构件的临时固定/剥离方法及适于其的临时固定用胶粘剂的制作方法

文档序号:3738742阅读:223来源:国知局
专利名称:构件的临时固定/剥离方法及适于其的临时固定用胶粘剂的制作方法
技术领域
本发明涉及加工各种构件时的临时固定/剥离方法,还涉及适于该方法的临时固 定用的临时固定用胶粘剂。例如,涉及在加工光学构件时临时固定该构件的方法及剥离方 法和适于该用途的光固性临时固定用胶粘剂。
背景技术
作为光学透镜、棱镜、阵列、硅晶片、半导体安装构件等的临时固定用胶粘剂,使用 双面胶带或热熔系胶粘剂,将用这些胶粘剂接合或层叠的构件切削加工为规定的形状后, 除去胶粘剂,制造加工构件。例如,在半导体安装构件中,将这些构件用双面胶带固定在基 材上后,切削加工成所需的构件,进而通过对双面胶带照射紫外线来进行从构件上的剥离。 另外,在热熔系胶粘剂的情况下,接合构件后,通过加热使胶粘剂渗透到间隙中后,切削加 工成所需的构件,在有机溶剂中进行胶粘剂的剥离。但是,在双面胶带的情况下存在如下问题难以得到尺寸精度,或由于胶粘强度低 而导致构件加工时切割性(★ 7 e > 7性)差,或不加热到100°C以上就不能剥离。在利用 紫外线照射使其剥离的情况下,存在当被粘物的透射性不足时不能剥离的问题。在使用热熔系胶粘剂的情况下,剥离时需要使用有机溶剂,碱性溶液或卤素系有 机溶剂的清洗处理工序繁杂,此外,作业环境也成为问题。为了解决这些缺陷,提出了含有水溶性乙烯基单体等水溶性化合物的临时固定用 的光固型或加热型胶粘剂。使用这些胶粘剂的临时固定方法中,解决了在水中的剥离性,但 相对于此,存在构件固定时的胶粘强度低、切削加工后的构件的尺寸精度不足的问题。另外,提出了一种临时固定用胶粘剂,其通过使用特定的亲水性高的(甲基)丙烯 酸酯来改善胶粘性,同时利用溶胀或部分溶解来改善剥离性。该临时固定用胶粘剂,在切削 加工时,产生构件与刀片或金刚石切割器等切削工具的摩擦热,因此需要用大量的水使其 进行冷却。上述的亲水性高的组合物存在如下问题由于切削时固化物溶胀而变柔软,因 此,不能达到更高的尺寸精度。另外,由于剥离的构件上部分溶解的固化物胶糊残留,因此 外观方面出现问题(参照专利文献1、2、3)。专利文献1 日本特开平6-116534号公报专利文献2 日本特开平11-71553号公报专利文献3 日本特开2001-226641号公报

发明内容
为了改善切削加工后的构件的尺寸精度,期待疏水性、高胶粘强度、且在水中的剥 离性优异、剥离后构件上无胶糊残留的、在环境方面操作性也优异的临时固定/剥离方法 及适于该方法的临时固定用胶粘剂。本发明为了解决这些现有技术的课题而进行了各种研究,结果发现,通过具有从 固定构件和被加工构件中的一方或双方施加压力的工序,且将该施加压力的工序和该进行照射的工序至少同时实施一定时间,由此,加工时可以得到优异的尺寸精度,从而可以实现 本发明。S卩,本发明具有下述构成。(1) 一种临时固定方法,包括将临时固定用胶粘剂涂布到固定构件上的工序(以 下称为涂布工序)、将被加工构件搭载在临时固定用胶粘剂上的工序(以下称为搭载工 序)、和该搭载后对临时固定用胶粘剂照射可见光或紫外线中的至少一种来提高临时固定 用胶粘剂的胶粘力的工序(以下称为照射工序),还包括从固定构件和被加工构件中的一 方或双方施加压力的工序(以下称为加压工序),其中,将该施加压力的工序和该进行照射 的工序至少同时实施一定时间。(2) 一种临时固定方法,包括将临时固定用胶粘剂涂布到被加工构件上的工序 (以下称为涂布工序)、将固定构件搭载在临时固定用胶粘剂上的工序(以下称为搭载工 序)、和该搭载后对临时固定用胶粘剂照射可见光或紫外线中的至少一种来提高临时固定 用胶粘剂的胶粘力的工序,还包括从固定构件和被加工构件中的一方或双方施加压力的工 序(以下称为加压工序),其中,将该施加压力的工序和该进行照射的工序至少同时实施一 定时间。(3)如上述⑴或⑵所述的临时固定方法,其中,从固定构件和被加工构件中的 一方或双方施加的压力控制在lg/cm2以上且lOOOkg/cm2以下。(4)如上述⑴或(3)所述的临时固定方法,其中,将固定构件、临时固定用胶粘 剂、被加工构件中任一个以上控制在0°c以上且150°C以下。(5)如上述⑴至(4)中任一项所述的临时固定方法,其中,临时固定用胶粘剂为 含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)单官能(甲基)丙烯酸酯及(C)光聚合引发剂的 组合物。(6)如上述(5)所述的构件的临时固定方法,其中,㈧及⑶均为疏水性。(7)如上述⑴至(6)中任一项所述的临时固定方法,其中,临时固定用胶粘剂的 玻璃化转变温度为-50°C以上且50°C以下。(8)如上述(5)至(7)中任一项所述的临时固定方法,其中,临时固定用胶粘剂, 在㈧及⑶的总量100质量份中含有㈧1 90质量份、⑶10 99质量份,以及相对 于㈧及⑶的总量100质量份含有(C)O. 1 30质量份。(9)如上述(5)至⑶中任一项所述的临时固定方法,其中,临时固定用胶粘剂, 相对于㈧及⑶的总量100质量份含有不溶于㈧ (C)的粒状物质(D)O. 1 20质量 份。(10)如上述(9)所述的临时固定方法,其中,不溶于(A) (C)的粒状物质(D)的 形状为球状。(11)如上述(9)或(10)所述的临时固定方法,其中,不溶于㈧ (C)的粒状物 质(D)为交联聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交联聚苯乙烯粒子及交联聚甲基丙烯酸甲酯聚苯乙 烯共聚物粒子中的任一种或它们的混合物。(12)如上述(9)至(11)中任一项所述的临时固定方法,其中,不溶于㈧ (C) 的粒状物质(D)的平均粒径为5 μ m 200 μ m。(13)如上述(9)至(12)中任一项所述的临时固定方法,其中,将不溶于㈧ (C)的粒状物质⑶的利用激光衍射法测定的粒径(Pm)用对数表示时的粒子体积分布相对于 粒径的标准偏差在0. 0001 0. 25的范围。(14) 一种构件的临时固定/剥离方法,其中,包括对使用上述⑴至(13)中任 一项所述的临时固定方法进行临时固定的构件加工后,将该加工后的构件浸渍在100°c以 下的温水中,除去所述组合物的固化物。