专利名称：含不饱和双键和肟酯基团的光聚合引发剂及含有该引发剂的光敏树脂组合物的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于光刻术的光敏树脂组合物引发剂，更具体地涉及一种分子中
含有至少一个不饱和双键和至少一个肟酯基团的光聚合弓I发剂。
背景技术：
光刻术是制作液晶显示设备和半导体设备最广泛使用的方法。用于光刻术的光敏 组合物主要由一种因其对UV光的敏感性而易于生成自由基的光化反应引发剂、一种含有 两个或多个不饱和双键的可交联化合物、一种可通过碱性水溶液显影而形成薄膜的聚合粘 合剂、一种溶剂和一种或多种添加剂构成。通常的光刻术方法包括下列步骤冲洗玻璃或硅 基底；以溶液形式施用光敏材料；真空干燥和在曝光之前干燥以除去溶剂；通过在曝光系 统中的光掩模进行UV曝光从而形成图案；用基于碱性水溶液的溶液除去未曝光部分从而 形成薄膜；和显影后在高温下烘烤以改进薄膜的耐热性和耐用性。在这些步骤中，曝光步骤 也可通过直接激光扫描或使用微镜或微距镜的数字曝光代替使用光掩模来进行。
光刻术方法的每一个步骤之后的残余物会降低设备性能和加速设备老化，从而引
起需要停止设备生产线进行周期性清洗的不便。特别地，当在显影后的烘烤步骤中在高达 18(TC的温度下加工薄膜时，各种挥发性物质会粘附在设备的内壁上。通常，液体形式的溶 剂易于随时间的推移不断蒸发，而不会留下残余物。以极少量使用的添加剂不太可能留下 残渣。然而，固体形式的光聚合引发剂与溶剂一起蒸发，并在设备内壁上再次固化，留下凝 胶或粉末形式的残余物。该固体残余物在随后的步骤中落到基底上，引起最终图案的缺陷。
近年来，已尝试增加光敏材料的敏感性以提高使用光刻术制作图案的生产率。提 高光敏树脂组合物中对UV光敏感的光聚合引发剂的含量被认为是最容易的方法。然而，来 自光聚合引发剂的不可避免的残余物使得图案的制作难于操作，这变成提高生产率的一个 障碍。 因此，需要一种在显影后的烘烤步骤中不易蒸发、几乎不留残余物的光聚合引发 剂。
发明内容
本发明的一个目标是提供一种在显影后的烘烤之后不留残余物的光聚合引发剂。
本发明的另一个目标是提供一种包含所述光聚合弓I发剂的光敏树脂组合物。
根据本发明的一个方面，提供了一种由式1或2表示的光聚合引发剂
<formula>formula see original document page 4</formula>
其中Rl和R2各自独立地为_CH3、 -C2H5、 -C3H7或_C6H5 ;
(2)<formula>formula see original document page 5</formula>其中R3、 R4和R5各自独立地为_CH3、 _C2H5、 _C3H7或_C6H5。 根据本发明的另一个方面，提供了一种光敏树脂组合物，所述光敏树脂组合物包 含(A) —种碱溶性的树脂粘合剂，(B) —种含有两个或多个不饱和丙烯酸键的可交联化合 物，(C) 一种光聚合引发剂，和(D) —种溶剂，其中所述光聚合引发剂(C)包含一种由式l表 示的化合物或一种由式2表示的化合物或式1和2的两种化合物
(1)<formula>formula see original document page 5</formula>
其中Rl和R2各自独立地为_CH3、 -C2H5、 -C3H7或_C6H5
(2)<formula>formula see original document page 5</formula>
其中R3、 R4和R5各自独立地为_CH3、 _C2H5、 _C3H7或_C6H5。 根据预期应用，本发明的光敏树脂组合物还可包含至少一种选自以下的添加剂
着色剂、固化促进剂、表面活性剂、溶剂、增粘剂、以及其他添加剂。
从下面对实施方案的描述连同附图中，本发明的这些和/或其他方面和优点将变 得明显且更易于被认识，其中 图1是显示使用实施例l-4和比较实施例1-6的光敏树脂组合物形成的薄膜的浊 度值的图。
具体实施例方式
本发明提供了一种由式1或2表示的光聚合引发剂
