一种晶片环保抛光剂的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种晶片环保抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：醚乙酸钠8-12份，烷基二甲基甜菜碱2-7份，乙烯基双硬脂酰胺23-31份，硬脂酸单甘油酯5-13份，水杨酸盐5-8份，表面活性剂1-3份，抗氧剂3-7份，氧化镁7-16份，二氧化氯6-14份，酸酐3-9份，除油粉6-13份，滑石粉9-16份，硬脂酸锌4-6份，盐酸2-4份，硫氰酸盐11-13份，PH调节剂1-3份。本发明的有益效果是：配方简单、制作容易，其可在半导体加工的化学成膜和机械去膜的交替过程中实现超精密表面加工，从而达到平坦化的目的。
【专利说明】—种晶片环保抛光剂
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种晶片环保抛光剂。
【背景技术】
[0002]化学机械抛光是随着集成电路的工业发展成长起来的，其基本目的就是通过抛光过程获得近乎完美的晶体表面结构，用于集成电路的制造，随着集成电路工业技术指标的提高，线宽的不断缩小，可靠程度的要求越来越高，对抛光晶片的表面缺陷也要求越来越少，而且对表面的平整度，粗糙度，氧化层厚度及均匀性等等方面提出了非常严格的要求，这就促进了广泛应用于各种半导体晶片抛光过程中的化学机械抛光工艺及相关设备的不断发展和进步。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种晶片环保抛光剂。
[0004]为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是:
一种晶片环保抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质:醚乙酸钠8-12份，烷基二甲基甜菜碱2-7份，乙烯基双硬脂酰胺23-31份，硬脂酸单甘油酯5-13份，水杨酸盐5-8份，表面活性剂1-3份，抗氧剂3-7份，氧化镁7-16份，二氧化氯6-14份，酸酐3-9份，除油粉6-13份，滑石粉9-16份，硬脂酸锌4-6份，盐酸2-4份，硫氰酸盐11-13份，PH调节剂
1-3 份。
[0005]本发明的有益效果是:配方简单、制作容易，其可在半导体加工的化学成膜和机械去膜的交替过程中实现超精密表面加工，从而达到平坦化的目的。
【具体实施方式】
[0006]实施例1
一种晶片环保抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质:醚乙酸钠8-12份，烷基二甲基甜菜碱2-7份，乙烯基双硬脂酰胺23-31份，硬脂酸单甘油酯5-13份，水杨酸盐5-8份，表面活性剂1-3份，抗氧剂3-7份，氧化镁7-16份，二氧化氯6-14份，酸酐3-9份，除油粉6-13份，滑石粉9-16份，硬脂酸锌4-6份，盐酸2-4份，硫氰酸盐11-13份，PH调节剂
1-3 份。
【权利要求】
1.一种晶片环保抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质:醚乙酸钠8-12份，烷基二甲基甜菜碱2-7份，乙烯基双硬脂酰胺23-31份，硬脂酸单甘油酯5-13份，水杨酸盐5-8份，表面活性剂1-3份，抗氧剂3-7份，氧化镁7-16份，二氧化氯6-14份，酸酐3-9份，除油粉6-13份，滑石粉9-16份，硬脂酸锌4-6份，盐酸2-4份，硫氰酸盐11-13份，PH调节剂1-3份。
【文档编号】C09G1/02GK104059546SQ201410296831
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年6月28日 优先权日:2014年6月28日
【发明者】范向奎 申请人:青岛宝泰新能源科技有限公司