(15) 一种构件的临时固定/剥离方法,其中,包括对使用上述⑴至(13)中任 一项所述的临时固定方法进行临时固定的构件加工后,对临时固定用胶粘剂照射可见光或 紫外线,将该加工后的构件浸渍在100°C以下的温水中,除去所述组合物的固化物。(16)如上述(1)至(13)中任一项所述的临时固定方法,其中,可见光或紫外线的 照射量在波长365nm处为lmj/cm2 4000mJ/cm2的范围。(17)如上述(15)所述的临时固定/剥离方法,其特征在于,对该临时固定的构件 加工后照射的可见光或紫外线的照射量在波长365nm处为lOOOmJ/cm2 40000mJ/cm2的范围。(18)如上述(5)至(13)中任一项所述的临时固定方法,其中,(A)多官能(甲基) 丙烯酸酯含有多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物和/或二官能(甲基)丙烯酸酯单 体。(19)如上述(5)至(13)中任一项所述的临时固定方法,其中,(A)多官能(甲基) 丙烯酸酯含有多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物及二官能(甲基)丙烯酸酯单体。(20)如上述(18)或(19)所述的临时固定方法,其中,多官能(甲基)丙烯酸酯 低聚物/聚合物含有聚酯类聚氨酯(甲基)丙烯酸酯和/或聚醚类聚氨酯(甲基)丙烯酸(21)如上述(18)或(19)所述的临时固定方法,其中,二官能(甲基)丙烯酸酯单 体含有1,6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯和/或二(甲基)丙烯酸双环戊酯。(22)如上述(5)至(13)中任一项所述的临时固定方法,其中,⑶单官能(甲基) 丙烯酸酯含有苯酚环氧乙烷2摩尔改性(甲基)丙烯酸酯和/或2-(1,2-环六羧基酰亚 胺)乙基(甲基)丙烯酸酯。(23)如上述(5)至(13)中任一项所述的临时固定方法,其中,⑶单官能(甲基) 丙烯酸酯含有苯酚环氧乙烷2摩尔改性(甲基)丙烯酸酯及2-(1,2-环六羧基酰亚胺)乙 基(甲基)丙烯酸酯。(24)如上述(5)至(13)中任一项所述的临时固定方法,其中,(C)光聚合引发剂 含有选自苄基二甲基缩酮、氧基-苯基-乙酸2- [2-氧代-2-苯基-乙酸基-乙氧基]-乙 酯及氧基-苯基-乙酸2-[2-羟基-乙氧基]-乙酯中的1种或2种以上。本发明的临时固定方法中,通过将加压工序和照射工序至少同时实施一定时间, 在被加工构件的尺寸精度方面获得显著的效果。
具体实施例方式本发明中的涂布工序,将临时固定用胶粘剂涂布到固定构件上或将临时固定用胶 粘剂涂布到被加工构件上。在本涂布工序中,只要是公知的涂布工序,则可以使用任意方 法都没有限制,但优选为在进行固定的一方的固定构件或被加工构件的胶粘面上适量涂布胶粘剂的工序。胶粘剂的涂布量优选为0. 00000001 0. lmg/mm2、更优选为0. 000001 0. 001mg/mm2。进行适量涂布的方法只要是公知的方法就没有特别限制,例如,使用涂布机 的方法简便且准确,在生产率方面优选。本发明中的搭载工序,是在涂布工序后将被加工构件或固定构件搭载在涂布有临 时固定用胶粘剂的固定构件上或被加工构件上的临时固定用胶粘剂上的工序。在本搭载工 序中,只要是公知的方法就没有特别限制,例如,使用工业用机器人等自动搭载装置的工序 简便且准确,在改善生产率方面优选。在本发明的临时固定方法中,通过将固定构件、临时固定用胶粘剂、被加工构件中 任一个以上控制在0°C以上且150°C以下来实施,可以控制临时固定用胶粘剂的流动性。当 固定构件、临时固定用胶粘剂、被加工构件为0°C以上时,流动性优异,当其为150°C以下 时,临时固化用胶粘剂不会因热固化而聚合,尺寸精度优异。从流动性和尺寸精度的观点考 虑,优选为10°C以上且100°C以下、更优选为20°C以上且80°C以下。进而,进一步优选为 20°C以上且60°C以下。本发明的加压工序,优选从固定构件和被加工构件中的一方或双方施加压力的工 序,更优选以使固定构件与被加工构件的间隔均勻的方式从一方或双方施加压力的工序。 在本加压工序中,只要是公知的方法就没有特别限制,例如,优选使用真空压力机或加压机 进行加压的方法。本发明中的所谓均勻,是指固定构件与被加工构件的间隔的最大处减去最小处的 差值在40 μ m以下的范围内。如果在该范围,则加工被加工构件时获得良好的尺寸精度。 从尺寸精度的观点考虑,优选固定构件与被加工构件的间隔的最大处减去最小处的差值在 20 μ m以下的范围内,更优选在IOym以下的范围内,进一步优选在5μπι以下的范围内。另外,本发明的加压工序中,优选从固定构件和被加工构件中的一方或双方施加 lg/cm2以上且lOOOkg/cm2以下的压力来实施。只要固定构件与被加工构件的间隔均勻,则 即使对固定构件与被加工构件局部施加压力也没有问题,但从固定构件与被加工构件的间 隔的观点考虑,优选整体施加压力。施加的压力为lg/cm2以上的情况下,能够使固定构件与 被加工构件的间隔均勻,当其为lOOOkg/cm2以下时,固定构件或被加工构件不会受到损伤。 从固定构件与被加工构件的间隔的均勻性及损伤的观点考虑,优选为3g/cm2以上且800kg/ cm2以下,更优选为5g/cm2以上且500kg/cm2以下,进一步优选为lOg/cm2以上且300kg/cm2 以下。另外,在本发明中,需要对临时固定用胶粘剂照射可见光或紫外线中的任一种来 提高临时固定用胶粘剂的胶粘力的照射工序。作为在照射工序或后述的再照射工序中使 用的灯,只要是提高临时固定用胶粘剂的胶粘力的灯就没有特别限制,优选能够照射波长 365nm的紫外线的黑光灯、金属卤化物灯、高压水银灯、LED灯等。紫外线的波长优选为10 430nm、更优选为200 420nm、最优选为330 405nm。在本发明的照射工序中,可见光或紫外线的照射量在波长365nm处优选为ImJ/ cm2 4000mJ/cm2的范围。只要在该范围内,在对被加工构件进行加工时就可获得良好的尺 寸精度。从尺寸精度的观点考虑,优选在lOmJ/cm2 3000mJ/cm2的范围,更优选在IOOmJ/ cm2 2000mJ/cm2的范围,进一步优选在300mJ/cm2 1000mJ/cm2的范围。本发明中,优选在加压工序中至少同时实施照射工序一定时间。