专利名称：感光性聚酰亚胺树脂组合物的制作方法
技术领域：
本发明涉及感光性聚酰亚胺树脂组合物。特别涉及可以在碳酸钠水溶液等弱碱性水溶液中正型(ポジ型)显影，且可溶于酰胺类溶剂、内酯类溶剂、亚砜类溶剂、醚类溶剂等常用的有机溶剂中的感光性聚酰亚胺树脂组合物，以及具有含该感光性聚酰亚胺树脂组合物的正型图案的挠性(flexible)印刷电路的制造方法。
背景技术：
使用碱性水溶液可在正型图案上显影的感光性聚酰亚胺树脂组合物，在挠性印刷电路基板中作为外敷层和层间绝缘膜的材料、IC芯片的密封材料等被广泛利用。另外，聚酰亚胺树脂本身分子中具有氮原子，因此与丙烯酸树脂、环氧树脂等相比，阻燃性优良，从这方面来看，推荐使用聚酰亚胺树脂。
这种感光性聚酰亚胺树脂组合物含有聚酰亚胺树脂和邻叠氮萘醌，所述聚酰亚胺树脂是通过芳香族二胺和具有酚性羟基的芳香族酸二酐(aromatic acid dianhydride)进行脱水反应而得到的(专利文献1)。该邻叠氮萘醌作用于聚酰亚胺树脂中的酚性羟基，抑制聚酰亚胺树脂在碱性水溶液中的溶解性，但在光的照射下分解生成烯酮基，进而与水反应生成羧基。因此感光性聚酰亚胺树脂组合物的薄膜的曝光区域和未曝光区域之间在碱性水溶液中的溶解性有很大的不同。其结果为，在碱性水溶液中进行显影时，可以用碱性水溶液除去曝光区域，形成感光性聚酰亚胺树脂组合物的正型图案。
专利文献1日本特愿平11-202488号公报
发明内容
但是，使曝光的感光性聚酰亚胺树脂组合物的薄膜显影时，为了在短时间内形成微细图案，一般要严格控制碱的浓度，而且使用对人体很难说是安全的氢氧化四甲铵(テトラハイドロキシアンモニウムハイドロキサイド)(TMAH)水溶液。因此期望能在碳酸钠水溶液等弱碱性水溶液中显影。
另外，将感光性聚酰亚胺树脂组合物用于挠性配线电路(flexiblewiring circuit)时，需要低翘曲(low warpage)性，为此降低聚酰亚胺树脂的弹性率是有效的。具体而言，尝试用二氨基聚硅氧烷类化合物或双(氨基苯甲酸酯)(bis(aminobenzoate))类化合物代替二胺成分的一部分。
只是这样使感光性聚酰亚胺树脂组合物降低弹性率时，有弱碱性水溶液引起显影性降低的问题。
本发明即为解决以上先前技术存在的问题，本发明的目的在于为了使感光性聚酰亚胺树脂组合物低弹性率化，并赋予低翘曲性，即使在用二氨基聚硅氧烷类化合物或双(氨基苯甲酸酯)类化合物代替二胺成分的一部分时，也能维持在常用的有机溶剂中的溶解性，可以实现使用弱碱性水溶液的显影性。
本发明人通过用二氨基聚硅氧烷类化合物或双(氨基苯甲酸酯)类化合物代替二胺成分的一部分，在低弹性率化的感光性聚酰亚胺树脂组合物中，配合规定量的先前作为阻燃剂使用的特定化合物，出人意料的发现，可以维持在常用的有机溶剂中的溶解性，在弱碱性水溶液中显影，从而完成了本发明。
即，本发明提供感光性聚酰亚胺树脂组合物，其特征在于该聚酰亚胺树脂组合物含有聚酰亚胺树脂、氰尿酸三聚氰胺(melaminecyanurate)类似物和邻叠氮萘醌类似物，在弱碱性水溶液中可以正型显影且可溶于有机溶剂，所述聚酰亚胺树脂含有下式(1)的聚酰亚胺单元以及式(2)或式(3)的聚酰亚胺单元；其中，相对于100重量份聚酰亚胺树脂，该聚酰亚胺树脂组合物含有5～50重量份该氰尿酸三聚氰胺类似物。
式(1)～(3)中，X和A分别独立的为单键或2价的有机基，R1为碳原子数3～9的亚烷基，R2、R3、R4和R5分别独立地为碳原子数1～8的亚烷基或芳香族基，R为碳原子数2～50的亚烷基或聚环氧烷基(polyalkylene oxide group)，m表示2以上的整数。
