专利名称：石英坩埚加热涂层包装一体机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种石英坩埚涂层包装自动化的设备，具体涉及一种石英坩埚加热涂层包装一体机。
背景技术：
作为拉制单晶硅时，在单晶硅上形成位错的一个原因，是石英坩埚的内表面上析出的方石英石会释放到硅熔融液中。作为对策，已知有在坩埚内表面上涂布结晶化促进剂， 使坩埚内表面早期形成结晶化的方法，在这些方法中，在石英坩埚表面上涂布氢氧化钡溶液，氢氧化钡与空气中的二氧化碳反应，使生成的碳酸钡沉淀在坩埚表面上，将其干燥，则附着在坩埚表面上，然而以前表面处理的石英坩埚存在如下问题，需要解决(I)以前附着在石英坩埚上的碳酸钡粉末，由于没有用粘合剂固着，所以附着力非常弱。因此，制品检查和搬运，向盛放袋中装入等制造方面的作业工序中，坩埚表面的碳酸钡粉很容易剥落下来。处理器具和操作员触及时也会剥落，成为斑点形成不均匀的附着状态。进而，打开盛放袋时， 碳酸钡粉飞扬，对操作员的健康造成危害；(2)由于碳酸钡粉只是附着在表面上，所以附着力很弱，形成结晶核的效率很低，很容易形成碳酸钡附着量过剩
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种石英坩埚加热涂层包装一体机，解决了石英坩埚表面改质问题。
本发明采用的技术方案是一种石英坩埚加热涂层包装一体机，包括石英坩埚的传输系统、以及按传输方向依次设有的加热系统、喷涂系统和包装系统；所述加热系统包括一个可密闭的加热间，加热间内设置有红外线加热管和用于恒定温度的温度感应器，所述喷涂系统包括一个可密闭的涂层间，涂层间内设置有可自动升降的旋转接头和喷嘴，所述包装系统由置于石英坩埚上方和侧方的负压吸附机械手组成，所述传输系统包括作为动力源的伺服电机、链轮、链条和传送带，所述链轮与链条连接，传送带安装在链条上。
作为优选，所述加热间和涂层间相通形成一个隧道房，隧道房的入口处和出口处设置有气动门。隧道房的内外壁夹层设有聚脂泡沫板，内壁设有石英隔热保温板。
作为优选，所述隧道房内设有湿度传感器和排风循环管道。
作为优选，所述传送带上设有固定石英坩埚的限位块。传送带为不锈钢传送带。
本发明采用伺服电机作为主动力源传递动力，不锈钢传送带固定链条上，靠链轮实现钢带的传动，在隧道房入口处与出口处装有气动门在每进入一只石英坩埚时气动门自行关闭，传动带停止传送。记时器开始工作，每15分钟进入一只石英坩埚。在隧道房进口与入口上方各有一个出风口，出风口表面含有排风扇用于将热水气抽走，内部还设有湿度传感器用于检验室内的湿度，这样加工车间中不会产生大量雾气。隧道房内包括不锈钢传动带、加热系统、排风循环系统、喷涂系统，不锈钢传送带采用特制限位块拼制而成，每三个节距一节，有效的固定了石英坩埚，并保证坩埚在输送链上的间距一致，从而也方便编码器定位。加热系统采用五组红外线加热管，并在房中间配有温度感应器使其温度恒定在350摄氏度左右，上方的排风循环管道保证管道内空气流通也防止热量的损失使房内的房外的压力不至于相差过大。喷涂设备采用旋转接头加喷嘴，底盘在减速电机带动下使喷管匀速转动，时喷涂液均匀涂在石英坩埚内壁上，同时气缸靠电磁阀控制进气量时喷嘴匀速升降以保证坩埚内壁每处都能喷涂到溶液。同时加热房内温度与喷淋房内温度一致这样喷涂的液体附着力更强，坩埚在出了隧道房后进入包装线，不锈钢传动带上的限位块随链轮下降转动到底部，坩埚与限位块脱离，平稳过渡在中间的平带上由于两边有限位栏坩埚不向两侧偏移这样包装线就与前面的加热喷淋线分离开来。也就不需要和加热喷淋线保持同步性， 毕竟加热喷涂段工作间隔为15分钟远远长于包装时间。进入包装线后，下左右机械手利用负压吸附两块下泡沫包装块将其包装在石英坩埚上后,上机械手将上一整块泡沫包装在坩埚上侧，传输到平台上后，上负压吸管将平整的纸箱展开，蜗杆传动的推杆将坩埚推入纸箱后贴胶带打包。