通过在加压工序中至少同时实施照射工序一定时间,可以使固定构件与被加工构件的间隔均勻,在被加工 构件的加工时的尺寸精度方面获得显著的效果。在此所谓的加工是指例如实施切割、研削、 抛光、开孔等使被加工构件成为所需的形状。在此所谓的一定时间,只要包含进行固化的时 间就没有特别限定。在可以使固定构件与被加工构件的间隔均勻方面出发,优选在预先实 施加压工序后,同时实施加压工序和照射工序。在本发明中,对被加工构件及固定构件的材质没有特别限制,但优选为由可以透 射紫外线或可见光的材料构成的构件。作为这类材质,可举出水晶构件、玻璃构件、塑料构 件等。作为在本发明中使用的(A)多官能(甲基)丙烯酸酯,可以使用在低聚物/聚合 物末端或侧链2个以上被(甲基)丙烯酰基化后的多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合 物或具有2个以上(甲基)丙烯酰基的单体。作为多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物,可举出1,2-聚丁二烯封端的聚 氨酯(甲基)丙烯酸酯(例如,日本曹达公司制造的“TE-2000”、“TEA-1000”)、上述的氢化 物(例如,日本曹达公司制造的“TEAI-1000”)、1,4-聚丁二烯封端的聚氨酯(甲基)丙烯 酸酯(例如,大阪有机化学公司制造的“BAC-45”)、聚异戊二烯封端的(甲基)丙烯酸酯、 聚酯类聚氨酯(甲基)丙烯酸酯(例如,日本合成公司制造的“UV-2000B”、“UV-3000B”、 “而-700( ”、根上工业公司制造的“1(朋-11”、“1(朋-17”)、聚醚类聚氨酯(甲基)丙烯酸酯 (例如,日本合成公司制造的“UV-3700B”、“UV-6100B”)、双A型环氧(甲基)丙烯酸酯等。 其中,在效果好的方面,优选聚酯类聚氨酯(甲基)丙烯酸酯和/或聚醚类聚氨酯(甲基) 丙烯酸酯、更优选聚酯类聚氨酯(甲基)丙烯酸酯。多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物的重均分子量优选为10000 60000、更 优选为13000 40000。重均分子量使用GPC系统(东曹公司制造的SC-8010)等,用市售 的标准聚苯乙烯作成标准曲线来求出。作为二官能(甲基)丙烯酸酯单体,可举出1,3_ 丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1, 4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9_壬二醇二(甲基)丙 烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸双环戊酯、2-乙基-2-丁基-丙 二醇(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇改性三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊 四醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、2,2_双甲基)丙烯酰氧基二乙氧基 苯基)丙烷、2,2_双甲基)丙烯酰氧基丙氧基苯基)丙烷、2,2_双甲基)丙烯 酰氧基四乙氧基苯基)丙烷、2-(1,2-环六羧基酰亚胺)乙基丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯 等。其中,在效果好的方面,优选1,6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯和/或二(甲基)丙烯 酸双环戊酯,更优选二(甲基)丙烯酸双环戊酯。作为三官能(甲基)丙烯酸酯单体,可举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、 三[(甲基)丙烯酰氧基乙基]异氰脲酸酯等。作为四官能以上的(甲基)丙烯酸酯单体,可举出二羟甲基丙烷四(甲基)丙烯 酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇乙氧基四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五 (甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。(A)多官能(甲基)丙烯酸酯,更优选为疏水性的多官能(甲基)丙烯酸酯。在 此所谓的疏水性是指难以溶解于水的性质或难以与水混合的性质。作为疏水性的多官能(甲基)丙烯酸酯,可举出例如1,3_ 丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4_ 丁二醇二(甲基) 丙烯酸酯、1,6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9_壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二 (甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸双环戊酯、2-乙基-2- 丁基-丙二醇(甲基)丙烯酸 酯、新戊二醇改性三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇二丙烯酸酯、聚 丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、2,2-双(甲基)丙烯酰氧基二乙氧基苯基)丙烷、2,2-双 (4-(甲基)丙烯酰氧基丙氧基苯基)丙烷、2,2_双甲基)丙烯酰氧基四乙氧基苯基) 丙烷、2-(1,2-环六羧基酰亚胺)乙基丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯等。作为疏水性的三官 能(甲基)丙烯酸酯单体,可举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三[(甲基)丙烯 酰氧基乙基]异氰脲酸酯等。作为疏水性的四官能以上的(甲基)丙烯酸酯单体,可举出 二羟甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇乙氧基四(甲 基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。