6及8的碘鎓盐和二苯基碘鎓六氟磷酸盐比较时，本发明的锍盐和碘鎓盐，在刚固化后，显示与现有的锍盐及碘鎓盐相同或比相同更以上的硬度，在固化一天后，显示比现有的锍盐及碘鎓盐更高的硬度。
比较例1、2及5的具有硫代呫吨骨架的锍盐和本发明的锍盐(实施例2)比较时，比较例2的化合物显示比本申请的化合物更高的硬度，但如同表1所示，由于具有硫代呫吨骨架的锍盐呈黄色，所以，在用作如涂布剂、粘合剂、涂料等时，所得到的聚合物透明性变差，所以不理想。
另外，当实施例8的化合物(PF-6)和比较例6的化合物(BF-4)比较时，本发明的碘鎓盐与现有的碘鎓盐相比，刚固化后及固化一天后均显示高硬度。另外，当实施例5及6和实施例8的结果比较时，碘鎓盐时，通式[35]中的R26和R27的任何一种，比从通式[2]或[3]得到的聚合物硬度高。
实施例11 光聚合试验配制作为阳离子性光聚合引发剂的通过实施例4～8得到的化合物的20％(w/w)碳酸丙酯溶液，将其添加到50.00g环己烯化氧中至使聚合引发剂的浓度达到0.5％(w/w)，充分加以混合。取5ml该溶液放入试管中，用氮气鼓泡后，用帕拉膜密封。在水浴中把该反应液的内温调整至17～22℃之间，用100W高压水银灯(富士ガラス(株)社制HL-100型)在测定距离7cm进行规定时间的光照射后，在过量的甲醇溶液中使聚合物沉淀。把得到的聚合物洗涤数次后，用玻璃过滤器过滤，进行干燥。通过聚合物干燥后的重量除放入试管时刻的单体重量来算出聚合率。
测定了相对于照射时间的聚合率。其结果示于图4。
还有，图4中各曲线分别表示如下。
—□—线实施例4的化合物—*—线实施例5的化合物—◇—线实施例6的化合物—○—线实施例8的化合物…+…线比较例2的化合物…△…线比较例3的化合物从图4的结果可知，实施例2、4～6的化合物用作聚合引发剂时，与比较例2及3的化合物用作聚合引发剂时相比，显示几乎同样的聚合率。
产业上利用的可能性本发明的鎓盐，由于在阳离子部含有杂环，所以在例如高压水银灯光、金属卤化物灯光、紫外线、远紫外线、KrF激发物激光、ArF激发物激光、F2激发物激光、电子束、X线、放射线等，特别是用高压水银灯光、金属卤化物灯光等中光吸收效率高。因此，用通式[8]、[9]、[37]及[38]表示的鎓盐，与现有的鎓盐相比，在各种光源中，特别是在将高压水银灯或金属卤化物灯作为光源使用时，具有酸的发生效率高的优点。然而，本发明的鎓盐，由于在400nm或400nm以上几乎没有吸收，所以当将其作为阳离子光聚合引发剂使用时所得到的聚合物，具有对可见光区域的透明性几乎没有影响的效果。另外，将这些鎓盐作为化学放大型抗蚀剂用酸发生剂使用时，可以得到对高压水银灯或金属卤化物灯的光源具有高敏感度的抗蚀剂组合物。
权利要求
1.一种通式[35]表示的含杂环碘鎓盐， 式中，R26及R27分别独立且表示可具有卤原子或碳原子数为1～6的烷基作为取代基的芳基、上述通式[2]表示的基团或通式[3]表示的基团，A3表示卤原子、或者来自无机强酸、有机酸或通式[4]表示的化合物的阴离子，但是，R26及R27中的至少一种是上述通式[2]或[3]表示的基团，另外，当R26及R27的任意一种中仅有一种是通式[2]或[3]表示的基团时，A3表示来自通式[36]表示的无机强酸、有机酸或通式[4]表示的化合物的阴离子，HM3F6[36]式中，M3表示磷原子、砷原子或锑原子。
2.按照权利要求1所述的盐，其中，用A3表示的来自无机强酸的阴离子是来自硝酸、硫酸、卤代硫酸、高卤酸或通式[5]表示的无机强酸的阴离子，HM2Fk[5]式中，M2表示准金属原子或金属原子，k表示4或6的整数。
3.按照权利要求2所述的盐，其中，用M2表示的准金属原子是硼原子、硅原子、磷原子、砷原子或锑原子，金属原子是铝原子、钛原子、铁原子、镍原子、锆原子或镓原子。
4.按照权利要求1所述的盐，其中，用A3表示的来自有机酸的阴离子是来自通式[6]表示的磺酸或通式[7]表示的羧酸的阴离子，R8-SO3H [6]式中，R8表示可具有卤原子的烷基、芳基或芳烷基；R9-COOH [7]式中，R9表示可具有卤原子的烷基、芳基或芳烷基。
5.按照权利要求1所述的盐，其中，R26及R27为通式[2]表示的基团。
6.按照权利要求5所述的盐，其中，通式[2]中的X2为氧原子。
7.按照权利要求5所述的盐，其中，通式[2]表示的基团为呫吨基。
8.按照权利要求1所述的盐，其中，R26及R27为通式[3]表示的基团。
9.按照权利要求8所述的盐，其中，通式[3]中的X3及X4为氧原子。