有益效果本发明设备可以有效的对石英坩埚进行加热，涂层并包装入库，大大节省了人工，提高工作效率，也有效的解决了坩埚涂层粉末粘结不牢的问题。
图1为本发明的结构示意图；图2为本发明的内部结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步说明如图1和2所示一种石英坩埚加热涂层包装一体机，包括石英坩埚的传输系统、以及按传输方向依次设有的加热系统、喷涂系统和包装系统；所述加热系统包括一个可密闭的加热间1，加热间I内设置有红外线加热管3和用于恒定温度的温度感应器4，所述喷涂系统包括一个可密闭 的涂层间2，涂层间2内设置有可自动升降的旋转接头5和喷嘴6，所述包装系统由置于石英坩埚上方和侧方的负压吸附机械手7组成，所述传输系统包括作为动力源的伺服电机8、链轮9、链条10和传送带11，所述链轮9与链条10连接，传送带11安装在链条10上。
所述加热间I和涂层间2相通形成一个隧道房12，隧道房12的入口处和出口处设置有气动门13。隧道房12的内外壁夹层设有聚脂泡沫板，内壁设有石英隔热保温板。所述隧道房12内设有湿度传感器和排风循环管道15。
所述传送带11上设有固定石英坩埚的限位块14。传送带11为不锈钢传送带。
本发明是在坩埚内壁涂层前先将坩埚加热至350摄氏度以上，再在石英坩埚内壁上喷涂氢氧化钡溶液，当溶液遇到高温时溶液烧成在坩埚内壁上，这样粉末的附着力较以前有了大大的提高，另一方面也加强了坩埚的强度。
权利要求
1.一种石英坩埚加热涂层包装一体机，其特征在于包括石英坩埚的传输系统、以及按传输方向依次设有的加热系统、喷涂系统和包装系统；所述加热系统包括一个可密闭的加热间(1)，加热间(I)内设置有红外线加热管(3)和用于恒定温度的温度感应器(4)，所述喷涂系统包括一个可密闭的涂层间(2)，涂层间(2)内设置有可自动升降的旋转接头(5)和喷嘴(6)，所述包装系统由置于石英坩埚上方和侧方的负压吸附机械手(7)组成，所述传输系统包括作为动力源的伺服电机(8)、链轮(9)、链条(10)和传送带(11)，所述链轮(9)与链条(10)连接，传送带(11)安装在链条(10)上。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚加热涂层包装一体机，其特征在于所述加热间(I)和涂层间(2)相通形成一个隧道房(12)，隧道房(12)的入口处和出口处设置有气动门(13)。
3.根据权利要求2所述的石英坩埚加热涂层包装一体机，其特征在于所述隧道房(12)的内外壁夹层设有聚脂泡沫板，内壁设有石英隔热保温板。
4.根据权利要求2所述的石英坩埚加热涂层包装一体机，其特征在于所述隧道房(12)内设有湿度传感器和排风循环管道(15)。
5.根据权利要求1所述的石英坩埚加热涂层包装一体机，其特征在于所述传送带(II)上设有固定石英坩埚的限位块(14)。
6.根据权利要求1所述的石英坩埚加热涂层包装一体机，其特征在于所述传送带(11)为不锈钢传送带。
全文摘要
本发明公开了一种石英坩埚加热涂层包装一体机，包括石英坩埚的传输系统、以及按传输方向依次设有的加热系统、喷涂系统和包装系统；所述加热系统包括一个可密闭的加热间，加热间内设置有红外线加热管和用于恒定温度的温度感应器，所述喷涂系统包括一个可密闭的涂层间，涂层间内设置有可自动升降的旋转接头和喷嘴，所述包装系统由置于石英坩埚上方和侧方的负压吸附机械手组成，所述传输系统包括作为动力源的伺服电机、链轮、链条和传送带，所述链轮与链条连接，传送带安装在链条上。本发明设备可以有效的对石英坩埚进行加热，涂层并包装入库，大大节省了人工，提高工作效率，也有效的解决了坩埚涂层粉末粘结不牢的问题。
文档编号B05B13/04GK102992639SQ20111012444
公开日2013年3月27日 申请日期2011年9月16日 优先权日2011年9月16日
发明者邵天聪, 金军 申请人:江苏华尔光电材料股份有限公司