在水 溶性的情况下,在切削加工时可能会由于树脂组合物的固化物溶胀而发生位置偏离,加工 时的尺寸精度变差,因此不优选。即使为亲水性,只要其组合物的固化物不会由于水而大大 溶胀或部分溶解,则也可以使用。在多官能(甲基)丙烯酸酯中,在效果好的方面,优选含有多官能(甲基)丙烯酸 酯低聚物/聚合物和/或二官能(甲基)丙烯酸酯单体,更优选并用多官能(甲基)丙烯 酸酯低聚物/聚合物和二官能(甲基)丙烯酸酯单体。并用多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物和二官能(甲基)丙烯酸酯单体的 情况下的含有比例,在多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物和二官能(甲基)丙烯酸 酯单体的合计100质量份中,以质量比计,优选多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物 二官能(甲基)丙烯酸酯单体=30 95 5 70、更优选为40 90 60 10、最优选 为 60 80 40 20。(A)多官能(甲基)丙烯酸酯的用量,在㈧及⑶的总量100质量份中,优选为 1 90质量份、更优选为30 85质量份。如果为1质量份以上,则可以充分促进将组合物 的固化物浸渍于温水中时从被粘物上剥离该固化物的性质(以下简称为“剥离性”),确保 组合物的固化物以膜状剥离。另外,如果为90质量份以下,则也不存在初始胶粘性下降的可能。作为⑶单官能(甲基)丙烯酸酯,可以使用单官能(甲基)丙烯酸酯单体。作 为单官能(甲基)丙烯酸酯单体,可举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲 基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸异辛 酯、(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙 烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸双环戊酯、(甲基)丙烯酸双环戊烯酯、 (甲基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、甲氧基化环癸三烯(甲基)丙 烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羟 基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸2-羟 基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、己内酯改性四氢糠基(甲基)丙烯酸酯、 (甲基)丙烯酸3-氯-2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸N,N-二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸 N,N-二乙氨基乙酯、(甲基)丙烯酸叔丁氨基乙酯、乙氧羰基甲基(甲基)丙烯酸酯、苯酚 环氧乙烷改性丙烯酸酯、苯酚(环氧乙烷2摩尔改性)丙烯酸酯、苯酚(环氧乙烷4摩尔改性)丙烯酸酯、对枯基苯酚环氧乙烷改性丙烯酸酯、壬基酚环氧乙烷改性丙烯酸酯、壬基酚 (环氧乙烷4摩尔改性)丙烯酸酯、壬基酚(环氧乙烷8摩尔改性)丙烯酸酯、壬基酚(环 氧丙烷2. 5摩尔改性)丙烯酸酯、2-乙基己基卡必醇丙烯酸酯、环氧乙烷改性邻苯二甲酸 (甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性琥珀酸(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三氟乙酯、丙烯 酸、甲基丙烯酸、马来酸、富马酸、ω-羧基-聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯、邻苯二甲酸单 羟乙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸二聚物、琥珀酸单(甲基)丙烯酰氧基乙基 酯、Ν_(甲基)丙烯酰氧基烷基六氢邻苯二甲酰亚胺、2-(1,2-环六羧基酰亚胺)乙基丙烯 酸酯等。(B)单官能(甲基)丙烯酸酯,更优选与㈧同样为疏水性的单官能(甲基)丙烯 酸酯。在此所谓的疏水性是指难以溶解于水的性质或难以与水混合的性质。所谓疏水性的 单官能(甲基)丙烯酸酯,可举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙 烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、(甲 基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸苯 酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸双环戊酯、(甲基)丙烯酸双环戊烯酯、(甲基) 丙烯酸双环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、甲氧基化环癸三烯(甲基)丙烯酸酯、 (甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸缩水 甘油酯、己内酯改性四氢糠基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸3-氯-2-羟基丙酯、(甲 基)丙烯酸N,N- 二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸N,N- 二乙氨基乙酯、(甲基)丙烯酸叔丁 氨基乙酯、乙氧羰基甲基(甲基)丙烯酸酯、苯酚环氧乙烷改性丙烯酸酯、苯酚(环氧乙烷2 摩尔改性)丙烯酸酯、苯酚(环氧乙烷4摩尔改性)丙烯酸酯、对枯基苯酚环氧乙烷改性丙 烯酸酯、壬基酚环氧乙烷改性丙烯酸酯、壬基酚(环氧乙烷4摩尔改性)丙烯酸酯、壬基酚 (环氧乙烷8摩尔改性)丙烯酸酯、壬基酚(环氧丙烷2. 