另外，本发明还提供具有聚酰亚胺正型图案的挠性印刷电路的制造方法，其特征在于在挠性印刷电路上使上述感光性聚酰亚胺树脂组合物成膜，对得到的感光性聚酰亚胺树脂膜，照射邻叠氮萘醌类似物分解的光，形成潜像，在弱碱性水溶液中正型显影，由此来除去感光性聚酰亚胺树脂膜的曝光部分，形成感光性聚酰亚胺树脂的正型图案，之后进行后烘处理。
本发明的感光性聚酰亚胺树脂组合物，由于用二氨基聚硅氧烷类化合物或双(氨基苯甲酸酯)类化合物代替二胺成分的一部分，与未用它们替代的情况相比，弹性率低。而且，含有特定量的先前作为阻燃剂使用的氰尿酸三聚氰胺类似物，因此可以在弱碱性水溶液中显影。进而，也可以维持在常用的有机溶剂中的溶解性。
具体实施例方式 本发明的感光性聚酰亚胺树脂组合物是含有聚酰亚胺树脂、氰尿酸三聚氰胺类似物和邻叠氮萘醌类似物，在弱碱性水溶液中可以正型显影且可溶于有机溶剂的感光性聚酰亚胺树脂组合物，所述聚酰亚胺树脂含有前述式(1)的聚酰亚胺单元和式(2)或式(3)的聚酰亚胺单元。本发明中，相对于100重量份聚酰亚胺树脂，含有5～50重量份、优选30～50重量份的氰尿酸三聚氰胺类似物。若不足5重量份，则在弱碱性水溶液中的显影变得困难；若超过50重量份，则由于会发生膜厚度变薄，因此不优选。此外，若配合25重量份以上，则可以对感光性聚酰亚胺树脂组合物赋予UL-94V-0的阻燃性。
作为氰尿酸三聚氰胺类似物的具体例子，可以列举选自三聚氰胺、氰尿酸、三聚氰胺-异氰尿酸加成物、以及以下的三聚氰胺衍生物和氰尿酸衍生物中的至少一种。它们也可以混合使用。其中，从分散性良好方面来看，优选三聚氰胺-异氰尿酸加成物、三嗪硫酚二醇(triazinethiol diol)、三(2-羟乙基)异氰尿酸酯。
(三聚氰胺衍生物)
(氰尿酸衍生物)
构成本发明的感光性聚酰亚胺树脂组合物的聚酰亚胺树脂由式(1)的聚酰亚胺单元和式(2)或式(3)的聚酰亚胺单元构成。
式(1)的聚酰亚胺单元，由芳香族酸二酐和具有酚性羟基的芳香族二胺构成，是特别赋予在碱性水溶液中的溶解性的部分。另外，关于式(2)或式(3)的聚酰亚胺单元，前者由芳香族酸二酐和二氨基聚硅氧烷类化合物构成，后者由芳香族酸二酐和双(氨基苯甲酸酯)类化合物构成，均是赋予低弹性率化，即低翘曲性的部分。
在氰尿酸三聚氰胺类似物的存在下，关于式(1)的聚酰亚胺单元和式(2)或式(3)的聚酰亚胺单元的存在比例，若前者的存在比例高，则碱性溶解性高，因此可以利用弱碱性水溶液获得良好的显影(高分辨率、短时间)。相反，式(2)或式(3)的聚酰亚胺单元的存在比例相对降低，则不能达到低翘曲性。反之，若式(1)的聚酰亚胺单元的存在比例低，则利用弱碱性水溶液的显影性降低，相反则可以实现低翘曲性。因此，式(1)的聚酰亚胺单元相对于式(2)或式(3)的聚酰亚胺单元的摩尔比为1∶0.1～2.3，优选1∶0.4～1.7。
此外，实用上的低翘曲性的判断，作为聚酰亚胺树脂膜，初期拉伸弹性率为500MPa以下为一种标准。超过该值时，不能忽略导体或高分子基材上形成的感光性聚酰亚胺树脂的“翘曲”，有时基材会导致卷成铅笔状。
式(1)的聚酰亚胺单元中的X为单键或2价的有机基，作为该2价的有机基的优选例子，可以列举二(三氟甲基)亚甲基、磺基、羰基、二甲基亚甲基、氧原子或芴-9，9-二基；另外，A为单键或2价的有机基，作为该2价的有机基的优选例子，可以列举二(三氟甲基)亚甲基、磺基、羰基、氧化亚甲基、二甲基亚甲基、芴-9，9-二基或亚甲基。
