专利名称：一种环保型氧化物薄膜蚀刻膏的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于液晶屏、触摸屏、太阳能电池等导电走线的氧化物薄膜蚀刻膏。
背景技术：
传统走线的形成一般采用光刻胶，其工序较多，容易产生有害废液，近年来开始采 用蚀刻膏来对氧化物薄膜蚀刻，尤其是用于液晶屏、触摸屏、太阳能电池等导电走线的形 成。 市面上的蚀刻膏通常是由电路板用蚀刻液调整而来，其组份中的强酸对设备有强 烈腐蚀性，会对操作人员造成不良的影响，不环保而且使用不方便。
发明内容
本发明的目的是提供一种环保、使用方便的氧化物薄膜蚀刻膏。 本发明解决其技术问题所采用的技术方案是一种环保型氧化物薄膜蚀刻膏，由 甲酸、草酸、增稠剂、消泡剂及水混合而成。 其中，各组份的重量百分比如下甲酸30_60%，草酸10_30%，增稠剂1_20%，消 泡剂0. 2-3%，水1-18%。 本发明的蚀刻膏为水性组份，不含强酸，形成导电走线后直接用水冲洗即可，因此 对设备和操作人员无不良影响，环保而且使用方便。
具体实施例方式
下面结合实施例对本发明作进一步详细说明。
实施例一 —种环保型氧化物薄膜蚀刻膏，由甲酸、草酸、增稠剂、消泡剂及水混合而成，各组 份的重量百分比为甲酸30 % 、草酸30 % 、增稠剂20 % 、消泡剂3 % 、水17 % 。
实施例二 —种环保型氧化物薄膜蚀刻膏，由甲酸、草酸、增稠剂、消泡剂及水混合而成，各组 份的重量百分比为甲酸60%、草酸10%、增稠剂10%、消泡剂2%、水18%。
本发明的蚀刻膏为水性组份，不含强酸，形成导电走线后直接用水冲洗即可，因此 对设备和操作人员无不良影响，环保而且使用方便。 上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，以及部分运用的实施例，对于 本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和 改进，这些都属于本发明的保护范围。
权利要求
一种环保型氧化物薄膜蚀刻膏，其特征在于由甲酸、草酸、增稠剂、消泡剂及水混合而成。
2. 根据权利要求1所述的蚀刻膏，其特征在于，各组份的重量百分比如下30-60%10-30%剂 1-20%剂 0.2-3%水 1-18%。酸酸桐泡甲草增脂
全文摘要
本发明公开了一种环保型氧化物薄膜蚀刻膏，由30-60％的甲酸、10-30％的草酸、1-20％的增稠剂、0.2-3％的消泡剂及1-18％的水混合而成；本发明的蚀刻膏为水性组份，不含强酸，形成导电走线后直接用水冲洗即可，因此对设备和操作人员无不良影响，环保而且使用方便。
文档编号C09K13/00GK101768445SQ201010105300
公开日2010年7月7日 申请日期2010年1月29日 优先权日2010年1月29日
发明者夏运海 申请人:东莞市亚马电子有限公司