5摩尔改性)丙烯酸酯、2-乙基己 基卡必醇丙烯酸酯、环氧乙烷改性邻苯二甲酸(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性琥珀酸(甲 基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三氟乙酯、ω-羧基-聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯、邻苯二 甲酸单羟乙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸二聚物、琥珀酸单(甲基)丙烯酰氧 基乙基酯、Ν-(甲基)丙烯酰氧基烷基六氢邻苯二甲酰亚胺、2-(1,2-环六羧基酰亚胺)乙 基丙烯酸酯等。在水溶性的情况下,在切削加工时可能会由于树脂组合物的固化物溶胀而 发生位置偏离,加工精度变差,因此不优选。另外,即使为亲水性,只要其树脂组合物的固化 物不会因水而溶胀或部分溶解,则也可以使用。在单官能(甲基)丙烯酸酯中,在效果好的方面,优选含有苯酚环氧乙烷2摩尔改 性(甲基)丙烯酸酯和/或2-(1,2-环六羧基酰亚胺)乙基(甲基)丙烯酸酯,更优选并 用苯酚环氧乙烷2摩尔改性(甲基)丙烯酸酯和2-(1,2-环六羧基酰亚胺)乙基(甲基) 丙烯酸酯。并用苯酚环氧乙烷2摩尔改性(甲基)丙烯酸酯和2-(1,2-环六羧基酰亚胺) 乙基(甲基)丙烯酸酯的情况下的含有比例,在苯酚环氧乙烷2摩尔改性(甲基)丙烯酸酯 和2-(1,2-环六羧基酰亚胺)乙基(甲基)丙烯酸酯的合计100质量份中,以质量比计,优 选苯酚环氧乙烷2摩尔改性(甲基)丙烯酸酯2-(1,2-环六羧基酰亚胺)乙基(甲基) 丙烯酸酯=30 90 10 70、更优选为40 80 20 60、最优选为50 70 30 50。(B)单官能(甲基)丙烯酸酯的用量,在㈧及⑶的总量100质量份中,优选为10 99质量份、更优选为15 70质量份。只要是10质量份以上,就不可能使初始胶粘性 下降,只要是99质量份以下,就可以确保剥离性,组合物的固化物以膜状剥离。另外,通过在前述(A)及(B)的混合组合物中并用(甲基)丙烯酰氧基乙基酸式 磷酸酯、二丁基2-(甲基)丙烯酰氧基乙基酸式磷酸酯、二辛基2-(甲基)丙烯酰氧基乙基 磷酸酯、二苯基2-(甲基)丙烯酰氧基乙基磷酸酯、(甲基)丙烯酰氧基乙基聚乙二醇酸式 磷酸酯等具有乙烯基或(甲基)丙烯酰基的磷酸酯,可以进一步改善对金属面的密合性。(C)光聚合引发剂是为了利用可见光或紫外线的活性光线使其敏化来促进树脂 组合物的光固化而配合的物质,可使用公知的各种光聚合引发剂。作为光聚合引发剂,可 举出二苯甲酮及其衍生物;苯偶酰及其衍生物;蒽醌及其衍生物、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯 偶姻乙醚、苯偶姻丙醚、苯偶姻异丁醚、苄基二甲基缩酮等苯偶姻衍生物;二乙氧基苯乙酮、 4-叔丁基三氯苯乙酮等苯乙酮衍生物;2-二甲基氨基乙基苯甲酸酯、对二甲基氨基乙基苯 甲酸酯、二苯基二硫醚、噻吨酮及其衍生物;樟脑醌、7,7_二甲基-2,3-二氧代双环[2. 2. 1] 庚烷-1-羧酸、7,7-二甲基-2,3-二氧代双环[2. 2. 1]庚烷羧基_2_溴乙酯、7,7-二 甲基-2,3-二氧代双环[2. 2. 1]庚烷-1-羧基-2-甲基酯、7,7-二甲基-2,3-二氧代双环 [2. 2. 1]庚烷-1-羧酸氯化物等樟脑醌衍生物;2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉 基-1-丙酮、2-苄基-2- 二甲基氨基-1- (4-吗啉苯基)-1- 丁酮等α -氨基烷基苯酮衍生 物;苯甲酰基二苯基氧化膦、2,4,6_三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、苯甲酰基二乙氧基氧 化膦、2,4,6_三甲基苯甲酰基二甲氧基苯基氧化膦、2,4,6_三甲基苯甲酰基二乙氧基苯基 氧化膦等酰基氧化膦衍生物;氧基-苯基-乙酸2- [2-氧代-2-苯基-乙酸基-乙氧基]-乙 酯和/或氧基-苯基-乙酸2-[2-羟基-乙氧基]-乙酯等。光聚合引发剂可以使用1种 或组合使用2种以上。在这些光聚合引发剂中,在效果好的方面,优选选自1-苄基二甲基 缩酮、氧基-苯基-乙酸2-[2-氧代-2-苯基-乙酸基-乙氧基]-乙酯及氧基-苯基-乙 酸2-[2-羟基-乙氧基]-乙酯中的1种或2种以上。(C)光聚合引发剂的用量,相对于㈧及⑶的合计100质量份优选为0. 1 30 质量份。更优选为0.5 25质量份。只要为0. 1质量份以上,就确保获得固化促进的效果, 在25质量份以下可以获得充分的固化速度。作为更优选的方式,通过使用(C)成分1质量 份以上,可以在不依赖光照射量的情况下固化,进而组合物的固化物的交联密度增大,切削 加工时便不会发生位置偏离等,在改善剥离性方面更优选。在本发明中,优选由临时固定用胶粘剂得到的固化物的玻璃化转变温度 在-50°C 50°C的范围内。通过使由上述临时固定用胶粘剂得到的固化物的玻璃化转变温 度在该范围内,在对构件进行胶粘临时固定、并对该临时固定的构件进行加工后,将该加工 好的构件浸渍在100°C以下的温水中时,临时固定用胶粘剂的固化物本身大大热膨胀。其结 果,由于胶粘面积实现减少,从而胶粘强度下降,因此,可以容易地仅回收构件。当由临时固 定用胶粘剂得到的固化物的玻璃化转变温度为-50°C以上时,加工临时固定的构件时不容 易发生偏离,在尺寸精度方面优异。当50°C以下时,温水剥离性优异。从剥离性和尺寸精度 的方面考虑,由上述临时固定用胶粘剂得到的固化物的玻璃化转变温度更优选为_25°C 45°C、进一步优选为-20°C 42°C、更进一步优选为0°C 40°C。需要说明的是,由本发明中使用的临时固定用胶粘剂得到的固化物的玻璃化转变 温度的测定方法没有特别限制,可用DSC或动态粘弹性谱等公知的方法测定。优选的方法是利用动态粘弹性谱的方法。在本发明中,优选将(D)不溶于(A) (C)的粒状物质与(A)、(B)同时使用。由 此,容易使固化后的组合物保持一定的厚度,可以改善更简单地加工时的尺寸精度。