非感光性树脂组合物的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及非感光性树脂组合物、以及由该非感光性树脂组合物形成的固化膜、 保护膜、平坦化膜和微透镜。本发明的非感光性树脂组合物为不含有醌重氮化合物等感光 剂的组合物，本发明的非感光性树脂组合物中包含的自交联性共聚物，不伴有交联剂而共 聚物彼此热交联，形成固化膜。
【背景技术】
[0002] 液晶显示器、（XD/CMOS图像传感器等电子器件，在其制造工序中，进行暴露于溶 剂、或者酸或碱溶液等药液的处理，和/或进行溅射、干蚀刻、焊料回流等暴露于高温的处 理。为了防止由于这样的处理而元件发生劣化或损伤，而在元件上形成对这样的处理具有 耐性的固化膜作为保护膜。对这样的保护膜要求耐化学性、高透明性、耐热性等。
[0003] 在滤色器那样的形成有凹凸的表面上形成上述固化膜的情况下，从稍后接下来的 工序中的工艺裕量的确保、器件特性的均匀性的确保等观点出发，需要平坦化性高的固化 膜。此外，也进行了由这样的固化膜来制作微透镜。
[0004] 作为(XD/CMOS图像传感器用微透镜的制作方法之一，已知回蚀法（专利文献1和 专利文献2)。即，在滤色器上所形成的微透镜用树脂层上形成抗蚀剂图案，通过热处理使该 抗蚀剂图案回流，从而形成透镜图案。将使该抗蚀剂图案回流而形成的透镜图案作为蚀刻 掩模对下层的微透镜用树脂层进行回蚀，将透镜图案形状转印至微透镜用树脂层来制作微 透镜。
[0005] 例如专利文献3~专利文献5中公开了微透镜形成所使用的树脂组合物。然而， 都是感光性（放射线敏感性）树脂组合物，可以说不是适合于通过上述回蚀法形成微透镜 的材料。
[0006] 现有技术文献
[0007] 专利文献
[0008] 专利文献1 :日本特开平1-10666号公报
[0009] 专利文献2 :日本特开平6-112459号公报
[0010] 专利文献3 :日本特开2006-251464号公报
[0011] 专利文献4 :日本特开2007-033518号公报
[0012] 专利文献5 :日本特开2007-171572号公报
【发明内容】
[0013] 发明所要解决的课题
[0014] 本发明是基于上述情况而提出的，其目的在于提供可以形成具有优异的耐化学 性、耐热性、透明性和平坦化性的固化膜的树脂组合物。此外，本发明的其它目的在于提供 具有优异的耐化学性、耐热性和透明性的微透镜。
[0015] 用于解决课题的方法
[0016] 本发明人等为了解决上述课题而进行了深入研宄，结果完成本发明。即，本发明为 一种非感光性树脂组合物，其含有：具有下述式（1)和式（2)所示的结构单元的自交联性共 聚物、和溶剂。
【主权项】
1. 一种非感光性树脂组合物，其含有：具有下述式（1)和式（2)所示的结构单元的自 交联性共聚物、和溶剂，
式中，R°各自独立地表示氢原子或甲基，X表示-O-基或-NH-基，R1表示单键或碳原子 数1~6的亚烷基，R2表不碳原子数1~6的烷基，a表不1~5的整数，b表不0~4的 整数，且a和b满足I<a+b< 5,在b表示2、3或4的情况下，R2可以彼此不同，R3表示下 述式（I)、式（II)或式（III)所示的2价有机基团，在R3表示下述式（I)所示的2价有机 基团的情况下，该式（I)中的羰基与所述式（2)所示的结构单元的主链结合，R4表示具有环 氧基的有机基团，
式中，c表示0~3的整数，d表示1~3的整数，e各自独立地表示2~6的整数。
2. 根据权利要求1所述的非感光性树脂组合物，所述式（2)所示的结构单元为下述式 (2-1)或式（2-2)所示的结构单元，
式中，妒和R3与权利要求1中记载的定义含义相同。
3. 根据权利要求1或2所述的非感光性树脂组合物，所述自交联性共聚物为进一步具 有下述式（3)~式（6)所示的结构单元中的至少1种的共聚物，
式中，R°和R1与权利要求1中记载的定义含义相同，Y表示苯基、联苯基或萘基，该苯 基、该联苯基和该萘基的氢原子的一部分或全部可以被碳原子数1~10的烷基、碳原子数 1~10的烷氧基、羟基、氰基或卤代基取代，R5表示碳原子数1~20的直链状、支链状或环 状的烃基、苯基、联苯基、萘基、碳原子数1~10的烷氧基、苯氧基、联苯氧基或萘氧基，Z表 示碳原子数1~5的烷基、碳原子数5或6的环烷基、苯基或苄基，Z中的该烷基、该环烷基、 该苯基和该苄基的氢原子的一部分或全部可以被卤代基或羟基取代。
4. 根据权利要求1~3的任一项所述的非感光性树脂组合物，所述自交联性共聚物的 重均分子量为1，〇〇〇~100, 〇〇〇。
5. 根据权利要求1~4的任一项所述的非感光性树脂组合物，其进一步含有固化促进 剂。
6. 根据权利要求1~5的任一项所述的非感光性树脂组合物，其为保护膜用。
7. 根据权利要求1~5的任一项所述的非感光性树脂组合物，其为平坦化膜用。
8. 根据权利要求1~5的任一项所述的非感光性树脂组合物，其为微透镜用。
9. 一种固化膜，其是由权利要求1~5的任一项所述的非感光性树脂组合物获得的。
10. -种保护膜，其是由权利要求6所述的非感光性树脂组合物制作的。
11. 一种平坦化膜，其是由权利要求7所述的非感光性树脂组合物制作的。
12. -种微透镜，其是由权利要求8所述的非感光性树脂组合物制作的。
13. -种微透镜的制作方法，将权利要求8所述的非感光性树脂组合物涂布在基材上 进行烘烤而形成树脂膜，在所述树脂膜上形成抗蚀剂图案，通过加热处理使所述抗蚀剂图 案回流而形成透镜图案，将所述透镜图案作为掩模对所述树脂膜进行回蚀来将该透镜图案 的形状向该树脂膜转印。
14. 根据权利要求13所述的微透镜的制作方法，所述基材为形成有滤色器的基板。
【专利摘要】本发明的课题是提供热固性的非感光性树脂组合物。作为解决本发明课题的方法为一种非感光性树脂组合物，其含有：具有下述式(1)和式(2)所示的结构单元的自交联性共聚物、和溶剂。(式中，R0各自独立地表示氢原子或甲基，X表示-O-基或-NH-基，R1表示单键或碳原子数1～6的亚烷基，R2表示碳原子数1～6的烷基，a表示1～5的整数，b表示0～4的整数，且a和b满足1≤a+b≤5，在b表示2、3或4的情况下，R2可以彼此不同，R3表示下述式(I)、式(II)或式(III)所示的2价有机基团，R4表示具有环氧基的有机基团。)(式中，c表示0～3的整数，d表示1～3的整数，e各自独立地表示2～6的整数。)。
【IPC分类】G02B1-04, C08F220-32, G02B3-00, C08F220-30, G02B5-20, C08G59-34, C08L33-14
【公开号】CN104718229
【申请号】CN201380054023
【发明人】坂口崇洋, 安达勲
【申请人】日产化学工业株式会社
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2013年10月4日
【公告号】EP2913352A1, WO2014065100A1