<formula>formula see original document page 5</formula>(1)
<formula>formula see original document page 6</formula>
其中Rl和R2各自独立地为_CH3、 -C2H5、 -C3H7或_C6H5
(2) 其中R3、 R4和R5各自独立地为_CH3、 _C2H5、 _C3H7或_C6H5。 本发明还提供了一种光敏树脂组合物，所述光敏树脂组合物包含(A) —种碱溶性 树脂粘合剂，(B) —种含有两个或多个不饱和丙烯酸键的可交联化合物，(C) 一种光聚合引 发剂，和(D) —种溶剂，其中所述光聚合引发剂(C)包含一种由式l表示的化合物或一种由 式2表示的化合物或式1和2的两种化合物
(1)<formula>formula see original document page 6</formula>
<formula>formula see original document page 6</formula>
其中Rl和R2各自独立地为_CH3、 -C2H5、 -C3H7或_C6H5
(2) 其中R3、 R4和R5各自独立地为_CH3、 _C2H5、 _C3H7或_C6H5。 只要不损害本发明的效果，所述光聚合引发剂(C)可为式1或2的化合物与一种 或多种其他光聚合引发剂的混合物。即，所述光聚合引发剂(C)不必仅由式1或2的化合 物构成。 这样的另外的光聚合引发剂的实例包括三嗪化合物，如2，4-三氯甲基-(4'-甲氧 基苯基)-6-三嗪、2，4-三氯甲基-(4'-甲氧基苯乙烯基)-6-三嗪、2，4-三氯甲基-(胡 椒基)-6-三嗪、2，4-三氯甲基-(3'，4' -二甲氧基苯基)-6-三嗪、3-{4-[2，4-二 (三氯 甲基)-均三嗪-6-基]苯硫基}丙酸、2， 4-三氯甲基-(4'-乙基联苯基)-6-三嗪和2， 4_三氯甲基_ (4'-甲基联苯基)-6-三嗪；二咪唑化合物，如2， 2' - 二 (2-氯苯基)-4， 4'， 5，5'-四苯基二咪唑和2，2'-二 (2，3-二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基二咪唑；苯乙酮化合 物，如2-羟基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮、1- (4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙-1-酮、 4-(2-羟基乙氧基)-苯基(2-羟基)丙基酮、l-羟基环己基苯基酮、2，2-二甲氧基-2-苯 基苯乙酮、2-甲基-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉基-l-丙-l-酮(Irgacure-907)和2_苯甲 基-2-二甲基氨基-l-(4-吗啉基苯基)-丁-l-酮(Irgacure-369) ;O-酰基月亏化合物，如 Irgacure OXE 01和IrgacureOXE 02，二者均可从Ciba Geigy商购获得；二苯甲酮化合物， 如4，4'-二 (二甲基氨基)二苯甲酮和4，4'-二 (二乙基氨基)二苯甲酮；噻吨酮化合物， 如2，4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、异丙基噻吨酮和二异丙基噻吨酮；氧化膦化合物，如2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、二 (2，6-二甲氧基苯甲酰基)-2，4，4-三甲基戊基氧化 膦和二 (2，6-二氯苯甲酰基)丙基氧化膦；和香豆素化合物，如3，3'-羰基乙烯基-7-(二 乙基氨基)香豆素、3-(2-苯并噻唑基)-7-(二乙基氨基)香豆素、3-苯甲酰基-7-(二乙基 氨基)香豆素、3_苯甲酰基-7-甲氧基-香豆素和10， 10'-羰基二 [1， 1， 7， 7-四甲基-2， 3， 6， 7-四氢-IH， 5H， 11H-C1]-苯并吡喃基[6， 7， 8_i j]-喹嗪-11-酮。