进而, 由于临时固定用胶粘剂的固化物与不溶于(A) (C)的粒状物质的线性膨胀系数不同,因 此,在使用上述胶粘剂组合物对构件进行胶粘临时固定、并对该临时固定的构件进行加工 后,将该加工后的构件浸渍在100°C以下的温水中时,在构件和临时固定用胶粘剂的固化物 的界面发生蜿蜒起伏状或三维变形,其结果,胶粘面积减少,剥离性更进一步改善。作为⑶不溶于(A) (C)的粒状物质的材质,通常使用的有机、无机粒子均可 以。作为有机粒子,可举出聚乙烯粒子、聚丙烯粒子、交联聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交联聚 苯乙烯粒子等,作为无机粒子,可举出玻璃、二氧化硅、氧化铝、钛等的陶瓷粒子。(D)不溶于㈧ (C)的粒状物质,从改善加工时的尺寸精度、即控制胶粘剂的膜 厚的方面考虑,优选为球状。作为有机粒子,优选利用甲基丙烯酸甲酯单体、苯乙烯单体和 交联性单体的公知的乳化聚合法以单分散粒子的形式得到的交联聚甲基丙烯酸甲酯粒子、 交联聚苯乙烯粒子或交联聚甲基丙烯酸甲酯聚苯乙烯共聚物粒子。作为无机粒子,由于球 状二氧化硅粒子的变形小,由粒径偏差而引起的固化后的组合物的膜厚的偏差减小,因此 优选。其中,从由粒子的沉淀等而引起的贮存稳定性和组合物的反应性方面考虑,更优选交 联聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交联聚苯乙烯粒子或交联聚甲基丙烯酸甲酯聚苯乙烯共聚物粒 子、交联聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交联聚苯乙烯粒子、交联聚甲基丙烯酸甲酯聚苯乙烯共聚 物粒子的任一种或它们的混合物。进一步优选交联聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交联聚苯乙烯 粒子及交联聚甲基丙烯酸甲酯聚苯乙烯共聚物粒子的任一种或它们的混合物。(D)不溶于㈧ (C)的粒状物质利用激光法测定的平均粒径优选在5μπι 200 μ m的范围。当上述粒状物质的平均粒径为5 μ m以上时,剥离性优异,当其为200 μ m以 下时,加工临时固定的构件时不容易发生偏离,在尺寸精度方面优异。从剥离性和尺寸精度 的观点考虑,更优选的平均粒径为8 μ m 150 μ m、进一步优选为9 μ m 120 μ m。需要说 明的是,本发明中的粒径及粒径分布的标准偏差,利用岛津制作所制造的“激光衍射式粒度 分布测定装置SALD-2200”进行测定。粒径为体积基准。另外,将⑶不溶于(A) (C)的粒状物质的利用激光法测定的粒径(μ m)用对数 表示时,粒子体积分布相对于粒径的标准偏差优选在0. 0001 0. 25的范围。当粒状物质 的粒径的标准偏差在该范围时,因粒径的偏差引起的固化后的组合物的膜厚的偏差变小, 加工临时固定的构件时不容易发生偏离,不仅在尺寸精度方面优异,剥离性也显著改善。从 尺寸精度及剥离性的观点考虑,粒状物质的粒径的标准偏差更优选为0. 0001 0. 15、进一 步优选为0. 0001 0. 1、更进一步优选为0. 0001 0. 08、特别优选为0. 0001 0. 072。(D)不溶于(A) (C)的粒状物质的用量,从胶粘强度、加工精度、剥离性方面考 虑,相对于㈧及⑶的总量100质量份,优选为0. 1 20质量份,更优选为0.2 10质 量份、进一步优选为0. 2 6质量份。对于本发明的临时固定用胶粘剂,为了改善其贮存稳定性,可以使用少量的阻聚 剂。作为阻聚剂,可举出甲基对苯二酚、对苯二酚、2,2_亚甲基-双甲基-6-叔丁基苯 酚)、邻苯二酚、对苯二酚单甲基醚、单叔丁基对苯二酚、2,5-二叔丁基对苯二酚、对苯醌、 2,5- 二苯基-对苯醌、2,5- 二叔丁基-对苯醌、苦味酸、柠檬酸、吩噻嗪、叔丁基邻苯二酚、2- 丁基-4-羟基茴香醚及2,6- 二叔丁基-对甲酚等。对这些阻聚剂的用量而言,相对于㈧及⑶的总量100质量份,优选为0. 001 3质量份、更优选为0. 01 2质量份。在0. 001质量份以上时,可确保贮存稳定性,在3质 量份以下时,获得良好的胶粘性,还不会造成未固化。在本发明的临时固定用胶粘剂中,也可以同时使用极性有机溶剂。对于本发明的临时固定用胶粘剂,在不影响本发明的目的的范围内,还可以使用 通常所使用的丙烯酸橡胶、聚氨酯橡胶、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯橡胶等各种弹性体、无机 填充物、溶剂、增容材料、加固材料、增塑剂、增稠剂、染料、颜料、阻燃剂、硅烷偶联剂及表面 活性剂等添加剂。本发明的构件的临时固定/剥离方法如下对使用临时固定用胶粘剂通过上述方 法临时固定的构件进行加工后,将该加工好的构件浸渍于100°c以下的温水中,除去固化了 的临时固定用胶粘剂。利用本发明,不使用有机溶剂,可以提高光学用构件等各种构件的加
工精度。根据本发明的优选实施方式,在从临时固定用胶粘剂的固化物上除去被加工构件 时,对临时固定用胶粘剂照射可见光或紫外线,由此可以缩短将临时固定用胶粘剂的固化 物浸渍在100°C以下的温水中而除去固化后的临时固定用胶粘剂的时间。在本发明中,在从临时固定用胶粘剂的固化物上除去被加工构件时,对临时固定 用胶粘剂照射可见光或紫外线的可见光或紫外线的照射量在波长365nm处为lOOOmJ/cm2 以上且40000mJ/cm2以下的情况下,可以缩短将临时固定用胶粘剂的固化物浸渍在100°C以 下的温水中而除去固化后的临时固定用胶粘剂的时间的效果好,因此优选(再照射工序)。 照射量更优选为2000mJ/cm2以上且38000mJ/cm2以下、进一步优选为4000mJ/cm2以上且 36000mJ/cm2 以下。在本发明中,使用适当加热后的温水、例如100°C以下的温水时,可以在短时间内 实现在水中的剥离性,生产率提高,因此优选。在使用优选30°C 100°C、更优选40 99°C 的温水的情况下,胶粘剂的固化物在短时间内热膨胀,同时可释放组合物固化时产生的残 余变形应力。进而,由于临时固定用胶粘剂的固化物与粒状物质的线性膨胀系数不同,因 此,使用上述胶粘剂组合物对构件进行胶粘临时固定、并对该临时固定的构件进行加工后, 将该加工好的构件浸渍在100°C以下的温水中时,在构件与临时固定用胶粘剂的固化物的 界面发生蜿蜒起伏状或三维变形。