式(2)的聚酰亚胺单元中的X与式(1)中说明的相同，另外，作为R1的优选例，可以列举亚甲基、亚乙基、亚丙基(propylene)、3-甲基亚苯基或亚丁基(butylene)；作为R2、R3、R4和R5的优选例，可分别独立地列举甲基或苯基。另外m为2以上的整数，优选为10～20的整数。
式(3)的聚酰亚胺单元中的X与式(1)中说明的相同，另外，作为R的优选例，可以列举三亚甲基(trimethylene)、四亚甲基、聚氧亚丁基(polytetramethyleneoxide)或聚[(四亚甲基/3-甲基四亚甲基醚)氧化物](poly[(tetramethylene/3-methyltetramethylene ether)oxide])。另外，m为2以上的整数，优选为2～20的整数。
作为聚酰亚胺树脂的特别优选的结构的具体例子，可以列举以下的结构包含式(1)的聚酰亚胺单元和式(2)的聚酰亚胺单元，式(1)中的X和A均为磺基，式(2)中的X为磺基，R1为亚甲基，R2～R5均为甲基，m为10～20的整数。另外，作为聚酰亚胺树脂的特别优选的其它结构的具体例子，可以列举以下的结构包含式(1)的聚酰亚胺单元和式(3)的聚酰亚胺单元，式(1)中的X为单键，A为二(三氟甲基)亚甲基，式(3)中的X为单键，R为四亚甲基，m为2～20的整数。
此外，构成式(1)～式(3)的聚酰亚胺单元的芳香族酸二酐的优选具体例如下所示。
构成式(1)的聚酰亚胺单元的芳香族二胺的优选具体例如下所示。
作为构成式(2)的聚酰亚胺单元的二氨基聚硅氧烷类化合物的优选具体例，可以列举α，ω-双(2-氨基乙基)聚二甲基硅氧烷、α，ω-双(3-氨基丙基)聚二甲基硅氧烷、α，ω-双(3-氨基-3-甲基苯基)聚二甲基硅氧烷、α，ω-双(3-氨基丙基)聚二苯基硅氧烷、α，ω-双(4-氨基丁基)聚二甲基硅氧烷等。
作为构成式(3)的聚酰亚胺单元的双(氨基苯甲酸酯)类化合物的优选具体例如下所示。优选的l为1～20的整数，优选的q为1～20的整数，优选的n为1～20的整数。
本发明的感光性聚酰亚胺树脂组合物，为了显示感光性，含有邻叠氮萘醌类似物作为必须成分。其含量若过少，则很难显影，若含量过多，则膜的物性降低，因此相对于聚酰亚胺树脂100重量份，优选以10～50重量份，更优选10～30重量份的比例含有邻叠氮萘醌类似物。
作为邻叠氮萘醌类似物的优选具体例，可以列举邻叠氮萘醌(DNQ)、1，2-萘醌-2-二叠氮基-5-磺酸或1，2-萘醌-2-二叠氮基-4-磺酸与低分子芳香族羟基化合物的酯，例如与2，3，4-三羟基苯甲酮、1，3，5-三羟基苯、2-及4-甲基苯酚、4，4’-羟基丙烷的酯等，但并不限于这些。作为特别优选的邻叠氮萘醌类似物，可以列举下述结构的化合物。
R＝H或
本发明的感光性聚酰亚胺树脂组合物还可以进一步含有有机溶剂。可以优选以溶解于有机溶剂的状态作为清漆(varnish)使用。作为这种有机溶剂，可以列举N，N-二甲基乙酰胺、N，N-二乙基乙酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二乙基甲酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮等酰胺溶剂；γ-丁内酯、γ-戊内酯等内酯溶剂；二甲基亚砜、二乙基亚砜、六甲基亚砜等含硫溶剂；甲酚、苯酚等酚类溶剂；二乙二醇二甲基醚(二甘醇二甲醚，diglyme)、二缩三乙二醇二甲基醚(三甘醇二甲醚，triglyme)、四甘醇二甲醚、二噁烷、四氢呋喃等醚溶剂。另外，它们可以单独使用也可以多个并用。特别优选使用N-甲基-2-吡咯烷酮、γ-丁内酯、三甘醇二甲醚。