所述碱溶性树脂粘合剂(A)没有任何特殊结构要求，只要其可由于分子中存在有 机酸基团而能显影形成薄膜即可。例如，所述碱溶性树脂粘合剂(A)可为由摩尔比为7 : 3 的甲基丙烯酸苯甲酯和甲基丙烯酸进行自由基聚合制备的分子量为20,000的聚合物。对 碱溶性树脂粘合剂(A)的分子量和制备方法没有特殊限制。 所述可交联化合物(B)可与至少一种含有两个或多个不饱和丙烯酸键的可交联 化合物混合。任意已知的可交联化合物均可与可交联化合物(B)混合，所述可交联化合物 的实例包括通过酯化至少一种多元醇与一种a， P-不饱和羧酸而制备的化合物，所述多 元醇选自乙二醇二 (甲基)丙烯酸酯、具有2至14个亚乙基的聚乙二醇二 (甲基)丙烯 酸酯、三羟甲基丙烷二 (甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三 (甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、2-三丙烯酰氧基甲基乙基邻苯二甲酸、 具有2至14个亚丙基的丙二醇二 (甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二 季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、以及二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯和二季戊四醇六(甲 基)丙烯酸酯的酸改性产物的混合物(T0-2348和T0-2349, Toagosei Co. ， Ltd. ， J即an); 通过向至少一种选自三羟甲基丙烷三縮水甘油基醚丙烯酸加合物和双酚A二縮水甘油基 醚丙烯酸加合物的含縮水甘油基的化合物中添加(甲基)丙烯酸而制备的化合物；和至少 一种含一个羟基或一个乙烯型不饱和键的化合物与至少一种选自多价羧酸的酯化合物和 聚异氰酸酯的酯的加合物，所述含一个羟基或一个乙烯型不饱和键的化合物选自P-羟基 乙基(甲基)丙烯酸酯的邻苯二甲酸二酯和P-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯的甲苯二异氰 酸酯加合物。如果需要，可向所述可交联化合物中加入二氧化硅分散体以改进最终薄膜的 机械强度。市售的二氧化硅分散体有NanocrylXP系列0596、 1045和21/1364，和Nanopox XP系列0516和0525，这些均由Hanse Chemie GmbH出售。 任选地，本发明的光敏树脂组合物还可包含至少一种添加剂，所述添加剂选自着 色剂、固化促进剂、热聚合抑制剂、增塑剂、表面活性剂、溶剂、增粘剂和填充剂。
着色剂可为颜料、染料及其混合物。黑色颜料的实例可为炭黑、石墨和金属氧化物 (例如，钛黑)。市售的炭黑产品有，例如SEAST5HIISAF-HS、 SEAST KH、 SEAST 3HHAF-HS、 SEAST NH、 SEAST3M、 SEAST 300HAF-LS、 SEAST 116HMMAF-HS、 SEAST 116MAF、 SEASTF MFEF-HS、SEAST S0FEF、SEAST VGPF、SEASTSVHSRF-HS和SEAST SSRF，其均由Tokai Carbon Co. ， Ltd.出售；DIAGRAM BLACK II、 DIAGRAM BLACK N339、 DIAGRAM BLACKSH、 DIAGRAM BLACK H、 DIAGRAM LH、 DIAGRAM HA、 DIAGRAM SF、 DIAGRAM N550M、 DIAGRAM M、 DIAGRAM E、 DIAGRAM G、 DIAGRAM R、 DIAGRAM N760M、 DIAGRAM LR、 #2700、 #2600、 #2400、 #2350、 #2300、 #2200、 #1000、 #980、 #900、 MCF88、 #52、 #50、 #47、 #45、 #45L、 #25、 #CF9、 #95、 #3030、 #3050、 MA7、 MA77、 MA8、 MAll、 MAIOO、 MA40、 0IL7B、 0IL9B、 0IL11B、 0IL30B和0IL31B，其均由 Mitsubishi Chemical Corp.