专利名称：扩散源喷涂机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳电池制造技术领域，尤其涉及一种扩散源喷涂机。
背景技术：
在晶体硅太阳电池制造过程中，通过扩散工艺形成PN结是非常关键的步骤。扩 散工艺包括链式扩散或管式扩散，链式扩散具有工艺简单高效的优点。由于业界通常使用 P型掺杂的硅片制造晶体硅太阳电池，在链式扩散设备中进行扩散制结时，通常先通过扩散 源喷涂机在硅片表面喷涂磷酸水溶液。现有技术中，扩散源喷涂机采用滚轴传动，在滚轴上 套装有一定数量的用于支撑硅片的滚轮环，滚轮环采用橡胶材料制成，滚轴转动时，滚轮环 通过与硅片之间的摩擦力驱动硅片向前勻速运动，同时硅片上方的喷头将磷酸水溶液均勻 喷涂在硅片上。在具体生产过程中，前后两块硅片之间难免会存在间隙，会有少量的磷酸喷 到滚轴上的橡胶滚轮环上，随后传动来的硅片的背面会粘附有少量磷酸；硅片经过后续的 PECVD (等离子体增强化学气相沉积)镀氮化硅膜工序后，硅片背面粘附有磷酸的部位会产 生白斑，导致硅片因外观不合格而降级，造成大量返工，严重影响生产，增加了硅片的生产 成本。
发明内容本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种扩散源喷涂机，所 述喷涂机的滚轮环不易粘附磷酸，可以有效克服硅片背面产生白斑的问题，并提高硅片外 观合格率。按照本实用新型提供的技术方案，扩散源喷涂机，包括滚轴，滚轴上套装有用于支 撑和传送硅片的滚轮环，所述滚轮环采用氟素塑料制成。优选地，所述氟素塑料包括聚四氟乙烯和聚偏氟乙烯。优选地，所述扩散源为磷酸水溶液。优选地，所述滚轮环依靠自身弹性箍紧在滚轴上。本实用新型与现有技术相比，优点在于滚轮环采用氟素塑料制成，磷酸不易粘附 在滚轮环上，硅片背面不易粘附上磷酸，硅片经PECVD镀氮化硅膜工序后，不会在背面产生 白斑，解决了硅片因外观不合格而导致的降级现象，提高了所产出太阳电池的成品率。
图1为扩散源喷涂机的滚轴结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。本实用新型的扩散源喷涂机用于在硅片进链式扩散炉前向硅片上喷涂扩散源，如 图1所示扩散源喷涂机采用滚轴1传动，滚轴1上套装有一定数量的用于支撑和传送硅片3的滚轮环2，滚轴1转动时，滚轮环2通过与硅片3之间的摩擦力驱动硅片3向前勻速运 动，同时硅片3上方的喷头喷出的磷酸水溶液均勻分布在硅片3上。 本实用新型中的滚轮环2采用氟素塑料制成，滚轮环2依靠自身弹性箍紧在滚轴 1上。所述氟素塑料为聚四氟乙烯或聚偏氟乙烯等。当少量的磷酸从前后两块硅片3之间 的间隙喷到滚轮环2上时，磷酸不易吸附在滚轮环2上，随后传动来的硅片3的背面基本不 会粘附磷酸 ’硅片3经过后续的PECVD镀氮化硅膜工序后，不会在背面产生白斑，解决了硅 片3因外观不合格而导致的降级现象，降低了生产成本。
权利要求1.扩散源喷涂机，包括滚轴(1)，滚轴(1)上套装有用于支撑和传送硅片(3)的滚轮环 (2)，其特征在于所述滚轮环(2)采用氟素塑料制成。
2.如权利要求1所述的扩散源喷涂机，其特征在于所述扩散源为磷酸水溶液。
3.如权利要求1所述的扩散源喷涂机，其特征在于所述滚轮环(2)依靠自身弹性箍紧 在滚轴(1)上。
专利摘要本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种扩散源喷涂机。按照本实用新型提供的技术方案，扩散源喷涂机包括滚轴，滚轴上套装有用于支撑和传送硅片的滚轮环，所述滚轮环采用氟素塑料制成。本实用新型中的滚轮环采用氟素塑料制成，磷酸不易粘附在滚轮环上，硅片背面不易粘附上磷酸，硅片经PECVD镀氮化硅膜工序后，不会在背面产生白斑，解决了硅片因外观不合格而导致的降级现象，降低了生产成本。
文档编号B05D7/24GK201921782SQ20112000252
公开日2011年8月10日 申请日期2011年1月6日 优先权日2011年1月6日
发明者左凯峰, 陈彦博, 高琦 申请人:无锡尚德太阳能电力有限公司