其结果,胶粘面积减少,胶粘强度下降,可以以膜状将临 时固定用胶粘剂的固化物除去。需要说明的是,对于临时固定用胶粘剂的固化物和水接触 的方法,由于连同接合体一起浸渍在水中的方法简便,因此推荐。下面,举出实施例及比较例更详细地说明本发明。本发明并不限定于这些实施例。实施例(实施例1)(临时固定用胶粘剂的制作)按照以下所述的顺序制作临时固定用胶粘剂。作为㈧多官能(甲基)丙烯酸酯, 使用日本合成公司制造的“UV-3000B”(聚酯类聚氨酯丙烯酸酯,以下简称为“UV-3000B”, 为疏水性的(甲基)丙烯酸酯,重均分子量15000) 30质量份、二丙烯酸双环戊酯(日本化药 公司制造的“KAYARAD R-684”,以下简称为“R-684”,为疏水性的(甲基)丙烯酸酯)15质量份;作为(B)单官能(甲基)丙烯酸酯,使用2-(1,2-环六羧基酰亚胺)乙基丙烯酸酯(东亚 合成公司制造的“ARONIX M-140”,以下简称为“M-140”,为疏水性的(甲基)丙烯酸酯)20 质量份、苯酚环氧乙烷2摩尔改性丙烯酸酯(东亚合成公司制造的“ARONIX M-101A”,为疏 水性的(甲基)丙烯酸酯)35质量份;作为(C)光聚合引发剂,使用苄基二甲基缩酮(汽 巴精化公司制造的“IRGA⑶RE651”,以下简称为“BDK”)10质量份;作为⑶不溶于㈧ (C)的粒状物质,使用平均粒径100 μ m、将粒径(μπι)用对数表示时的粒子体积分布相对于 粒径的标准偏差为0. 063的球状交联聚苯乙烯粒子(GANZ化成公司制造的“GS-100S”) 1质 量份;作为阻聚剂,使用2,2-亚甲基-双甲基-6-叔丁基苯酚)(住友化学工业公司制 造的,4廿一 MDP-S”,以下简称为“MDP”)0. 1质量份,制作树脂组合物。使用所得到的树脂组合物,用以下所示的评价方法进行玻璃化转变温度、拉伸剪 切胶粘强度、剥离试验。将这些结果示于表1。另外,对(D)不溶于(A) (C)的粒状物质 的平均粒径及将粒径(μπι)用对数表示时的粒子体积分布相对于粒径的标准偏差也进行 测定。(评价方法)玻璃化转变温度以Imm厚的硅片为模型板,将树脂组合物插入PET膜。通过使用 有无极放电灯的7 二一 ^ 3 >公司制造的固化装置,在365nm波长的累积光量为2000mJ/ cm2的条件下,使树脂组合物从上面固化后,再在365nm波长的累积光量为2000mJ/cm2的条 件下使其从下面固化,制作厚度Imm的树脂组合物的固化物。将制作的固化物用切割器裁 断为长50mm宽5mm,作为玻璃化转变温度测定用固化物。将所得到的固化物利用精工电子 产业公司制造的动态粘弹性测定装置“DMS210”,在氮气氛中对所述固化物施加IHz的拉伸 方向的应力及变形,以升温速度每分钟2°C的比例边升温边测定tan δ,将该tan δ的峰顶 的温度作为玻璃化转变温度。拉伸剪切胶粘强度(表中的“胶粘强度”)依照JIS K 6850进行测定。具体而言, 使用作为被粘材料的耐热玻璃05mmX25mmX厚度2. Omm),将胶粘部位设定为直径8mm,用 制作的树脂组合物使2片耐热玻璃粘贴,通过使用有无极放电灯的7工一 ” 3 >公司制造 的固化装置,在365nm波长的累积光量为2000mJ/cm2的条件下使其固化,制作拉伸剪切胶 粘强度试验片。对制作的试验片,使用万能试验机,在温度23°C、湿度50%的环境下,以拉 伸速度为lOmm/min测定拉伸剪切胶粘强度。剥离试验(表中的“80°C温水剥离时间” “剥离状态”)在上述耐热玻璃上涂布组 合物,使其粘贴在作为支撑物的钠钙玻璃(150mmX150mmX厚度1. 7mm)上,除此以外,在与 上述同样的条件下使制作的树脂组合物固化,制作剥离试验物。将所得到的试验物浸渍在 温水(80°C)中,测定耐热玻璃剥离的时间,也对剥离状态进行观察。粒状物质的平均粒径及将粒径(μπι)用对数表示时的粒子体积分布相对于粒径 的标准偏差(表中的“不溶于(Α)、(B)、(C)的粒状物质的粒径的标准偏差”)利用激光衍 射式粒度分布测定装置(岛津制作所制造的“SALD-2200”)进行测定。(临时固定/剥离方法)将作为固定构件的钠钙玻璃(150mmX150mmX厚度1. 7mm)在加热板上加热至 80°C,涂布Ig制作的临时固定用胶粘剂(涂布工序)。其后,从上方搭载作为被加工构 件的钠钙玻璃(80mmX80mmX厚度1. 1mm)(搭载工序)。然后,将厚度50mm的石英玻璃(80mmX 80mmX厚度5mm)从上方搭载在作为被加工构件的钠钙玻璃上,从上述石英玻璃上 施加负荷,施加与石英玻璃的重量部分合计为12. 5g/cm2的压力,放置5分钟(加压工序)。 固定构件与被加工构件的间隔,由最大处减去最小处的差值为5μπι以下。接着,边施加12. 5g/cm2的压力边从作为固定构件的钠钙玻璃一侧使用黑光灯, 照射365nm波长的UV光300mJ/cm2 (与加压工序同时实施照射工序(30秒))。使用切割 装置,仅将所得到的胶粘试验物的作为被加工构件的钠钙玻璃裁断为边长IOmm的四方形。 裁断过程中作为被加工构件的钠钙玻璃没有发生脱落,显示出良好的加工性。对仅将作为 被加工构件的钠钙玻璃裁断后的胶粘试验物,使用金属卤化物灯照射365nm波长的UV光 16000mJ/cm2后(再照射工序(40秒)),浸渍在80°C的温水中,结果在1分钟内完全剥离 (温水剥离时间)。另外,任意取出10个该剥离后的裁断试验片,用光学显微镜对其裁断试 验片的背面(用临时固定用胶粘剂临时固定的面)的各边进行观察,测定玻璃出现缺口处 的最大宽度,求出其平均值和标准偏差。进而,为了从剥离后的临时固定用胶粘剂的裁断试 验片上得到临时固定用胶粘剂的固化物膜,任意取出10个剥离后的裁断试验片,利用厚度 计(MICRO GAUG^测定所述固化 物的膜的膜厚,求出其平均值和标准偏差。将各边的玻璃 出现缺口处的最大宽度的平均值和标准偏差及临时固定用胶粘剂的固化物的膜的膜厚的 平均值和标准偏差的测定结果示于表1。表 权利要求
1.一种临时固定方法,包括将临时固定用胶粘剂涂布到固定构件上的工序、将被加 工构件搭载在临时固定用胶粘剂上的工序、和该搭载后对临时固定用胶粘剂照射可见光或 紫外线中的至少一种来提高临时固定用胶粘剂的胶粘力的工序,还包括从固定构件和被加 工构件中的一方或双方施加压力的工序,其中,将该施加压力的工序和该进行照射的工序 至少同时实施一定时间。