出售；PRINTEX-U、 PRINTEX-V、 PRINTEX-140U、 PRINTEX-140V、 PRI證X-95、 PRI證X-85、 PRI證X-75、 PRI證X-55、 PRI證X-45、 PRI證X-300、
7PRINTEX-35、 PRINTEX-25、 PRINTEX-200、 PRINTEX-40、 PRINTEX-30、 PRINTEX-3、 PRINTEX-A、 SPECIAL BLACK_550、 SPECIAL BLACK_350、 SPECIAL BUVCK-250、 SPECIAL BUVCK-IOO 和LAMP BLACK-101 ，其均由Degussa出售；禾P RAVEN-IIOOULTRA、 RAVEN-1080ULTRA、 RAVEN-1060ULTRA、 RAVEN-1040、 RAVEN-1035、 RAVEN-1020、 RAVEN-1000、 RAVEN-890H、 RAVEN-890、 RAVEN-880ULTRA、 RAVEN-860ULTRA、 RAVEN-850、 RAVEN-820、 RAVEN-790ULTRA、 RAVEN-780ULTRA、 RAVEN-760ULTRA、 RAVEN-520、 RAVEN-500、 RAVEN-460、 RAVEN-450、 RAVEN-430ULTRA、 RAVEN-420、 RAVEN-410、 RAVEN-2500ULTRA、 RAVEN-2000、 RAVEN-1500、 RAVEN-1255、 RAVEN-1250、 RAVEN-1200、 RAVEN-1190ULTRA和RAVEN-1170，其均由Colombia Carbon Co.出售。这些炭黑产品可单独地或作为混合物使用。可产生颜色的着色剂的实 例包括胭脂红6B(C. I. 12490);酞菁绿(C. I. 74260);酞菁蓝(C. I. 74160);菲黑(BASF K0084和K0086);花青黑；雷奥诺尔黄(Lionol Yellow) (C. I. 21090);雷奥诺尔黄GRO(C. 1.21090);联苯胺黄4T-564D ;维多利亚艳蓝(Victoria Pure Blue) (C. I. 42595) ;C. I.颜 料红3、23、97、108、122、139、140、141、142、143、144、149、166、168、175、177、180、185、189、 190、192、202、214、215、220、221、224、230、235、242、254、255、260、262、264和272 ;C. I.颜 料绿7和36 ;C. I.颜料蓝15:1、15:3、15:4、15:6、16、22、28、36、60和64 ;C. I.颜料黄13、 14、35、53、83、93、95、110、120、138、139、150、151、154、175、180、181、185、194和213; 和 C.I.颜料紫15、19、23、29、32和37。也可使用白色颜料和荧光颜料。酞菁络合物可为除了 铜之外还含有锌作为金属中心的那些络合物。 固化促进剂可为本领域中已知的那些，其实例包括2-巯基苯并咪唑、2_巯基苯并 噻唑、2-巯基苯并噁唑、2， 5- 二巯基-1 ， 3， 4-噻二唑、2-巯基-4， 6- 二甲基氨基吡啶、季戊 四醇四(3-巯基丙酸酯)、季戊四醇三(3-巯基丙酸酯)、季戊四醇四(2-巯基乙酸酯)、季 戊四醇三(2-巯基乙酸酯)、三羟甲基丙烷三(2-巯基乙酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基 丙酸酯)、三羟甲基乙烷三(2-巯基乙酸酯)和三羟甲基乙烷三(3-巯基丙酸酯)。这些固 化促进剂可单独地或以其两种或多种的混合物使用。 热聚合抑制剂可为本领域中已知的那些。合适的热聚合抑制剂的实例有对苯甲 醚、对苯二酚、邻苯二酚、叔丁基邻苯二酚、N-亚硝基苯胲铵盐、N-亚硝基苯胲铝盐和吩噻 嗪。这些热聚合抑制剂可单独地或以其两种或多种的混合物使用。