10.按照权利要求8所述的盐，其中，通式[3]表示的基团为香豆素基。
11.按照权利要求1所述的盐，其中，通式[35]表示的碘鎓盐是二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸盐或二(香豆素-7-基)碘鎓六氟磷酸盐。
12.一种阳离子性光聚合引发剂，其包括通式[37]表示的含杂环碘鎓盐， 式中，R26及R27分别独立且表示可具有卤原子或碳原子数为1～6的烷基作为取代基的芳基、通式[2]表示的基团或通式[3]表示的基团， 式中，R3及R4分别独立且表示卤原子、可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基、或者可具有卤原子或碳原子数为1～6的烷基作为取代基的芳基，X2表示氧原子或硫原子，i表示0～4的整数，j表示0～3的整数； 式中，R5及R6分别独立且表示卤原子、可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基、或者可具有卤原子或碳原子数为1～6的烷基作为取代基的芳基，X3及X4分别独立且表示氧原子或硫原子，p表示0～2的整数，q表示0～3的整数，A4表示来自无机强酸、磺酸或通式[4]表示的化合物的阴离子，HM1(R7)4[4]式中，M1表示硼原子或镓原子，R7表示可具有选自碳原子数为1～6的卤代烷基、卤原子、硝基及氰基的取代基的芳基)，但是，R26及R27中的至少1种是上述通式[2]或[3]表示的基团，当R26及R27的任意一种中仅有一种是通式[2]或[3]表示的基团时，无机强酸是通式[36]表示的酸，HM3F6[36]式中，M3表示磷原子、砷原子或锑原子。
13.按照权利要求12所述的聚合引发剂，其中，A4是来自通式[4]表示的化合物或通式[5]表示的无机强酸的阴离子HM2Fk[5]式中，M2表示准金属原子或金属原子，k表示4或6的整数。
14.按照权利要求12所述的聚合引发剂，其中，通式[37]表示的碘鎓盐是二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸盐或二(香豆素-7-基)碘鎓六氟磷酸盐。
15.一种环氧单体的聚合方法，其特征在于，采用权利要求12所述的聚合引发剂。
16.一种乙烯基醚单体的聚合方法，其特征在于，采用权利要求12所述的聚合引发剂。
17.一种抗蚀剂用酸发生剂，其包括通式[38]表示的碘鎓盐， 式中，R26及R27分别独立且表示可具有卤原子或碳原子数为1～6的烷基作为取代基的芳基、通式[2]表示的基团或通式[3]表示的基团， 式中，R3及R4分别独立且表示卤原子、可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基、或者可具有卤原子或碳原子数为1～6的烷基作为取代基的芳基，X2表示氧原子或硫原子，i表示0～4的整数，j表示0～3的整数； 式中，R5及R6分别独立且表示卤原子、可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基、或者可具有卤原子或碳原子数为1～6的烷基作为取代基的芳基，X3及X4分别独立且表示氧原子或硫原子，p表示0～2的整数，q表示0～3的整数；A5表示来自无机强酸、有机酸或通式[4]表示的化合物的阴离子，HM1(R7)4[4]式中，M1表示硼原子或镓原子，R7表示可具有选自碳原子数为1～6的卤代烷基、卤原子、硝基及氰基的取代基的芳基，但是，R26及R27中的至少1种是上述通式[2]或[3]表示的基团，另外，当R26及R27的任意一种中仅有一种是通式[2]或[3]表示的基团时，无机强酸是通式[36]表示的酸，HM3F6[36]式中，M3表示磷原子、砷原子或锑原子。
18.按照权利要求17所述的酸发生剂，其中，通式[38]表示的碘鎓盐为二(呫吨-9-酮-2-基)碘鎓六氟磷酸盐或(香豆素-7-基)碘鎓六氟磷酸盐。
全文摘要
本发明涉及适用于阳离子性光聚合引发剂、化学放大型抗蚀剂用酸发生剂的含杂环鎓盐，提供一种用通式[1](式中，R表示用通式[2]或通式[3]表示的基团)表示的含杂环的锍盐或用通式[35]表示的含杂环的鎓盐，(式中，R
文档编号C07D311/86GK1854133SQ20061008184
公开日2006年11月1日 申请日期2002年10月11日 优先权日2002年3月4日
发明者石原正巳, 浦野洋治, 高桥昌弘 申请人:和光纯药工业株式会社