本发明的感光性聚酰亚胺树脂组合物可以如下制造先制造聚酰亚胺树脂，在所得的聚酰亚胺树脂中添加氰尿酸三聚氰胺类似物和邻叠氮萘醌类似物，混合均匀而制得。制造聚酰亚胺树脂时，优选使用有机溶剂以溶液状态进行。这里，聚酰亚胺树脂溶液可通过如下方法得到使前述的芳香族酸二酐(以下有时记为酸二酐单体)、芳香族二胺、二氨基聚硅氧烷类化合物和/或双(氨基苯甲酸酯)类化合物(以下有时记为二胺单体)在前述有机溶剂中进行加成聚合，生成聚酰亚胺前体，之后，通过脱水环化反应(溶液中的加热酰亚胺化或使用脱水剂的化学酰亚胺化)而得到。
此外，作为经由前体的方法，例如可以列举以下方法在氮气流下，在聚酰亚胺前体中添加甲苯、二甲苯等共沸剂，在180℃以上加热搅拌，进行聚酰亚胺前体(聚酰胺酸)的脱水反应，形成使聚酰胺酸全体闭环的聚酰亚胺成分。这时，根据需要还可以添加三乙胺等叔胺、芳香族类异喹啉、吡啶等碱性催化剂或苯甲酸、对羟基苯甲酸等酸催化剂作为酰亚胺化催化剂。这时，它们可以单独添加，也可以多个化合物并用添加。
另外，可以使用作为脱水环化试剂的乙酸酐/吡啶混合剂或二环己基碳二亚胺等化学酰亚胺化剂来使聚酰胺酸闭环。此外还可以不经由聚酰亚胺前体，进行脱水环化反应，以一步法(one-pot)得到聚酰亚胺。
如此得到的合成的聚酰亚胺树脂的数均分子量优选5000以上。这是因为，不足5000时，聚酰亚胺树脂的聚合度过小，聚酰亚胺树脂膜的膜强度不充分。分子量的调整可以通过改变酸酐单体和二胺单体的摩尔比而进行。作为摩尔比，优选1∶0.8～1.2，超出该范围时，聚合度变小，很难实现膜的强度。另外，邻苯二甲酸酐或苯胺等封端剂也对分子量的调整有效。
另外，还可以通过使用溶液酰亚胺化法等形成末端活性(氨基或酸酐基)的低聚酰亚胺化合物(低聚酰亚胺单体)后，进而以化学计算量投入酸二酐单体和二胺单体，进行脱水环化反应，使聚酰亚胺结构单元嵌段化。
如此得到的本发明的感光性聚酰亚胺树脂组合物，可以溶解于常用的有机溶剂中，可显影成正型图案。因此，在挠性电路基板中可有利地用作外敷层或层间绝缘膜的材料、IC芯片的密封材料等。例如，可以在具有聚酰亚胺正型图案的挠性印刷电路的制造中使用。具体而言，首先将该感光性聚酰亚胺树脂组合物，利用旋转涂布法、刮涂法等公知的涂布方法涂布到挠性印刷电路上，根据需要在邻叠氮萘醌类似物不分解的温度下进行干燥、成膜。对得到的感光性聚酰亚胺树脂膜，通过掩模图案(pattern mask)照射邻叠氮萘醌类似物分解的光、例如高压水银灯的光，形成潜像，通过浸渍于碳酸钠水溶液等弱碱性水溶液中，或通过喷淋弱碱性水溶液来进行正型显影。由此除去感光性聚酰亚胺树脂膜的曝光部分，形成感光性聚酰亚胺树脂的正型图案。之后通过进行后烘处理，可以得到具有聚酰亚胺正型图案的挠性印刷电路。
实施例 以下，通过实施例具体说明本发明。
实施例1、比较例1～3 将表1所示配合量的3，4，3’，4’-联苯四羧酸二酐(BPDA)、2，2-双(3-氨基-4-羟基苯基)-1，1，1，3，3，3-六氟丙烷(Bis-AP-AF)以及聚氧亚丁基-二-对氨基苯甲酸酯(Elastomer 1000，Ihara Chemical工业社)溶解于0.24L溶剂(N-甲基吡咯烷酮(NMP))中，在80℃搅拌2小时，进而在180℃搅拌5小时的条件下，进行脱水环化反应，得到聚酰亚胺树脂(PI)溶液。
在得到的聚酰亚胺树脂溶液(树脂成分20重量％)中，按表1的比例加入作为感光剂的邻叠氮萘醌(DNQ)、根据需要加入作为助显影剂的三聚氰胺-异氰尿酸加成物(MC-860、日产化学工业社)或作为阻燃剂的Al(OH)3，混合均匀，制备清漆。
