一种uv减粘保护膜的制作方法
【专利摘要】本实用新型适用于保护膜领域，尤其涉及一种UV减粘保护膜。在本实用新型中，UV减粘保护膜包括PET基材层、设于PET基材层上方的UV减粘粘胶剂层以及设于UV减粘粘胶剂层上方的PET离型膜层。该UV减粘保护膜具有UV光照射前超高粘性，UV光照射后超低粘性的优良性能，降低产品的成本，并且具有较高的制程良率，在半导体晶圆切割、打磨表面保护、触控屏OGS二次强化耐酸膜等产品方面得到广泛应用。
【专利说明】一种UV减粘保护膜
【技术领域】
[0001]本实用新型属于保护膜领域，尤其涉及一种UV减粘保护膜。
【背景技术】
[0002]在半导体制作过程中，进行半导体晶圆切割、打磨时，为降低硅薄层缺陷密度，常常使用晶圆切割保护膜。
[0003]触控屏OGS玻璃二次强化时，需利用氢氟酸与二氧化硅玻璃反应，以增加玻璃强度，此时需要保护不需要被强化的部分，需要使用耐酸保护膜。
[0004]现有的同类保护膜主要有丙烯酸系PET\PVC\P0\P0+PET复合等产品，这些保护膜存在制程良率低以及成本较高等缺点。
实用新型内容
[0005]本实用新型实施例的目的在于提供一种UV减粘保护膜，旨在解决现有的保护膜存在制程良率低以及成本较高的问题。
[0006]本实用新型实施例是这样实现的，一种UV减粘保护膜，包括PET基材层、设于所述PET基材层上方的UV减粘粘胶剂层以及设于所述UV减粘粘胶剂层上方的PET离型膜层。
[0007]进一步地，所述UV减粘粘胶剂层为UV光敏感粘胶剂层。
[0008]具体地，所述PET离型膜层的厚度为15μπι至150μπι，所述PET基材层的厚度为15 μ m至200 μ m,所述UV减粘粘胶剂层的厚度为5 μ m至50 μ m。
[0009]进一步地，所述PET离型膜层的厚度为50 μ m至100 μ m，所述PET基材层的厚度为50 μ m至100 μ m，所述UV减粘粘胶剂层的厚度为10 μ m至30 μ m。
[0010]进一步地，所述PET离型膜层的厚度为50 μ m，所述PET基材层的厚度为100 μ m，所述UV减粘粘胶剂层的厚度为20 μ m。
[0011]进一步地，所述PET离型膜层的厚度为75 μ m,所述PET基材层的厚度为75 μ m,所述UV减粘粘胶剂层的厚度为25 μ m。
[0012]在本实用新型实施例中，UV减粘保护膜包括层叠结合的PET离型膜层、UV减粘粘胶剂层和PET基材层，该UV减粘保护膜具有UV光照射前对镜面钢板剥离力超过1000g/25mm的超高粘性，UV光照射后对镜面钢板剥离力在20g/25mm以下的超低粘性，同时降低了产品的成本，并且比现有保护膜制程最少提高10%的良率，在半导体晶圆切割、打磨表面保护、触控屏OGS 二次强化耐酸膜等产品方面可以得到广泛应用。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型实施例提供的UV减粘保护膜的结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0015]图1示出了本实用新型实施例提供的UV减粘保护膜的结构，为了便于说明，仅示出了与本实用新型实施例相关的部分。
[0016]一种UV减粘保护膜，包括PET基材层3、UV减粘粘胶剂层2和PET离型膜层I，所述UV减粘粘胶剂层2设于PET基材层3上方，所述离型膜层3设于UV减粘粘胶剂层2上方。
[0017]作为本实用新型一实施例，所述UV减粘粘胶剂层2中UV减粘粘胶剂为现有的UV减粘粘胶剂，特别优选为UV光敏感粘胶剂。本实用新型中使用的UV光敏感粘胶剂是由固化剂:光起始剂:亚克力胶水按照一定比例配制而成，其中，所述的固化剂为本领域常用的固化剂，例如固化剂L45和/或固化剂L75(日本综研化学株式会社制造)。所述的光起始剂为本领域常用的光起始剂，例如光起始剂-184(化学名称:1-羟基环已基苯基酮)，所述的亚克力胶水为本领域常用的亚克力胶水，例如日本综研化学株式会社制造的亚克力胶水。所述的固化剂:光起始剂:亚克力胶水按照(4?8): (3?9): (1000)进行配制，优选的比例为6:5 =1000
[0018]例如，按照如下方法配制UV光敏感粘胶(本实用新型下述方法实施例中均采用此UV光敏感粘胶剂，以下不再赘述):称重50kg亚克力胶水，称重20kg乙酯，混合后用分散机充分搅拌，时间在15分钟以上，然后将固化剂L75称重300g，用600g乙酯稀释后均匀加入稀释后的亚克力胶水，搅拌15分钟，然后称重250g光起始剂-184，用500g乙酯稀释后均匀加入稀释后的亚克力胶水，搅拌15分钟。然后用滤芯机3um滤芯充分过滤2次，静止15分钟消泡完毕方可使用。
[0019]具体地，本实用新型实施例提供的UV减粘保护膜，其中，PET离型膜层的厚度为15μπι至150μπι，ΡΕΤ基材层的厚度为15 μ m至200 μ m，UV减粘粘胶剂层的厚度为5 μ m至50 μ m0
[0020]优选地，PET离型膜层的厚度为50 μ m至100 μ m，所述PET基材层的厚度为50 μ m至100 μ m, UV减粘粘胶剂层的厚度为10 μ m至30 μ m。
[0021]更加优选地，PET离型膜层的厚度为50 μ m, PET基材层的厚度为100 μ m, UV减粘粘胶剂层的厚度为20 μ m。