增塑齐U、增粘齐U、填充剂和表面活性剂可为用于常规光敏树脂组合物的那些。
溶剂(D)可选自，但不限于，甲基乙基酮、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、乙二醇二甲 醚、乙二醇二乙醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇甲 基乙基醚、2-乙氧基丙醇、2-甲氧基丙醇、3-甲氧基丁醇、环己酮、环戊酮、丙二醇甲基醚乙 酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯、 甲基溶纤剂乙酸酯、乙酸丁酯、二丙二醇单甲基醚、及其混合物。 本发明的光敏树脂组合物是透明的，并可通过任意合适的方法如辊涂、帘涂 (curtain coating)、旋涂、狭缝模具涂布(slot die coating)、印刷或浸涂施用于合适的 载体如金属、纸张、玻璃或塑料基底。在所述光敏树脂组合物施用于载体(例如膜)之后， 涂层可转移至另一载体。对光敏树脂组合物的施用方法没有特殊限制。
本发明的光敏树脂组合物可在合适的光源，例如发射出250至450nm波长的光的 荥蒸汽、碳弧或氤(Xe)弧下固化。
8
以光敏树脂组合物的总重量为基准，所述碱溶性树脂粘合剂(A)、可交联化合物 (B)和光聚合引发剂(C)优选分别以1至20重量％、1至30重量％和0. 1至5重量％的 量使用。以光敏树脂组合物的总重量为基准，优选限制光聚合引发剂(C)的含量低于5重 量％，所述光聚合引发剂(C)可为式1或2的化合物或其与一种或多种其他光聚合引发剂 的混合物。以光敏树脂组合物的总重量为基准，溶剂可以10至95重量％的量使用。以本 发明的光敏树脂组合物的总重量为基准，该光敏树脂组合物优选包含0. 5至20重量％的着 色剂和0. 01至5重量％的其他添加剂。 本发明的光敏树脂组合物可用于多种应用，优选为用于制备薄膜晶体管_液晶显 示器(TFT-LCD)滤色片的颜料分散体型光致抗蚀剂、用于形成TFT-LCD或有机发光二极管 的黑色矩阵的光致抗蚀剂、用于形成外涂层的光致抗蚀剂、以及用于形成柱隔离物的光致 抗蚀剂。本发明的光敏树脂组合物也可用于光固化涂料、光固化油墨、光固化粘合剂、印刷 板、用于印制线路板的光致抗蚀剂、其他透明光致抗蚀剂等。此外，本发明的光敏树脂组合 物可用于制作PDP。 在下文中，将参照下列实施例，包括合成实施例，更详细地解释本发明。然而，这些 实施例仅为说明目的给出，并非意欲限制本发明。
实施例
实施例1 将作为碱溶性树脂粘合剂的8重量％的甲基丙烯酸苯甲酯/甲基丙烯酸(摩尔 比7/3， Mw :24， 000)、作为含两个或多个不饱和丙烯酸键的可交联化合物的8重量％的二 季戊四醇六丙烯酸酯、作为光聚合引发剂的2重量％的式1化合物(Rl、 R2 = CH3)、和作为 溶剂的82重量％的PGMEA在混合器中混合3小时。用5微米过滤器过滤所述混合物从而 获得光敏树脂组合物。 通过旋涂、狭缝涂布、浸涂或刮涂(doctor blading)将所述光敏树脂组合物涂于 玻璃基底(8cm(宽)X8cm(长))从而形成均匀薄膜。所述薄膜在IO(TC下预烘200秒以除 去溶剂。预烘之后，薄膜厚度约10mm。将所述薄膜通过光掩模在曝光能量为100mJ/cn^的 高压汞灯下曝光，使用喷雾器在23t:下用0. 04% KOH水溶液显影，用去离子水冲洗，以及高
压干燥空气干燥。 生成的薄膜置于设置为20(TC的热板上，并将透明玻璃基底置于所述薄膜上方约 lcm处。 一小时后，测量放在上方的玻璃基底的浊度。