将得到的清漆涂布在金属铜箔上，使干燥厚度为10μm，在100℃的电炉中干燥，形成感光性聚酰亚胺树脂膜。
(显影性的评价) 对于所形成的感光性聚酰亚胺树脂膜，通过300μm间距(pitch)的线和空间掩模(line-and-space mask)，从水银灯以100mW/cm2的光量、累计光量2500mJ/cm2进行曝光。然后，使用50℃的10％碳酸钠水溶液，用浸渍法显影。显影90秒，将出现300μm间距的线和空间掩模的情况评价为可以显影(“G”)。90秒不能出现300μm间距的线和空间掩模的情况评价为不可显影(“NG”)。得到的结果示于表1。
[表1] 由表1可知，尽管在实施例1和比较例1～3中使用的聚酰亚胺树脂是相同的，但只有使用先前作为阻燃剂使用的三聚氰胺-异氰尿酸加成物作为助显影剂的实施例1，在弱碱性水溶液中显示出良好的显影性。
实施例2～6和比较例4 将表2所示配合量的3，4，3’，4’-二苯基砜四羧酸二酐(DSDA)、二氨基聚硅氧烷(X-22-9409、信越化学工业社)以及3，3’-二氨基-4，4’-二氢苯砜(dihydrophenyl sulfone)(BS-DA)溶解于0.21L溶剂(N-甲基吡咯烷酮(NMP))中，在80℃搅拌2小时，进而在180℃搅拌5小时的条件下，进行脱水环化反应，得到聚酰亚胺树脂(PI)溶液。
在得到的聚酰亚胺树脂溶液(树脂成分47重量％)中，按表2的比例加入作为感光剂的邻叠氮萘醌(DNQ)(4NT-300、东洋合成工业社)、作为助显影剂的三聚氰胺-异氰尿酸加成物(MC-860、日产化学工业社)、三嗪硫酚二醇(TA-07、昭和化工社)或三(2-羟乙基异氰尿酸酯)(THI、东京化成工业社)、防锈剂(CDA-6、ADEKA社)，混合均匀，制备清漆。清漆中的NMP的比例为55重量％。
将得到的清漆涂布在金属铜箔上，使干燥厚度为10μm，在100℃的电炉中干燥，形成感光性聚酰亚胺树脂膜。
(显影性的评价) 对于所形成的感光性聚酰亚胺树脂膜，通过300μm间距的线和空间掩模，从水银灯以100mW/cm2的光量、累计光量2500mJ/cm2进行曝光。然后，使用40℃的10％碳酸钠水溶液，用浸渍法显影。显影90秒，将出现300μm间距的线和空间掩模的情况评价为可以显影(“G”)。90秒不能出现300μm间距的线和空间掩模的情况评价为不可显影(“NG”)。得到的结果示于表2。此外，实施例2～6和比较例4的残膜厚为10μm。
[表2]
由表2可知，相对于100重量份聚酰亚胺树脂，含有5～50重量份氰尿酸三聚氰胺类似物的实施例2～6的感光性聚酰亚胺树脂组合物，在弱碱性水溶液中显示出良好的显影性。
产业上的可利用性 本发明的感光性聚酰亚胺树脂组合物，可以溶解于常用的有机溶剂中，能显影成正型图案。因此，有利于在挠性电路基板中作为外敷层或层间绝缘膜的材料、IC芯片的密封材料等使用。
权利要求
1.感光性聚酰亚胺树脂组合物，其特征在于该感光性聚酰亚胺树脂组合物含有聚酰亚胺树脂、氰尿酸三聚氰胺类似物和邻叠氮萘醌类似物，在弱碱性水溶液中可以正型显影且可溶于有机溶剂，所述聚酰亚胺树脂含有下式(1)的聚酰亚胺单元、以及式(2)或式(3)的聚酰亚胺单元；其中，相对于100重量份聚酰亚胺树脂，含有5～50重量份该氰尿酸三聚氰胺类似物，
式(1)～(3)中，X和A分别独立地为单键或2价的有机基团；R1为碳原子数3～9的亚烷基；R2、R3、R4和R5分别独立地为碳原子数1～8的亚烷基或芳香族基团；R为碳原子数2～50的亚烷基或聚环氧烷基；m表示2以上的整数。