2.一种临时固定方法,包括将临时固定用胶粘剂涂布到被加工构件上的工序、将固 定构件搭载在临时固定用胶粘剂上的工序、和该搭载后对临时固定用胶粘剂照射可见光或 紫外线中的至少一种来提高临时固定用胶粘剂的胶粘力的工序,还包括从固定构件和被加 工构件中的一方或双方施加压力的工序,其中,将该施加压力的工序和该进行照射的工序 至少同时实施一定时间。
3.如权利要求1或2所述的临时固定方法,其中,从固定构件和被加工构件中的一方或 双方施加的压力控制在lg/cm2以上且lOOOkg/cm2以下。
4.如权利要求1至3中任一项所述的临时固定方法,其中,将固定构件、临时固定用胶 粘剂、被加工构件中任一个以上控制在0°C以上且150°C以下。
5.如权利要求1至4中任一项所述的临时固定方法,其中,临时固定用胶粘剂为含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)单官能(甲基)丙烯酸酯及(C)光聚合引发剂的组合 物。
6.如权利要求5所述的构件的临时固定方法,其中,(A)及(B)均为疏水性。
7.如权利要求1至6中任一项所述的临时固定方法,其中,临时固定用胶粘剂的玻璃化 转变温度为_50°C以上且50°C以下。
8.如权利要求5至7中任一项所述的临时固定方法,其中,临时固定用胶粘剂,在(A) 及⑶的总量100质量份中含有㈧1 90质量份、⑶10 99质量份,以及相对于㈧及(B)的总量100质量份含有(C)O.1 30质量份。
9.如权利要求5至8中任一项所述的临时固定方法,其中,临时固定用胶粘剂相对于 (A)及⑶的总量100质量份含有不溶于㈧ (C)的粒状物质(D)O. 1 20质量份。
10.如权利要求9所述的临时固定方法,其中,不溶于㈧ (C)的粒状物质⑶的形 状为球状。
11.如权利要求9或10所述的临时固定方法,其中,不溶于㈧ (C)的粒状物质⑶ 为交联聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交联聚苯乙烯粒子及交联聚甲基丙烯酸甲酯聚苯乙烯共聚 物粒子中的任一种或它们的混合物。
12.如权利要求9至11中任一项所述的临时固定方法,其中,不溶于㈧ (C)的粒状 物质(D)的平均粒径为5 μ m 200 μ m。
13.如权利要求9至12中任一项所述的临时固定方法,其中,将不溶于㈧ (C)的粒 状物质(D)的利用激光衍射法测定的单位为μ m的粒径用对数表示时的粒子体积分布相对 于粒径的标准偏差在0. 0001 0. 25的范围。
14.一种构件的临时固定/剥离方法,其中,包括对使用权利要求1至13中任一项所 述的临时固定方法进行临时固定的构件加工后,将该加工后的构件浸渍在100°C以下的温 水中,除去所述组合物的固化物。
15.一种构件的临时固定/剥离方法,其中,包括对使用权利要求1至13中任一项所述的临时固定方法进行临时固定的构件加工后,对临时固定用胶粘剂照射可见光或紫外 线,将该加工后的构件浸渍在100°c以下的温水中,除去所述组合物的固化物。
16.如权利要求1至13中任一项所述的临时固定方法,其中,可见光或紫外线的照射量 在波长365nm处为lmj/cm2 4000mJ/cm2的范围。
17.如权利要求15所述的临时固定/剥离方法,其特征在于,对该临时固定的构件加工 后照射的可见光或紫外线的照射量在波长365nm处为lOOOmJ/cm2 40000mJ/cm2的范围。
18.如权利要求5至13中任一项所述的临时固定方法,其中,(A)多官能(甲基)丙烯 酸酯含有多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物和/或二官能(甲基)丙烯酸酯单体。
19.如权利要求5至13中任一项所述的临时固定方法,其中,(A)多官能(甲基)丙烯 酸酯含有多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物和二官能(甲基)丙烯酸酯单体。
20.如权利要求18或19所述的临时固定方法,其中,多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物 /聚合物含有聚酯类聚氨酯(甲基)丙烯酸酯和/或聚醚类聚氨酯(甲基)丙烯酸酯。
21.如权利要求18或19所述的临时固定方法,其中,二官能(甲基)丙烯酸酯单体含 有1,6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯和/或二(甲基)丙烯酸双环戊酯。
22.如权利要求5至13中任一项所述的临时固定方法,其中,(B)单官能(甲基)丙烯 酸酯含有苯酚环氧乙烷2摩尔改性(甲基)丙烯酸酯和/或2-(1,2-环六羧基酰亚胺)乙 基(甲基)丙烯酸酯。
23.如权利要求5至13中任一项所述的临时固定方法,其中,(B)单官能(甲基)丙 烯酸酯含有苯酚环氧乙烷2摩尔改性(甲基)丙烯酸酯和2-(1,2-环六羧基酰亚胺)乙基 (甲基)丙烯酸酯。
24.如权利要求5至13中任一项所述的临时固定方法,其中,(C)光聚合引发剂含有选 自苄基二甲基缩酮、氧基-苯基-乙酸2-[2-氧代-2-苯基-乙酸基-乙氧基]-乙酯及氧 基-苯基-乙酸2-[2_羟基-乙氧基]-乙酯中的1种或2种以上。
全文摘要
本发明提供一种临时固定方法,其可在加工构件的尺寸精度方面获得显著的效果。所述临时固定方法,具有将临时固定用胶粘剂涂布到固定构件上的涂布工序、将被加工构件搭载在临时固定用胶粘剂上的搭载工序、和搭载工序后对临时固定用胶粘剂照射可见光或紫外线中的至少一种来提高临时固定用胶粘剂的胶粘力的照射工序,还具有从固定构件和被加工构件中的一方或双方施加压力的加压工序,其特征在于,将加压工序和照射工序至少同时实施一定时间。临时固定用胶粘剂为含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)单官能(甲基)丙烯酸酯及(C)光聚合引发剂的组合物。
文档编号C09J5/00GK102105546SQ20098012870
公开日2011年6月22日 申请日期2009年7月22日 优先权日2008年7月22日
发明者大岛和宏, 栗村启之, 金井朋之 申请人:电气化学工业株式会社
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