实施例2 以与实施例1中相同的方法制备光敏树脂组合物，不同之处在于使用式2化合物 (R3、 R4、 R5 = -CH3)代替式1化合物(Rl、 R2 = CH3)。根据实施例1中描述的过程使用所 述光敏树脂组合物形成薄膜。测量所述薄膜的浊度。
实施例3 以与实施例1中相同的方法制备光敏树脂组合物，不同之处在于使用式1化合物 (Rl =苯基(-C6H5) ， R2 = -CH3)代替式1化合物(Rl、 R2 = CH3)。根据实施例1中描述的
过程使用所述光敏树脂组合物形成薄膜。测量所述薄膜的浊度。
实施例4 以与实施例1中相同的方法制备光敏树脂组合物，不同之处在于使用式2化合物(R4 =苯基(-C6H5) ，R3、R5 = -CH3)代替式1化合物(R1、R2 = CH3)。根据实施例1中描述的过程使用所述光敏树脂组合物形成薄膜。测量所述薄膜的的浊度。
比较实施例1 以与实施例1中相同的方法制备光敏树脂组合物，不同之处在于使用Irgacure907(Ciba Geigy)代替式1化合物(Rl、 R2 = CH3)。根据实施例1中描述的过程使用所述光敏树脂组合物形成薄膜。测量所述薄膜的浊度。
比较实施例2 以与实施例1中相同的方法制备光敏树脂组合物，不同之处在于使用Irgacure369(Ciba Geigy)代替式1化合物(Rl、 R2 = CH3)。根据实施例1中描述的过程使用所述光敏树脂组合物形成薄膜。测量所述薄膜的浊度。
比较实施例3 以与实施例1中相同的方法制备光敏树脂组合物，不同之处在于使用Irgacure0XE-01(Ciba Geigy)代替式1化合物(R1、R2 = CH3)。根据实施例1中描述的过程使用所述光敏树脂组合物形成薄膜。测量所述薄膜的浊度。
比较实施例4 以与实施例1中相同的方法制备光敏树脂组合物，不同之处在于使用Irgacure0XE-02(Ciba Geigy)代替式1化合物(R1、R2 = CH3)。根据实施例1中描述的过程使用所述光敏树脂组合物形成薄膜。测量所述薄膜的浊度。
比较实施例5
<formula>formula see original document page 10</formula>
以与实施例1中相同的方法制备光敏树脂组合物，不同之处在于使用式3的化合物代替式1化合物(Rl、 R2 = CH3)。根据实施例1中描述的过程使用所述光敏树脂组合物形成薄膜。测量所述薄膜的浊度。
比较实施例6
<formula>formula see original document page 10</formula>
以与实施例1中相同的方法制备光敏树脂组合物，不同之处在于使用式4的化合物代替式1化合物(Rl、 R2 = CH3)。根据实施例1中描述的过程使用所述光敏树脂组合物形成薄膜。测量所述薄膜的浊度。 实施例1-4和比较实施例1-6中形成的薄膜的浊度值示于表1和图1中。
表1试样浊度(％)
实施例10
实施例21
实施例30
实施例41
比较实施例115
比较实施例210
比较实施例37
比较实施例43
比较实施例57
比较实施例65 与实施例1-4中使用的光聚合引发剂一样，比较实施例5和6中使用的式3和4的每一种化合物包含一个不饱和双键。然而，与实施例1-4的光敏树脂组合物不同，比较实施例5和6的光敏树脂组合物没有显示出需要的效果，因为与各自的肟酯基团相邻的不饱和双键容易断裂。 从这些结果中可以得出结论在光刻术中使用实施例1-4的组合物降低了显影后的烘烤过程中挥发性残余物的形成。 从上述内容容易看出，在通过光刻术制作图案中使用本发明的光敏树脂组合物，降低了曝光前的干燥或显影后的烘烤过程中残余物的形成，使图案的制作易于操作。
1权利要求
一种由式1或2表示的光聚合引发剂其中R1和R2各自独立地为-CH3、-C2H5、-C3H7或-C6H5；其中R3、R4和R5各自独立地为-CH3、-C2H5、-C3H7或-C6H5。F2009102094873C0000011.tif,F2009102094873C0000012.tif
1.