2.根据权利要求1所述的感光性聚酰亚胺树脂组合物，其中，式(1)中的X的2价有机基团为二(三氟甲基)亚甲基、磺基、羰基、二甲基亚甲基、氧原子或芴-9，9-二基；A的2价有机基团为二(三氟甲基)亚甲基、磺基、氧化亚甲基、二甲基亚甲基、芴-9，9-二基或亚甲基。
3.根据权利要求1所述的感光性聚酰亚胺树脂组合物，其中，式(2)中的X的2价有机基团为二(三氟甲基)亚甲基、磺基、羰基、二甲基亚甲基、氧原子或芴-9，9-二基；R1为亚乙基、亚丙基、3-甲基亚苯基或亚丁基；R2、R3、R4和R5分别独立地为甲基或苯基；m为2～20的整数。
4、根据权利要求1所述的感光性聚酰亚胺树脂组合物，其中，式(3)中的X的2价有机基团为二(三氟甲基)亚甲基、磺基、羰基、二甲基亚甲基、氧原子或芴-9，9-二基；R为三亚甲基、四亚甲基、聚氧亚丁基或聚[(四亚甲基/3-甲基四亚甲基醚)氧化物]；m为2～20的整数。
5、根据权利要求1所述的感光性聚酰亚胺树脂组合物，其中，该聚酰亚胺树脂包含式(1)的聚酰亚胺单元和式(2)的聚酰亚胺单元，式(1)中的X和A均为磺基；式(2)中的X为磺基，R1为亚甲基，R2～R5均为甲基，m为10～20的整数。
6、根据权利要求1所述的感光性聚酰亚胺树脂组合物，其中，该聚酰亚胺树脂包含式(1)的聚酰亚胺单元和式(3)的聚酰亚胺单元，式(1)中的X为单键，A为二(三氟甲基)亚甲基；式(3)中的X为单键，R为四亚甲基，m为2～20的整数。
7、根据权利要求1～6中任一项所述的感光性聚酰亚胺树脂组合物，其中，该氰尿酸三聚氰胺类似物为选自三聚氰胺、氰尿酸、三聚氰胺-异氰尿酸加成物、或以下的三聚氰胺衍生物及以下的氰尿酸衍生物中的至少一种，
所述三聚氰胺衍生物为
所述氰尿酸衍生物为
8、根据权利要求7所述的感光性聚酰亚胺树脂组合物，其中，该氰尿酸三聚氰胺类似物为三聚氰胺-异氰尿酸加成物、三嗪硫酚二醇或三(2-羟乙基)异氰尿酸酯。
9、根据权利要求1～8中任一项所述的感光性聚酰亚胺树脂组合物，其中，相对于100重量份聚酰亚胺树脂，含有10～50重量份该邻叠氮萘醌类似物。
10、根据权利要求1～9中任一项所述的感光性聚酰亚胺树脂组合物，其中，该邻叠氮萘醌类似物是用以下的化学结构式表示的邻叠氮萘醌衍生物的至少一种
11、根据权利要求1～10中任一项所述的感光性聚酰亚胺树脂组合物，其中，进一步含有有机溶剂，形成其溶液。
12、具有聚酰亚胺正型图案的挠性印刷电路的制造方法，其特征在于在挠性印刷电路上使权利要求1～11中任一项所述的感光性聚酰亚胺树脂组合物成膜，对于所得的感光性聚酰亚胺树脂膜，通过照射邻叠氮萘醌类似物分解的光，形成潜像，在弱碱性水溶液中正型显影，从而除去感光性聚酰亚胺树脂膜的曝光部分，形成感光性聚酰亚胺树脂的正型图案，之后进行后烘处理。
全文摘要
本发明的目的在于为了使感光性聚酰亚胺树脂组合物低弹性率化并具有低翘曲性，即使在用二氨基聚硅氧烷类化合物或双(氨基苯甲酸酯)类化合物代替二胺成分的一部分时，也可以维持在常用的有机溶剂中的溶解性，使用弱碱性水溶液实现显影性。本发明的感光性聚酰亚胺树脂组合物含有聚酰亚胺树脂、氰尿酸三聚氰胺类似物和邻叠氮萘醌类似物，在弱碱性水溶液中可以正型显影且可溶于有机溶剂，所述聚酰亚胺树脂含有上式(1)的聚酰亚胺单元和式(2)或式(3)的聚酰亚胺单元；相对于100重量份聚酰亚胺树脂，含有5～50重量份氰尿酸三聚氰胺类似物。
文档编号C08L79/08GK101606103SQ20088000452
公开日2009年12月16日 申请日期2008年1月23日 优先权日2007年2月9日
发明者野村麻美子 申请人:索尼化学&信息部件株式会社