含酚羟基的化合物、含酚羟基的组合物、含(甲基)丙烯酰基的树脂、固化性组合物、其固化 ...的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及固化物中的耐热性优异的含（甲基）丙烯酰基的树脂、作为其原料的 含酚羟基的组合物、固化性组合物、其固化物、及抗蚀剂材料。
【背景技术】
[0002] 近年，电子设备的技术显著进步，集成电路的高密度化、高性能化快速发展。印刷 电路布线基板也相应地进行了高密度化、高布线化、部件的表面安装化，变得要求超过以往 的高精度、高性能。为了适应该集成电路的高密度化、高性能化，针对作为集成电路的主要 材料的阻焊剂进行了高性能化的研宄，但对于内部具有精密布线的积层基板等而言，存在 会在阻焊剂与封装树脂的界面产生被称为爆米花（popcorn)现象的裂纹的问题，进而要求 尚耐热性的阻焊剂。
[0003] 伴随集成电路的高集成化，作为线宽20nm以下的超细微图案化的手法，纳米压印 法受到了瞩目。若大致区分该纳米压印法，则可以分为热纳米压印法和光纳米压印法。对于 热纳米压印法而言，加热至玻璃化转变温度以上，对软化了的高分子树脂压制模具，冷却后 将模具脱模，由此将细微结构转印到基板上的树脂上，因此，能比较廉价地形成纳米图案， 期待在各种领域中的应用。然而，热纳米压印法中，由于需要通过加热使该高分子树脂软 化，所以难以使用具有高玻璃化转变温度的高分子树脂，近年来，难以在要求更高的耐热性 的电气/电子领域中应用。
[0004] 另一方面，通过光照射使组合物光固化的光纳米压印法中，在压制时不需要将进 行图案转印的模具材料加热，可以在室温下压印。应用于光纳米压印的光固化性树脂有自 由基聚合型和离子聚合型、以及它们的混合型，任一型的固化性组合物均能够用于纳米压 印用途，但从材料的选择范围广的方面出发，通常，自由基聚合型的光固化性组合物得到广 泛研宄。
[0005] 纳米压印法中，除了上述高集成的集成电路之外，在得到液晶显示器的薄膜晶体 管、液晶滤色器的保护膜、间隔物、其他液晶显示装置用构件的细微加工用途的永久膜时， 要求能够获得高机械特性、透明性、耐光性、耐热性的纳米压印用材料，特别是要求能够获 得高耐热性优异的固化物的材料。
[0006] 作为能够得到具有高耐热性的固化物、作为阻焊剂有用的材料，已知例如具有联 苯骨架的环氧（甲基）丙烯酸酯树脂（例如参见专利文献1)，但并不是具有近年要求的高 耐热性的材料。
[0007] 现有技术文献
[0008] 专利文献
[0009] 专利文献1 :日本特开平9-157340号公报
【发明内容】
[0010] 发明要解决的问题
[0011] 本发明要解决的课题在于提供一种耐热性优异、作为阻焊剂、薄膜晶体管、液晶滤 色器的保护膜、间隔物、其他液晶显示装置用构件的细微加工用途的永久膜有用的含（甲 基）丙烯酰基的树脂、作为其原料的含酚羟基的组合物、固化性组合物、其固化物、及抗蚀 剂材料用组合物。
[0012] 用于解决问题的方案
[0013] 本发明人等反复深入研宄，结果发现：使具有三苯基甲烷结构的含酚羟基的组合 物与醛化合物反应而得到的含（甲基）丙烯酰基的树脂在其固化物中具有非常高的耐热 性，从而完成了本发明。
[0014] 即，本发明提供一种含酚羟基的化合物，其具有下述通式（1)表示的分子结构，且 V、w、x、及Y的至少一者为羟基，另外，v、w、x、及Y的至少一者为（甲基）丙烯酰氧基。
【主权项】
1. 一种含酚羟基的化合物，其具有下述通式（1)表示的分子结构，且V、W、X、及Y的至 少一者为羟基，另外，V、W、X、及Y的至少一者为（甲基）丙烯酰氧基，
式（1)中，R1、R2及R3分别独立地为碳原子数1~8的烷基，m及n分别独立地为1~ 4的整数，p为O~4的整数，另外，V为氢原子、（甲基）丙烯酰氧基或羟基，W、X及Y分别 独立地为（甲基）丙烯酰氧基或羟基。
2. 根据权利要求1所述的含酚羟基的化合物，其具有下述通式（2)表示的分子结构，且 W、X及Y的至少一者为羟基，另外，W、X及Y的至少一者为（甲基）丙烯酰氧基，
式（2)中，R1、R2及R3分别独立地为碳原子数1~8的烷基，m及n分别独立地为1~ 4的整数，p为O~4的整数，另外，W、X、及Y分别独立地为（甲基）丙烯酰氧基或羟基。
3. 根据权利要求1所述的含酚羟基的化合物，其通过使含酚羟基的芳香族醛（a2)与 (甲基）丙烯酰卤（0)反应而得到下述通式⑷表示的反应物（Y)，然后使反应物（Y) 与烷基取代酚（al)缩聚而得到，
式⑷中，R3为碳原子数1~8的烷基，p为O~4的整数，R4为氢原子或甲基。
4. 一种含酚羟基的组合物，其含有多种下述通式（1)表示的含酚羟基的化合物，每1分 子中的（甲基）丙烯酰氧基的平均数为〇. 5~2. 5个的范围，
式（1)中，R1、R2及R3分别独立地为碳原子数1~8的烷基，m及n分别独立地为1~ 4的整数，p为O~4的整数，另外，V为氢原子、（甲基）丙烯酰氧基或羟基，W、X及Y分别 独立地为（甲基）丙烯酰氧基或羟基。
5. -种固化性组合物，其含有权利要求1~3中任一项所述的含酚羟基的化合物。
6. -种固化物，其是使权利要求5所述的固化性组合物聚合而形成的。
7. -种抗蚀剂材料，其包含权利要求5所述的固化性组合物。
8. -种含（甲基）丙烯酰基的树脂，其是使权利要求1~3中任一项所述的含酚羟基 的化合物或权利要求4所述的含酚羟基的组合物与醛化合物反应而得到的。
9. 一种固化性组合物，其含有权利要求8所述的含（甲基）丙烯酰基的树脂。
10. -种固化物，其是使权利要求9所述的固化性组合物聚合而形成的。
11. 一种抗蚀剂材料，其包含权利要求9所述的固化性组合物。
【专利摘要】提供一种耐热性优异的含(甲基)丙烯酰基的树脂、及作为其原料的含酚羟基的组合物。所述含酚羟基的组合物具有下述通式(1)(式中，R1、R2及R3分别独立地为碳原子数1～8的烷基，m及n分别独立地为1～4的整数，p为0～4的整数。另外，V为氢原子、(甲基)丙烯酰氧基或羟基，W、X及Y分别独立地为(甲基)丙烯酰氧基或羟基。)表示的分子结构，V、W、X、及Y的至少一者为羟基，另外，V、W、X、及Y的至少一者为(甲基)丙烯酰氧基。
【IPC分类】C08G8-30, C08F20-30, C07C67-14, C07C69-54, G03F7-027, C07C67-297, C08F299-02
【公开号】CN104822715
【申请号】CN201380062340
【发明人】申东美, 今田知之, 鹿毛孝和
【申请人】Dic株式会社
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2013年11月20日
【公告号】US20150274636, WO2014084097A1