一种超高纯乙酸丁酯的提纯装置的制作方法

文档序号:3545735阅读:662来源:国知局
专利名称:一种超高纯乙酸丁酯的提纯装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及超高纯试剂提纯技术,具体涉及一种超高纯乙酸丁酯的提纯装置。
背景技术
超高纯试剂是电子领域微细加工制作中不可缺少的关键性基础化工原料之一,主要用于芯片的清洗和蚀刻。超高纯乙酸丁酯为有机溶剂,主要用于半导体行业紫外负性光刻胶的漂洗工艺,可与负胶显影液配套使用。随着电子领域技术的不断发展,对电子化学品的纯度要求也日益提高。目前普遍采用的乙酸丁酯提纯方法为工业乙酸丁酯经无水碳酸钠洗涤后直接精馏,所使用的装置主要包括精馏塔和微滤器,但上述工艺路线中无水碳酸钠直接置于精塔釜中,精馏结束后碳酸钠从塔底出口排出,但由于精馏结束后釜中液体较少,塔底固体物质排出工作需要耗费一定的时间,整条生产线的生产效率较低。因此,有必要对现有的乙酸丁酯提纯装置进行改进。

实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷,提供一种工艺流程合理、生广效率闻、广品质量稳定的超闻纯乙酸丁酷的提纯装置。为实现上述目的,本实用新型的技术方案是设计一种超高纯乙酸丁酯的提纯装置,所述提纯装置包括与储罐相连接的精馏塔,所述精馏塔的底部设置有高沸点物出口,所述精馏塔上还设置有塔顶出口,所述精馏塔的塔顶出口通过管道依次与冷凝器、质检混合罐、微滤器和成品罐串联连接,其特征在于,所述储罐和精馏塔之间依次连接有预处理反应釜和过滤器,所述过滤器的出口与所述精馏塔的进料口通过管道相连接,所述精馏塔的进料口设置有密封阀。其中,连接过滤器出口和预处理反应釜入口的管道上连接有不锈钢泵。其中,所述预处理反应釜为蒸汽加热反应釜。其中,所述微滤器的微滤膜孔径O. 05 O. 10 μ m。其中,所述精馏塔和冷凝器的材质为石英玻璃。本实用新型的优点和有益效果在于该装置工艺流程合理,在储罐和精馏塔之间设置预处理反应釜和过滤器能提高进入精馏塔的乙酸丁酯纯度精馏反应时可同时进行预处理反应釜和过滤器的清理操作,提高整个生产线的生产效率;设置质检混合罐可以避免不同批次不同质量的原料所得到的成品之间质量存在差异的现象,及时检测产品质量,以便对之前提纯工艺的控制,保证产品质量的稳定。

图I是本实用新型超高纯乙酸丁酯的提纯装置的结构示意图。[0013]图中I、储罐;2、预处理反应釜;3、过滤器;4、精馏塔;5、冷凝器;6、微滤器;7、成品te ;8、不镑钢栗;9、乾'封阀;10、质检混合iig。
具体实施方式
以下结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式
作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范
围。 本实施例为一种超高纯乙酸丁酯的提纯装置,包括与储罐I相连接的精馏塔4,精馏塔4的底部设置有高沸点物出口,精馏塔4上还设置有塔顶出口,精馏塔4的塔顶出口通过管道依次与冷凝器5、质检混合罐10、微滤器6和成品罐7串联连接,储罐I和精馏塔4之间依次连接有预处理反应釜2和过滤器3,过滤器3的出口与精馏塔4的进料口通过管道相连接,精馏塔4的进料口设置有密封阀9。其中,连接过滤器3出口和预处理反应釜2入口的管道上连接有不锈钢泵8。其中,预处理反应釜2为蒸汽加热反应釜。其中,微滤器6的微滤膜孔径O. 05 O. 10 μ m。其中,精馏塔4和冷凝器5的材质为石英玻璃。工业乙酸丁酯抽到预处理反应釜2中,在预处理反应釜2中进行酯化反应和氧化反应出去原料中的正丁醇和不饱和物,然后将乙酸丁酯导入过滤器3中进行初步过滤,然后经由不锈钢泵8抽入精馏塔4中精馏,当温度和压力达到设定值时采出乙酸丁酯蒸气,经冷凝器5冷凝,在质检混合罐10中混合,抽取样品检验产品质量,再经微滤器6过滤,得到超高纯乙酸丁酯成品,分装入成品罐7。其中,在质检混合罐和微滤器之间设置泵,使微滤器的微滤膜两侧形成压力差,力口快微滤速度,保证生产效率。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种超高纯乙酸丁酯的提纯装置,所述提纯装置包括与储罐相连接的精馏塔,所述精馏塔的底部设置有高沸点物出口,所述精馏塔上还设置有塔顶出口,所述精馏塔的塔顶出口通过管道依次与冷凝器、质检混合罐、微滤器和成品罐串联连接,其特征在于,所述储罐和精馏塔之间依次连接有预处理反应釜和过滤器,所述过滤器的出口与所述精馏塔的进料口通过管道相连接,所述精馏塔的进料口设置有密封阀。
2.根据权利要求I所述的超高纯乙酸丁酯的提纯装置,其特征在于连接过滤器出口和预处理反应釜入口的管道上连接有不锈钢泵。
3.根据权利要求2所述的超高纯乙酸丁酯的提纯装置,其特征在于,所述预处理反应爸为蒸汽加热反应爸。
4.根据权利要求3所述的超高纯乙酸丁酯的提纯装置,其特征在于,所述微滤器的微滤膜孔径O. 05 O. 10 μ m。
5.根据权利要求4所述的超高纯乙酸丁酯的提纯装置,其特征在于,所述精馏塔和冷凝器的材质为石英玻璃。
专利摘要本实用新型公开了一种超高纯乙酸丁酯的提纯装置,包括与储罐相连接的精馏塔,精馏塔的底部设置有高沸点物出口,精馏塔上还设置有塔顶出口,精馏塔的塔顶出口通过管道依次与冷凝器、质检混合罐、微滤器和成品罐串联连接,储罐和精馏塔之间依次连接有预处理反应釜和过滤器,过滤器的出口与精馏塔的进料口通过管道相连接,精馏塔的进料口设置有密封阀。该装置工艺流程合理,在储罐和精馏塔之间设置预处理反应釜和过滤器能提高进入精馏塔的乙酸丁酯纯度精馏反应时可同时进行预处理反应釜和过滤器的清理操作,提高整个生产线的生产效率,且产品质量稳定。
文档编号C07C67/48GK202786064SQ20122028072
公开日2013年3月13日 申请日期2012年6月14日 优先权日2012年6月14日
发明者周耀庆 申请人:江阴苏龙微电子材料有限公司
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