2. —种光聚合引发剂，其包含一种由式1表示的化合物或一种由式2表示的化合物或 式1和2的两种化合物<formula>formula see original document page 2</formula>(1)其中Rl和R2各自独立地为<formula>formula see original document page 2</formula>其中R3、 R4和R5各自独立地为_CH3、 _C2H5、 _C3H7或_C6H5。
3. —种光敏树脂组合物，其包含(A) —种碱溶性树脂粘合剂，(B) —种含有两个 不饱和丙烯酸键的可交联化合物，(C) 一种光聚合引发剂，和(D) —种溶剂，其中所述光聚 合引发剂(C)包含一种由式1表示的化合物或一种由式2表示的化合物或式1和2的两种 化合物<formula>formula see original document page 2</formula>(1)其中Rl和R2各自独立地为_CH3、 -C2H5、 -C3H7或_C6H5 ;<formula>formula see original document page 2</formula>其中R3、 R4和R5各自独立地为_CH3、 _C2H5、 _C3H7或_C6H5。
4.权利要求3的光敏树脂组合物，其中所述组合物包含1至20重量％的碱溶性树脂粘合剂(A) ， 1至30重量％的可交联化合物(B) ，0. 1至5重量％的光聚合引发剂(C)，和余量 的有机溶剂(D)。
5.权利要求3的光敏树脂组合物，其中所述碱溶性树脂粘合剂(A)是含有有机酸基团 的一种聚合物。
6.权利要求3的光敏树脂组合物，其中所述可交联化合物(B)选自通过酯化至少一种 多元醇与一种a ， P-不饱和羧酸而制备的化合物，所述多元醇选自乙二醇二 (甲基)丙 烯酸酯、含有2至14个亚乙基的聚乙二醇二 (甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二 (甲基) 丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四 (甲基)丙烯酸酯、2_三丙烯酰氧基甲基乙基邻苯二甲酸、含有2至14个亚丙基的丙二醇 二 (甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、 以及二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯和二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯的混合物；通过向 至少一种选自三羟甲基丙烷三縮水甘油基醚丙烯酸加合物和双酚A 二縮水甘油基醚丙烯 酸加合物的含縮水甘油基的化合物中添加(甲基)丙烯酸而制备的化合物；至少一种含羟 基或乙烯型不饱和键的化合物与至少一种选自多价羧酸的酯化合物和聚异氰酸酯的酯的 加合物，所述含羟基或乙烯型不饱和键的化合物选自P-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯的邻 苯二甲酸二酯和P-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯的甲苯二异氰酸酯加合物；及其混合物。
7. 权利要求3的光敏树脂组合物，其中所述溶剂(D)选自甲基乙基酮、甲基溶纤剂、 乙基溶纤剂、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、二甘醇二甲醚、 二甘醇二乙醚、二甘醇甲基乙基醚、2-乙氧基丙醇、2-甲氧基丙醇、3-甲氧基丁醇、环己酮、 环戊酮、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、3-乙氧基丙酸乙 酯、乙基溶纤剂乙酸酯、甲基溶纤剂乙酸酯、乙酸丁酯、二丙二醇单甲基醚、及其混合物。
8. 权利要求3的光敏树脂组合物，其还包含至少一种添加剂，所述添加剂选自着色剂、 固化促进剂、热聚合抑制剂、增塑剂、增粘剂、填充剂和表面活性剂。
全文摘要
提供了一种光聚合引发剂。所述光聚合引发剂分子中含有至少一个不饱和双键和至少一个肟酯基团。所述光聚合引发剂包含一种由式1或2表示的化合物其中R1和R2各自独立地为-CH3、-C2H5、-C3H7或-C6H5；其中R3、R4和R5各自独立地为-CH3、-C2H5、-C3H7或-C6H5。还提供了一种包含所述光聚合引发剂的光敏树脂组合物。在光刻术中使用所述光敏树脂组合物降低了显影后的烘烤过程中挥发性残余物的形成。
文档编号C08F2/48GK101735344SQ20091020948
公开日2010年6月16日 申请日期2009年11月4日 优先权日2008年11月5日
发明者R·卡巴施, 吴东宫, 李健雨, 李昌淳, 赵昌镐, 郭尚圭, 金星炫 申请人:株式会社Lg化学