[0022]更加优选地，PET离型膜层的厚度为75 μ m，PET基材层的厚度为75 μ m，UV减粘粘胶剂层的厚度为25 μ m。
[0023]在本实用新型实施例中，UV减粘保护膜包括层叠结合的PET离型膜层、UV减粘粘胶剂层和PET基材层，该UV减粘保护膜具有UV光照射前对镜面钢板剥离力超过1000g/25mm的超高粘性，UV光照射后对镜面钢板剥离力在20g/25mm以下的超低粘性，同时降低了产品的成本，并且比现有保护膜制程最少提高10%的良率，在半导体晶圆切割、打磨表面保护、触控屏OGS 二次强化耐酸膜等产品方面可以得到广泛应用。
[0024]实施例1
[0025]本实用新型的UV减粘保护膜按照如下方法制作:
[0026](I)准备厚度为15 μ m的PET基材；
[0027](2)将PET基材一面涂布上述UV光敏感粘胶剂，形成厚度为5 μ m的UV光敏感粘胶剂层；
[0028](3)将厚度为15 μ mPET离型膜与涂布有UV光敏感粘胶剂的PET基材贴合。
[0029]实施例2
[0030]本实用新型的UV减粘保护膜按照如下方法制作:
[0031](I)准备厚度为50 μ m的PET基材；
[0032](2)将PET基材一面涂布上述UV光敏感粘胶剂，形成厚度为10 μ m的UV光敏感粘胶剂层；
[0033](3)将厚度为50 μ mPET离型膜与涂布有UV光敏感粘胶剂的PET基材贴合。
[0034]实施例3
[0035]本实用新型的UV减粘保护膜按照如下方法制作:
[0036](I)准备厚度为100 μ mPET基材；
[0037](2)将PET基材一面涂布上述UV光敏感粘胶剂，形成厚度为20 μ m的UV光敏感粘胶剂层；
[0038](3)将厚度为50 μ mPET离型膜与涂布有UV光敏感粘胶剂的PET基材贴合。
[0039]实施例4
[0040]本实用新型的UV减粘保护膜按照如下方法制作:
[0041](I)准备厚度为75 μ mPET基材；
[0042](2)将PET基材一面涂布上述UV光敏感粘胶剂，形成厚度为25 μ m的UV光敏感粘胶剂层；
[0043](3)将厚度为75 μ mPET离型膜与涂布有UV光敏感粘胶剂的PET基材贴合。
[0044]实施例5
[0045]本实用新型的UV减粘保护膜按照如下方法制作:
[0046](I)准备厚度为100 μ mPET基材；
[0047](2)将PET基材一面涂布上述UV光敏感粘胶剂，形成厚度为30 μ m的UV光敏感粘胶剂层；
[0048](3)将厚度为100 μ mPET离型膜与涂布有UV光敏感粘胶剂的PET基材贴合。
[0049]实施例6
[0050]本实用新型的UV减粘保护膜按照如下方法制作:
[0051](I)准备厚度为200 μ mPET基材；
[0052](2)将PET基材一面涂布上述UV光敏感粘胶剂，形成厚度为50 μ m的UV光敏感粘胶剂层；
[0053](3)将厚度为150 μ mPET离型膜与涂布有UV光敏感粘胶剂的PET基材贴合。
[0054]在本实用新型实施例中，UV减粘保护膜包括层叠结合的PET离型膜层、UV减粘粘胶剂层和PET基材层，该UV减粘保护膜具有UV光照射前对镜面钢板剥离力超过1000g/25mm的超高粘性，UV光照射后对镜面钢板剥离力在20g/25mm以下的超低粘性，同时降低了产品的成本，并且比现有保护膜制程最少提高10%的良率，在半导体晶圆切割、打磨表面保护、触控屏OGS 二次强化耐酸膜等产品方面可以得到广泛应用。
[0055]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种UV减粘保护膜，其特征在于，所述UV减粘保护膜包括PET基材层、设于所述PET基材层上方的UV减粘粘胶剂层以及设于所述UV减粘粘胶剂层上方的PET离型膜层。
2.如权利要求1所述的UV减粘保护膜，其特征在于，所述UV减粘粘胶剂层为UV光敏感粘胶剂层。
3.如权利要求2所述的UV减粘保护膜，其特征在于，所述PET离型膜层的厚度为15μ m至150 μ m,所述PET基材层的厚度为15 μ m至200 μ m,所述UV减粘粘胶剂层的厚度为5 μ m至 50 μ m。
4.如权利要求3所述的UV减粘保护膜，其特征在于，所述PET离型膜层的厚度为50μ m至100 μ m,所述PET基材层的厚度为50 μ m至100 μ m,所述UV减粘粘胶剂层的厚度为10 μ m至 30 μ m。
5.如权利要求4所述的UV减粘保护膜，其特征在于，所述PET离型膜层的厚度为.50 μ m,所述PET基材层的厚度为100 μ m,所述UV减粘粘胶剂层的厚度为20 μ m。
6.如权利要求4所述的UV减粘保护膜，其特征在于，所述PET离型膜层的厚度为.75 μ m,所述PET基材层的厚度为75 μ m,所述UV减粘粘胶剂层的厚度为25 μ m。
【文档编号】C09J7/02GK203960110SQ201420369939
【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年7月4日 优先权日:2014年7月4日
【发明者】李英顺 申请人:深圳市宏瑞新材料科技有限公司